Номер в гос. реестре

67650-17

Наименование типа СИ (обозначение)

Установка для анализа состава монокристаллических пленок (Нет данных)

Назначение средства измерений

Модификация

Установка для анализа монокристаллических пленок

Описание типа

2017-67650-17.pdf

Тип производства

Заводской номер

НГМК.430207.002

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

ЗАО "НИИ Материаловедения"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Диапазон измерений составов эпитаксиальных структур относительно состава (параметра кристаллической решетки) подложки, %

от -0,06

до +0,06

Диапазоны сканирования для регистрации отражённого излучения по шкале углов «2Q», градус:

от 10 до 65 от 100 до 169

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения относительной величины рассогласования параметров кристаллических решёток эпитаксиальных структур, %

±0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров кристаллической решетки (размеров элементарной ячейки) в диапазоне от 0,01 до 0,20 нм, нм

±0,0002

Систематическая (аппаратурная) погрешность определения параметра кристаллической решетки, нм

±0,00005

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) относительной величины рассогласования параметров кристаллической решётки, %

0,007

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметра кристаллической решётки эпитаксиальных пленок, нм

0,00008

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметров кристаллической решетки, нм

0,00005

Предельные значения среднеквадратических отклонений случайной составляющей (СКО) погрешности определения максимумов угловых позиций брэгговских отражений по шкале 2Q, градус:

в диапазоне от 10 до 65 градусов

в диапазоне от 100 до 169 градус

0,005

0,006

Дискретность угловых датчиков по J и 2J (на осях червяков), градусов

0,0005

Диапазон интенсивностей, регистрируемых детектором, имп/сек

от 1 до 500000

Экспозиция в режиме счёта импульсов, с

от 0,1 до 500

Время прогрева, мин, не более

5

Время непрерывной работы

не ограничено

Напряжение электрического питания, В Частота, Гц

от 200 до 240

(50±1)

Потребляемая мощность блока управления, Вт, не более

170

Масса блока управления, кг, не более

14

Масса сцинтилляционного детектора, кг, не более

0,7

Г абариты устройства ПДП в сборе с гониометром и трубкой на плите (Д*Ш*В), мм, не более

1110x845x813

Габариты блока управления, (ДхШ*В), мм, не более

482x263x310

Г абариты сцинтилляционного детектора, мм

195x97x45

Автоматическое перекрывание рентгеновского излучения заслонкой при открывании защитного кабинета

есть

Световая индикация наличия высокого напряжения

есть

Световая индикация открытия заслонки

есть