Номер в гос. реестре

46579-11

Наименование типа СИ (обозначение)

Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры (275 (модули), 3хх (модули и контроллеры))

Назначение средства измерений

Модификация

СВКМ-15У

Описание типа

2011-46579-11.pdf

Тип производства

Заводской номер

4789673 А 16

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

Фирма "Brooks Automation, Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ

Наименование

характеристики

Модули для измерения вакуума

серии 275

Mini

Convectron

серии 356

Micro-Ion Plus

серии 385 Convectron

ATM

серии 354 Micro-Ion

серии 347

Stabil-Ion

1

2

3

4

5

6

Диапазон измерений абсолютного давления, Па

(мм рт. ст.)

от 1,3^Х10’² до 1,3*10⁵ (от 1х10’⁴ до 1х10³)

от 1,3х10’⁷ до 1х10⁵ (от 1х10^-9 до 760)

от 1,3 10^-2 до 3х10⁵ (от 1х10^-4 до 2х10³)

от 1,3 10^-7 до 6,7х10⁰ (от 1х10^-9 до 5 10^-2)

от 3 х10^-9 до 3х10⁰ (от 2х10^-11 до 2 10^-2)

Диапазон измерений разности давлений, кПа

от - 100

до 33,3

Аналоговый выходной сигнал:

линейный, В нелинейный, В

от 0 до 10 от 0,375 до 5,659

от 0 до 10

от 0,375 до 5,659

от 0 до 10

-

Пределы допускаемой относительной погрешности, %

а) модуля для измерения вакуума серии 356:

• - в диапазоне от 1*10’⁷ до 6,7х10³ Па

• - в остальном диапазоне

б) модуля для измерения вакуума серии 354

в) модуля для измерения вакуума серии 347:

• - в диапазонах от 1,3х10^-9 до 8х10^-6 Па и от 6,7 до 3 Па

• - в остальном диапазоне

±15

±25

±15

±15

±10

1

2

3

4

5

6

г) модулей для измерения вакуума серии 275 и 385:

- в диапазонах от 1,3х10^-2 до 1,3х10³ Па и от 2,7 х10⁴ до 1,3х10⁵ Па

±5

±5

- в остальном диапазоне

±15

±15

Пределы допускаемой по-

±(0,33 кПа

грешности разности давле-

+ 2,5% от

ний

-

-

показаний)

-

-

Напряжение питания, В

от 11,5

от 20,4

от 11,5

от 20,4

от 20,4

до 26,5

до 27,6

до 26,5

до 27,6

до 27,6

Потребляемая мощность, Вт

3,3

26

3,3

26

75

Габаритные размеры: длина, не более, мм

102

92

102

71,2

91

ширина, не более, мм

36

74

36

86

97

высота, не более, мм

86,4

98

86,4

76,2

247

Масса, не более, кг

0,22

0,567

0,34

0,4

0,8

Диапазон рабочих температур, °С

от 4 до 50

от 10 до 40

от 4 до 50

от 0 до 40

от 10 до 40

Диапазон температуры хра-

нения, °С

от

минус 40 до 70

Относительная влажность,

%

от 30 до 80

Наименование характеристики

Контроллеры

серии 370 Sta-bil-Ion

серии 316

серии 375

Convec

tron

серии 358 Micro-Ion

1

2

3

4

5

Диапазон измерений абсо-

от 1,3х10’⁷

от 1,3х10’²

от 6,7х10^-7

лютного давления, Па

до 1,3х10⁵

до 1,3х10⁵

до 1,3х10⁵

(мм рт. ст.)

(от 1х10-⁹

(от 1х10^-4 до 1х10³)

(от 5х10^-9

до 1х10³)

до 1х10³)

Аналоговый выходной сигнал: линейный, В

от 0 до 10

от 0 до 10

от 0 до 7

от 0 до 7

нелинейный, В

-

-

-

-

логарифмический, В/декада

-

-

1

1

Напряжение питания, В

от 12 до 24

от 105

от 12

220

до 125

до 24

Частота, Г ц

_-

50

_-

50

Потребляемая мощность, Вт

6

100

6

50

Габаритные размеры: длина, не более, мм

96

241

96

241

ширина, не более, мм

168

279

168

275

высота, не более, мм

48

76

48

99

Масса, не более, кг

1,8

3,0

0,72

1,8

Диапазон рабочих температур, °С

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

1

2

3

4

5

Диапазон температуры хранения, °С

от минус 40 до 70

Относительная влажность, %

от 30 до 80

Тип используемых датчиков вакуумных

ионизационные серии 370 Stabil-Ion

конвекционные серии 275 Convectron

ионизационные серии 355 Micro-Ion

Количество датчиков вакуум

ных

два

два

три

один

два

один

Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.)

от 1,3х10"⁷ до 1,3х10⁵ (от 1х10^-9 до 1х10³)

от 1,3х10^-2 до 1,3х10⁵ (от 1х10^-4 до 1х10³)

от 6,7х10^{-7 до 6,7} _-9

(от 5х10^-9

до 5 |0^-2)

Пределы допускаемой относительной погрешности контроллеров, %

• в комплекте с датчиком ва-куумметрическим серии 355

±15

в комплекте с датчиком ваку-умметрическим серии 275:

• - в диапазонах от 1,3х10^-2 до 3х10³ Па и от 2,7 х10⁴ до 1,3х10⁵ Па

• - в остальном диапазоне

• в комплекте с датчиком ва-куумметрическим серии 370:

• - в диапазонах от 1,3х10^-7 до 8х10^-6) Па и от 6,7 до 3 Па

• - в остальном диапазоне

±15

±10

±5

±15