МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

6 ноября 2019 г.                                                  jyj 2657

Москва

Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Umax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. № 734, Временным порядком разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 31 августа 2017 г. №    1832,

а также Планом разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2019 год, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2819, приказываю:

• 1,  Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм (далее - ГПС).

• 2. Установить, что:

ГПС применяется для Государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014), эталонов и средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra и вводится в действие с 1 января 2020 г.;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм» (далее - ГОСТ 8.296-2015) или локальным поверочным схемам, применяются до даты окончания срока действия свидетельства об аттестации, выданного до ввода в действие ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015,

соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат периодической аттестации на соответствие ГПС не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации, в документы на эталоны вносятся соответствующие изменения;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015,

не соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие локальным поверочным схемам, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

информация о прекращении применения эталонов по ГОСТ 8.296-2015 или локальным поверочным схемам или об изменении ГПС для эталонов, не требующих переутверждения, передается держателем эталона в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений после даты окончания срока действия свидетельства об аттестации.

• 3.  Управлению технического регулирования и стандартизации (И.А.Киреева) совместно с ФГУП «ВНИИМС» (А.Ю.Кузин) обеспечить прекращение применения в качестве национального стандарта Российской Федерации межгосударственного стандарта ГОСТ 8.296-2015 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм».

• 4. ФГУП «ВНИИМС» (А.Ю.Кузин) направить сведения о ГПС в ФГУП «ВНИИФТРИ» (С .И.Донченко) для их внесения в Федеральный

информационный фонд по обеспечению единства измерений.

• 5. Управлению метрологии (Д.В.Гоголев) обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационно -

телекоммуникационной сети «Интернет».

• 6. Контроль за исполн{нием_>сНаСТ9₁8№^даикомааяавадюзг хранится в системе электронного документооборота

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.                _________

СЬЕДЕпПЯ О иИИФИКЛТЬ ЯП

Сертификат; 00E1036EE32711E880E9E0071BFC5DD276

Кому выдан: Голубев Сергей Сергеевич

Действителен: с 08.11.2018 до 08.11.2019

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «6» ноября 2019 г. № 2657

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА

ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ

RMAX, RZ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,001 ДО 12000 МКМ И

RA В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,001 ДО 3000 МКМ

• 1.1. Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости от Г осударственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) средствам измерений при помощи вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

• 1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм представлена в Приложении А.

П р и м е ч а н и е:

Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров шероховатости с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Допускается поверять средства измерений, тип которых был утвержден до начала введения в действие данной государственной поверочной схемы, с использованием эталонов, аттестованных в установленном порядке, и приведенных в описании типа и методике поверки средства измерений.

• 2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

• 2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

модернизированный прецизионный метрологический сканирующий зондовый микроскоп нанометрового диапазона НаноСкан-3Di в диапазоне от 0,001 до 50 мкм;

модернизированный автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-М1 в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм;

модернизированный прецизионный контактный профилометр нанометрового диапазона Talystep в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм;

модернизированный контактный широкодиапазонный профилометр Form TalySurf в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

• 2.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности:

а) Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 12,5 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2 •IO^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей 1,4 •IO^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, u_A = 0,2-10^-3 мкм, стандартная неопределенность, оцененная по типу В, u_B = 1,4-10^-3 мкм, суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,4-10^-3 мкм,

расширенная неопределенность при k=2, U = 2,8-10^-3 мкм,

б) Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 0,75 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2 •IO^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей 1,3-10’³ мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, uA = 0,2-10^-3 мкм, стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB = 1,3-10^-3 мкм, суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,3-10^-3 мкм, расширенная неопределенность при k=2, U = 2,6-10^-3 мкм,

в) Rmax и Rz в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм; Ra в диапазоне от 0,006 до 0,025 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,5-10^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей

• 1.2- 10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, uA = 1,5-10^-3 мкм, стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB = 1,2-10^-3 мкм, суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,9-10^-3 мкм, расширенная неопределенность при k=2, U = 3,8-10^-3 мкм,

г) Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra в диапазоне от 0,4 до 750 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 4,0-10^-2 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей

• 1.3- 10^-2 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, uA 4,0-10^-2 мкм, стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB 1,3-10^-2 мкм, суммарная стандартная неопределенность, uC = 4,2-10^-2 мкм, расширенная неопределенность при k=2, U = 8,4-10^-2 мкм.

• 2.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

• 2.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости вторичным эталонам и рабочим эталонам 1-го разряда методом сличения при помощи мер, аттестованных в качестве вторичного эталона, и методом прямых измерений.

• 3.1. В качестве вторичных эталонов используют оптические профилометры и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 3.2. Средние квадратические отклонения суммарной погрешности S% результата сличений вторичных эталонов с ГПСЭ при 20 независимых измерениях составляют от 0,01 % до 1,5 %.

• 3.3. Вторичные эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

• 4. Рабочие эталоны

• 4.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.1.2.  Пределы допускаемых относительных погрешностей А₀ и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,04 % до 3 %.

• 4.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 2-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

• 4.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.2.2.  Пределы допускаемых относительных погрешностей А0 и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 0,08 % до 6 %.

• 4.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 3-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

• 4.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.3.2.  Пределы допускаемых относительных погрешностей А0 и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от 0,2 % до 12 %.

• 4.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

• 5.1. В качестве средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы светового (ПСС) и теневого (ПТС) сечений, профилометры контактные, приборы бесконтактные для измерений топографии поверхности, микроскопы сканирующие зондовые (СЗМ) и образцы шероховатости поверхности сравнения в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

• 5.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений составляют от 1 % до 50 %.