Номер в гос. реестре

33598-06

Наименование типа СИ (обозначение)

Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Назначение средства измерений

Модификация

Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К

Описание типа

2012-33598-06.pdf

Тип производства

Заводской номер

015

Год производства (возраст, лет)

2009 (15)

Производитель

ОАО "НИЦПВ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Наименование

Значение

Номинальное значение шага шаговой структуры, мкм

2,00

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм, не более

± 0,05

Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (Ь_и), нм

10 - 500

Наименование

Значение

Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах (h), нм

100 - 1400

Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры (а), нм

75 - 980

Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (д) в пределах ширины линии ориентирования, нм, не более

5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размеров b_u, h, д, нм

± 2

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размера а, нм

± 1

Условия эксплуатации:

а) при работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

- относительная влажность, %

65 ± 15

- атмосферное давление, Па

(100 ± 4>10³

б) при работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

140^-4 - 270

- температура держателя образца, ^оС

20 ± 3

Масса, кг, не более

0,009

Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм, не более

10х10х0,5