Сведения о средстве измерений: 76902-19 Микроскопы сканирующие зондовые

Номер по Госреестру СИ: 76902-19
76902-19 Микроскопы сканирующие зондовые
(VEGA (ВЕГА))

Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскопы сканирующие зондовые, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации -
Срок свидетельства - 10.12.2024
Номер записи -
ID в реестре СИ - 1011079
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Микроскоп сканирующий зондовый VEGA (ВЕГА), -,

Производитель

Изготовитель - ООО "НТ-МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Томск - город в России, административный центр одноименных области и района, расположенный на востоке Западной Сибири на берегах реки Томь. Старейший крупный образовательный, научный и инновационный центр Сибири, насчитывающий 9 университетов, 15 научно-исследовательских институтов, особую экономическую зону технико-внедренческого типа и 6 бизнес-инкубаторов.

В городе проживает 556 478 человек, в городском округе Томск - 577 253 человека. Томск, его город-спутник Северск и пригороды образуют Томскую городскую агломерацию с населением около 786 тысяч человек.

В Томске в сфере строительства, промышленности и энергетики, в добывающих отраслях действуют более 300 инновационных предприятий, из которых 200 относятся к категории инновационно активных, более 200 компаний занимаются IT-бизнесом (Элекард, компания MC-Trade, Rubius", "Студия Т", "Синтез интеллектуальных систем", "UserStory", "Zoom", ООО "Сибирские информационные системы", ООО "ИТ-Томск", ТомскСофт, ООО "Томская электронная школа", Novintech, Interweb Laboratory , ООО "Битворкс", UNIGINE Corp. и др.) Их доля в валовом региональном продукте превышает 13,5%. Ежегодный прирост стартапов и малых предприятий составляет 10-15%. Их развитие обусловлено созданием в городе научно-образовательных комплексов на базе университетов. Также в городе находится штаб-квартира KDV Group, компания входит в рейтинг 200 крупнейших частных компаний России Forbes 2016.

Финансовый рынок Томска представлен федеральными банками, среди которых Сбербанк с 42 отделениями, ВТБ с 6 отделениями, Газпромбанк с 5 отделениями и др. В городе зарегистрирован один региональный банк "Томскпромстройбанк" с основным филиалом по адресу: Томск, проспект Фрунзе, 90 и более 100 представительств банков в других регионах. В промышленности Оренбурга ведущие места принадлежат газодобывающей и газоперерабатывающей промышленности, машиностроению и металлообработке. Также развиты предприятия химической, пищевой и легкой промышленности. Оренбург является крупным железнодорожным узлом, где пересекаются линии на Самару, Орск, Уральск, Актобе и Уфу.

Отчет "Анализ рынка поверки в Томске" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Томск.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№2949 от 2019.12.10 Об утверждении типов средств измерений

Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие зондовые (VEGA (ВЕГА))

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений ООО "НТ-МДТ"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
76902-19
10.12.2024
Микроскопы сканирующие зондовые, VEGA (ВЕГА)
ООО "НТ-МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
МП
1 год

Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (VEGA (ВЕГА))

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2025 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ФГУП "ВНИИМС"
(01.00225-2011)
РСТ
  • 1 0 0 0 0 0 0
    АО "НИЦПВ"
    (RA.RU.311409)
  • Микроскоп сканирующий зондовый VEGA (ВЕГА)
  • 1 0 1 0 1 0 1
    ФБУ "ТОМСКИЙ ЦСМ"
    (RA.RU.311225)
    РСТ
  • -
  • 2 0 2 0 2 0 2

    Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (VEGA (ВЕГА))

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.

    Программное обеспечение «Nova Рх» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Nova Рх» не может быть использовано отдельно от СЗМ.

    Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

    Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

    Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

    Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

    Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    Nova Рх

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    не ниже 3.5.0.x

    Цифровой идентификатор ПО

    039acc50cc451aa329d2c7feafd52dc0

    (SXYCalibration.dll);

    065a740c438d7e39d816edf37fe03a8e -

    (SZCalibration.dll);

    eafcb01229f0ea7928492fad37dbb738 -

    (SNonlinearity.dll);

    1ad4447861d157a0f6e42098d20b302d -

    SInterferometerAngle.dll.


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    приведены в эксплуатационных документах.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим зондовым VEGA (ВЕГА)

    ТУ 26.51.61-005-17510633-2019 Микроскопы сканирующие зондовые ВЕГА (VEGA).

    Технические условия

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП № 203-46-2019 «Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА). Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 19 августа 2019 г.

    Основные средства поверки:

    • - мера периода и высоты линейная TGZ1, рег № 41678-09;

    • - мера периода и высоты линейная TGZ3, рег. № 41678-09.

    Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

    Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.


    Изготовитель


    Общество с ограниченной ответственностью «НТ-МДТ» (ООО «НТ-МДТ»)
    ИНН 7735593896
    Адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4922, д. 4 стр. 3
    E-mail: info@ntmdt-si.ru
    Тел./факс: +7 (499) 110-20-50/ +7 (499) 110-20-70

    Испытательный центр

    Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы»
    Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
    Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
    E-mail: office@vniims.ru
    Web-сайт: www.vniims.ru

    СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.

    В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.

    СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды: защиту от виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.

    Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА) представлен на рисунке 1.

    Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА)  от

    несанкционированного доступа не предусмотрено.

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие зондовые (VEGA (ВЕГА)), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА)


    Таблица 5 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    СЗМ контроллер

    -

    1 шт.

    Базовый блок

    VEGA

    1 шт.

    Персональный компьютер

    -

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    Микроскопы     сканирующие

    зондовые VEGA (ВЕГА)

    1 экз.

    Программное обеспечение на цифровом носителе

    Nova Pх

    1 шт.

    Методика поверки

    МП № 203-46-2019

    1 экз.


    Т аблица 2 - Метрологические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

    от 0,01 до 90

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм*

    ± (3+0,01 xL), где L - измеряемое значение длины в нм

    Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

    от 0,0005 до 9

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм*

    ± (4+0,05 xL),

    где L - измеряемое значение длины в нм

    Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.

    Таблица 3 - Технические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм

    0,3

    Разрешение по оси Z не более, нм

    0,1

    Максимальное число точек сканирования по X и Y, не менее

    4000 x4000

    Размеры исследуемых образцов (длина x ширина x толщина), не более, мм

    200 x 200 x 40

    Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм

    200 x 200

    Потребляемая мощность, не более, ВА

    400

    Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм

    600 x 550 x 600

    Габаритные размеры базового блока, не более, мм

    810 x 610 x 1450

    Масса СЗМ контроллера, не более, кг

    45

    Масса базового блока, не более, кг

    350

    Таблица 4 - Условия эксплуатации

    Температура окружающей среды, °C

    от +15 до +25

    Относительная влажность воздуха, %

    от 50 до 80

    Напряжение переменного тока, В

    от 95 до 121/

    от 187 до 242

    Частота, Гц

    50/60


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель