МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

ПРИКАЗ

№ ¹⁵⁴⁸_______

Москва

О внесении изменений в сведения об утверяоденном типе средств измерений

Во исполнение Административного регламента по предоставлению Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии государственной услуги по утверждению типа стандартных образцов или типа средств измерений, утвержденного приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12 ноября 2018 г. № 2346 «Об утверждении Административного регламента по предоставлению Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии государственной услуги по утверждению типа стандартных образцов или типа средств измерений», приказываю:

• 1. Внести изменения в сведения об утвержденном типе средств измерений в части конструктивных изменений, влияющих на его метрологические характеристики, согласно приложению к настоящему приказу.

• 2. Утвердить измененное описание типа средств измерений, прилагаемое к настоящему приказу.

• 3. ФГУП «ВНИИМС» внести сведения об утвержденном типе средств измерений согласно приложению к настоящему приказу в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений в соответствии с Порядком создания и ведения Федерального информационного фонда по обеспечению единства измерений, передачи сведений в него и внесения изменений в данные сведения, предоставления содержащихся в нем документов и сведений, утвержденным приказом Министерства промышленности и торговли Российской Федерации от 28 августа 2020 г. № 2906.

• 4. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

/----------------------------------\

СВЕДЕНИЯ О СЕРТИФИКАТЕ ЭП

сертификат: 028BB28700AOAC3E9843FA50B54F406F4C Кому выдан: Шалаев Антон Павлович

Действителен: с 29.12,2020 до 29.12.2021

УТВЕРЖДЕНО приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «30» июля 2021 г. № 1548

Лист № 1 Регистрационный № 75595-19 Всего листов 9

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Микроскопы сканирующие электронные серий GeminiSEM, Crossbeam, EVO, SIGMA

Микроскопы сканирующие электронные серий GeminiSEM, Crossbeam, EVO, SIGMA (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Принцип действия микроскопов основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта в границах поля зрения микроскопа отображается сразу точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает несколько ответных сигналов. Микроскопы формируют конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала (SE и inLens) включен на момент измерений.

Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальныю плоскость, а именно расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Конструктивно микроскопы состоят из камеры для образца, электроннооптической колонны, статического демпфера, насоса предварительного вакуумирования и персонального компьютера. Микроскопы серий GeminiSEM, Crossbeam и SIGMA в базовой комплектации включают два детектора вторичных электронов (SE и inLens), которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа. Микроскопы серии EVO в базовой комплектации включают один детектор вторичных электронов (SE).

Микроскопы серии EVO - это микроскопы применяются для исследований и анализа, как на промышленных предприятиях, так и в научно-исследовательских лабораториях и позволяют автоматически получать изображения партий образцов.

Микроскопы серий GeminiSEM и SIGMA - это микроскопы с автоэмиссионным катодом. Микроскопы серии SIGMA имеют намного более стабильные значения токов пучка, что позволяет получать изображения непроводящих образцов без необходимости предварительной пробоподготовки. Микроскопы серии GeminiSEM имеют высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении с возможностью проведения исследований в режиме переменного давления, что позволяет получать четкие изображения наноструктур, чувствительных к электронному пучку образцов.

Микроскопы серии Crossbeam - это система интеграции колонны сфокусированного ионного пучка, обеспечивающего структурирование в наномасштабе, с высокоразрешающей технологией растрового электронного микроскопа в единую рабочую станцию.

Микроскопы GeminiSEM выпускаются в модификациях GeminiSEM 300, GeminiSEM 450, GeminiSEM 500, которые отличаются размерами рабочей камеры.

Микроскопы Crossbeam выпускаются в модификациях Crossbeam 340, Crossbeam 350, Crossbeam 540, Crossbeam 550, Crossbeam 550L, которые отличаются наличием или отсутствием функции низкого вакуума и моделью колонны, маркировка L говорит о том, что размеры рабочей камеры увеличены.

Микроскопы EVO выпускаются в модификациях EVO 10, EVO 15, EVO 25, EVO 18, которые отличаются размерами рабочей камеры и столика.

Микроскопы SIGMA выпускаются в модификациях SIGMA 300, SIGMA 300VP, SIGMA 500, SIGMA 500 VP, которые отличаются размерами рабочей камеры, маркировка VP говорит о наличии функции низкого вакуума.

На корпус микроскопов устанавливается шильдик с указанием наименования изготовителя и заводского номера.

Общий вид микроскопов представлен на рисунках с 1 по 4. По заявлению владельца микроскопа или лица, представившего его на поверку, на корпус микроскопа наносится знак поверки (место нанесения указано на рисунках с 1 по 4).

Пломбирование микроскопов не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий GeminiSEM с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 2 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий Crossbeam с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 3 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий EVO с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 4 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий SIGMA с обозначением места нанесения знака поверки

Микроскопы функционируют под управлением автономного программного обеспечения (далее по тексту - ПО) SmartSEM, установленного на персональный компьютер. ПО предназначено для получения изображений, проведения математической обработки полученных данных, установки необходимых для проведения анализа параметров и проверки работоспособности микроскопа. Программное обеспечение осуществляет функции сбора, обработки и представления измерительной информации. Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального компьютера.

Доступ к программному обеспечению исключен логином и паролем на компьютере, обеспечивающими защиту от изменения метрологически значимых данных. В ПО реализовано разграничение уровней доступа Novice, Expert, Full и Any.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики микроскопов серии GeminiSEM

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации печатным способом, а также на корпус микроскопа методом наклеивания

Таблица 7 - Комплектность средства измерений

приведены в эксплуатационном документе («Руководство по эксплуатации. Микроскопы сканирующие электронные серии Crossbeam» п. 6; «Руководство по эксплуатации. Микроскопы сканирующие электронные серии EVO» п. 8; «Руководство по эксплуатации. Микроскопы сканирующие электронные серии GeminiSEM» п. 8; «Руководство по эксплуатации. Микроскопы сканирующие электронные серии SIGMA» п. 7)

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным серий GeminiSEM, Crossbeam, EVO, SIGMA

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 06.11.2019№ 2657 Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29.12.2018 № 2840 Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

Техническая документация «Carl Zeiss Microscopy GmbH», Германия

ПРИЛОЖЕНИЕ

к приказу Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «30» июля 2021 г. № 1548

Сведения об утвержденном типе средств измерений, подлежащие изменению

в части конструктивных изменений, влияющих на метрологические характеристики средств измерений