Паспорт средства измерений Меры ширины и периода специальные, заводской номер 024

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

33598-06

Наименование типа СИ (обозначение)

Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Назначение средства измерений

Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К (далее - меры) предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и применяются при поверке (калибровке) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Модификация

Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К

Описание типа

2012-33598-06.pdf

Тип производства

Серийное

Заводской номер

024

Год производства (возраст, лет)

2016 (8)

Производитель

ОАО "НИЦПВ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0КВХЯПериодическая09.12.202108.12.2022руководство по эксплуатации НИЦПВ.393200.001РП, Раздел 8C-ВХЯ/09-12-2021/116262860АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0КВХЯПериодическая08.12.202207.12.2023руководство по эксплуатации НИЦПВ.393200.001РП, Раздел 8C-ВХЯ/08-12-2022/212096097АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0КВХЯПериодическая06.12.202305.12.2024руководство по эксплуатации НИЦПВ.393200.001РП, Раздел 8C-ВХЯ/06-12-2023/299968665АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0КВХЯПериодическая06.12.202305.12.2024руководство по эксплуатации НИЦПВ.393200.001РП, Раздел 8C-ВХЯ/06-12-2023/309037111АО "НИЦПВ" Нет Нет

Технические и метрологические характеристики СИ -

Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

меры приведены в Таблице. Таблица.

Наименование

Значение

Номинальное значение шага шаговой структуры, мкм

2,00

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм, не более

± 0,05

Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (Ьи), нм

10 - 500

Наименование

Значение

Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах (h), нм

100 - 1400

Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры (а), нм

75 - 980

Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (д) в пределах ширины линии ориентирования, нм, не более

5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размеров bu, h, д, нм

± 2

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размера а, нм

± 1

Условия эксплуатации:

а) при работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

- относительная влажность, %

65 ± 15

- атмосферное давление, Па

(100 ± 4>103

б) при работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

140-4 - 270

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

Масса, кг, не более

0,009

Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм, не более

10х10х0,5


Заявитель


Испытательный центр


ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва», аттестат аккредитации № 30010-10.
Адрес: 117418 г. Москва, Нахимовский проспект, 31.
Тел.: (495) 544 00 00. Факс: (499) 124-99-96. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

Правообладатель


Изготовитель

Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д.40, кор. 1.
Телефон/факс: (495) 935-97-77. Е-mail: fgupnicpv@mail.ru.

Внешний вид средства измерений: Меры ширины и периода специальные, заводской номер №024
Внешний вид средства измерений: Меры ширины и периода специальные, заводской номер №024
Внешний вид средства измерений: Меры ширины и периода специальные, заводской номер №024
Внешний вид средства измерений: Меры ширины и периода специальные, заводской номер №024

Все средства измерений ОАО "НИЦПВ"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
33598-06
24.01.2017
Меры ширины и периода специальные, МШПС-2.0К
ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
42622-09

Система лазерная измерительная, ЛИС-01М
ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
3 года
43157-09

Измеритель перемещений лазерный, ЛИП-01М
ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
3 года

Статистика

Кол-во поверок - 75
Выдано извещений - 1
Кол-во периодических поверок - 39
Кол-во средств измерений - 21
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2012
МПИ по поверкам - 364 дн.

Кто поверяет Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Наименование организации Cтатус
ФГУП "ВНИИМС"
(01.00225-2011)
РСТ
ФГУП "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)
РСТ
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ФГУП «СНИИМ»
(73)
РСТ
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ФГУП «ВНИИМС»
(RA.RU.311493)
РСТ

Стоимость поверки Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

мера МШПС-2.0К; Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К; МШПС-2.0К; нет данных ;

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель