Методика поверки «ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407» (MП 212-241-2017)
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ (ФГУП «УНИИМ»)
УНИИМ»
2018 г.
ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407
МЕТОДИКА ПОВЕРКИ МП 212-241-2017Екатеринбург
2018
ПРЕДИСЛОВИЕ
институт
-
1 РАЗРАБОТАНА ФГУП «Уральский научно-исследовательский метрологии» (ФГУП «УНИИМ»)
-
2 ИСПОЛНИТЕЛЬ Медведевских М.Ю.
-
3 УТВЕРЖДЕНА ФГУП «УНИИМ» в марте 2018 г.
СОДЕРЖАНИЕ
Государственная система обеспечения единства измерений Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 Методика поверки |
МП 212-241-2017 |
Дата введения в действие: март 2018 г
1 Область примененияНастоящая методика поверки распространяется на анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 (далее - анализаторы газа) производства фирмы «InProcess Instruments», Германия и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.
Поверка анализаторов газа должна производиться в соответствии с требованиями настоящей методики. Интервал между поверками - один год.
2 Нормативные ссылкиВ настоящей методике поверки использованы ссылки на следующие документы: Приказ Минпромторга России N 1815 от 02.07.2015 «Об утверждении Порядка проведения поверки средств измерений, требования к знаку поверки и содержанию свидетельства о поверке»
Приказ Минтруда России №328н от 24.07.2013 «Об утверждении Правил по охране труда при эксплуатации электроустановок»
ГОСТ 12.2.007.0-75 Система стандартов безопасности труда. Изделия электротехнические. Общие требования безопасности
ГОСТ 12.2.003-91 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности
3 Операции поверки-
3.1 При поверке должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1. Таблица 1 - Операции поверки
Наименование операции
Номер пункта методики поверки
Обязательность проведения операций при
первичной поверке
периодической поверке
1
2
3
4
1 Внешний осмотр
8.1
да
да
2 Опробование
8.2
да
да
3 Проверка метрологических характеристик
8.3
3.1 Проверка относительного среднего квадратического отклонения результатов измерений выходного сигнала
8.3.1
да
да
1родолжение таблицы 1
Наименование операции |
Номер пункта методики поверки |
Обязательность проведения операций при | |
первичной поверке |
периодической поверке | ||
1 |
2 |
3 |
4 |
3.3 Проверка абсолютной погрешности измерений относительной влажности |
8.3.2 |
да |
да |
3.3 Проверка относительной погрешности измерений молярных долей газов (Не, Аг, Нг, N2,02, СО, СО2, СН4) |
8.3.3 |
да |
да |
3.5 Проверка диапазонов измерений относительной влажности и молярных долей газов (Не, Аг, Нг, N2, Ог, СО, СОг, СНд) |
8.3.4 |
да |
нет |
-
3.2 В случае невыполнения требований хотя бы к одной из операций поверка прекращается, анализатор газа бракуется.
-
4.1 При проведении поверки применяют следующие средства поверки:
-
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей бензол, метил-, этил- и винилбензил, диметилбензолы (БЛ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10767-2016;
-
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей инертные, постоянные газы (ИП-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10768-2016;
-
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с кислородсодержащими и азотсодержащими газами (КА-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10769-2016;
-
- стандартный образец состава искусственной газо-жидкостной смеси, содержащей углеводороды (СЖ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10770-2016;
-
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с серосодержащими газами (СС-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10771-2016;
-
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей углеводородные газы (УВ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10772-2016;
-государственный эталон единиц относительной влажности газов 2-го разряда по ГОСТ 8.547-2009;
-
4.2 Допускается применение других средств поверки, обеспечивающих требуемую точность и диапазоны измерений.
-
5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены «Правила по охране труда при эксплуатации электроустановок», утвержденные Приказом Минтруда России №328н от 24 июля 2013 г., требования ГОСТ 12.2.007.0, ГОСТ 12.2.003..
-
5.2 Поверитель перед проведением поверки анализаторов газов должен ознакомиться с руководством по эксплуатации на анализатор газа и пройти обучение по технике безопасности на месте проведения поверки.
-
6.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
-
- температура окружающего воздуха, °C от 15 до 40
-
- относительная влажность воздуха, % от 20 до75
-
6.2 Анализаторы газа устанавливаются вдали от источников магнитных и электрических полей.
Анализаторы газа подготовить к работе в соответствии с руководством по эксплуатации (далее - РЭ).
8 Проведение поверки-
8.1 Внешний осмотр.
При внешнем осмотре установить:
-
- отсутствие видимых повреждений анализатора газа;
-
- соответствие комплектности указанной в РЭ;
-
- четкость обозначений и маркировки.
-
8.2 Опробование.
-
8.2.1 Проверить работоспособность органов управления и регулировки анализатора газа при помощи встроенных систем контроля в соответствии с РЭ. Результаты опробования считаются удовлетворительными, если на дисплее не появляется сообщений об ошибках.
-
8.2.2 Провести проверку идентификационных данных ПО анализатора газа. Идентификационное наименование ПО идентифицируется при включении анализатора газа или при обращении к соответствующему подпункту меню. Идентификационное наименование ПО и номер версии должны соответствовать указанным в таблице 2.
-
Таблица 2 - Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки) Значение
Идентификационное наименование ПО |
IPI QuardStar |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Не ниже 1.0 |
8.3 Проверка метрологических характеристик.
-
8.3.1 Проверка относительного среднего квадратического отклонения (далее - СКО) результатов измерений выходного сигнала.
Проверку относительного СКО результатов измерений выходного сигнала провести с использованием стандартных образцов (далее - СО) искусственных газовых смесей ГСО 10767-2016 - ГСО 10772-2016 по п. 4, подготовленные в соответствии с инструкцией по применению стандартных образцов.
Провести измерения выходного сигнала для НгО, Не, Аг, Иг, N2, О2, СО, СО2, СН4 по показания следующий отношений m/z: 18,4, 40, 2,28 (14), 32 (16), 28,16.
Выполнить не менее 5 измерений выходного сигнала газа, заполняющего электронное устройство (НгО, Не, Аг, Нг, N2, О2, СО, СО2, СН4), не менее чем для двух разных СО.
По результатам измерений для каждого СО и для каждого газа вычислить среднее арифметическое значение выходного сигнала (iik) и относительное СКО (sik) результатов измерений выходного сигнала по формулам:
1*=^, (1)
п
s“=^^^7^'100’ (2)
где / - результату-го измерения выходного сигнала /-го газа для к-го СО, усл. ед.;
п - количество измерений выходного сигнала.
Полученные значения относительного СКО результатов измерений выходного сигнала должны удовлетворять требованиям таблицы 4.
-
8.3.2 Проверка абсолютной погрешности измерений относительной влажности
Для проверки абсолютной погрешности измерений относительной влажности использовать эталон единиц относительной влажности газов 2-го разряда в диапазоне значений относительной влажности от 0 % до 50 %. Поместить датчик относительной влажности из состава эталона в магистраль, подающую анализируемый газ в анализатор газов, после генератора и датчика точки росы.
Провести измерения относительной влажности с помощью эталона относительной влажности газов 2-го разряда и на поверяемом анализаторе газов, задавая различные значения относительной влажности газов с помощью генератора и датчика точки росы. Провести не менее трех измерений (п > 3) в каждой точке.
Абсолютную погрешность измерений относительной влажности , %, рассчитать для каждого измерения по формуле
(3)
где <р~ - у-ое измеренное значение относительной влажности в £-ой точке, %;
(рлк - действительное значение относительной влажности в £-ой точке, измеренное с помощью эталона относительной влажности газов 2-го разряда, %.
Анализатор газа считается прошедшим поверку, если значения абсолютных погрешностей измерений относительной влажности газов в каждой точке не превышают значений, указанных в таблице 3.
-
8.3.3 Проверка относительной погрешности измерений молярных долей газов (Не, Аг, Н2, N2, 02, СО, С02, СН4)
Для проверки относительной погрешности измерений молярных долей газов используют СО искусственных газовых смесей ГСО 10767-2016 - ГСО 10772-2016 по п. 4, подготовленные в соответствии с инструкцией по применению стандартных образцов, которые вводятся непосредственно в калибровочный блок, а затем попадают в испытательную камеру.
Провести не менее трех измерений молярных долей газов в СО. Выбрать не менее двух газов и не менее трех СО таким образом, чтобы повести измерения в начале, середине и в конце диапазона измерений.
Относительную погрешность измерений молярных долей газов рассчитать по формуле для каждого СО:
(4)
где '7"ое измеренное значение молярной доли г'-го газа для k-го СО, %;
wrcoik ' аттестованное значение молярной доли /-го газа для £-го СО, %.
Полученные значения относительной погрешности измерений молярных долей газов должны удовлетворять требованиям таблицы 3.
-
8.3.4 Проверка диапазонов измерений относительной влажности и молярных долей газов Проверку диапазона измерений относительной влажности и молярных долей газов провести одновременно с выполнением п. 8.3.2 и п. 8.3.3 (Провести измерения относительной влажности и молярных долей газов в начале, середине и в конце диапазона измерений). Диапазон измерений относительной влажности и молярных долей газов должен удовлетворять требованиям таблицы 3.
Таблица 3 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон массовых чисел, а.е.м. |
от 0 до 300 |
Предел допускаемого относительного среднего квадратического отклонения результатов измерений выходного сигнала, % |
5 |
Диапазон измерений относительной влажности, % |
от 0 до 50 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений относительной влажности, % |
±10 |
Диапазон измерений молярной доли газа (Не, Ar, Н2, N2, О2, СО, СО2, СН4), % |
от 0,001 до 100 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений молярной доли газов (Не, Ar, Н2, N2, О2, СО, СО2, СН4), % |
±10 |
Диапазон показаний температуры точки росы, °C |
от - 40 до + 10 |
-
8.3.5 Если анализаторы газа используются не для всех перечисленных выше газов, допускается поверку проводить для выбранных пользователем газов с их указанием в свидетельстве о поверке.
-
9.1 Оформляют протокол проведения поверки по форме Приложения А.
-
9.2 Положительные результаты поверки оформляют выдачей свидетельства о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга № 1815. Знак поверки наносится на лицевую панель анализаторов газа в соответствии с рисунком 1 Описания типа.
-
9.3 При отрицательных результатах поверки анализатор признают непригодным к дальнейшей эксплуатации, аннулируют свидетельство о поверке, гасят клеймо и выдают извещение о непригодности с указанием причин в соответствии с Приказом Минпромторга № 1815.
М.Ю. Медведевских
ПРИЛОЖЕНИЕ А(обязательное)
ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ
ПРОТОКОЛ №_______ПРОВЕДЕНИЯ ПОВЕРКИ
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407________зав №_________
Документ на поверку: МП 212-241-2017 «ГСП. Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407. Методика поверки».
Информация об использованных средствах поверки:
Условия проведения поверки:
-
- температура окружающего воздуха. °C
-
- относительная влажность воздуха, %
Результаты внешнего осмотра_________________________________________________
Результаты опробования_____________________________________________________
Проверка метрологических характеристик
Таблица А.1 Результаты проверки относительного СКО результатов измерений
выходного сигнала
Номер результата измерений выходного сигнала |
Н2О |
Не |
Аг |
н2 |
N2 |
О2 |
СО |
сн4 |
СО2 |
m/z | |||||||||
18 |
4 |
40 |
2 |
28 (14) |
32 (16) |
28 |
16 |
44 | |
1 | |||||||||
2 | |||||||||
3 | |||||||||
4 | |||||||||
5 | |||||||||
Среднее арифметическое выходного сигнала, усл. ед. (имп./с) | |||||||||
Относительное СКО, % | |||||||||
Соответствует требованиям Да (+) / Нет (-) |
Таблица А.2 - Результаты проверки абсолютной погрешности измерений относительной
влажности
№ п/п |
Значение относительной влажности, воспроизведенное эталоном единиц относительной влажности газов 2-го разряда, % |
Значение относительной влажности газов, измеренное анализатором газов, % |
Абсолютная погрешность измерений относительной влажности, % |
Соответствует требованиям Да(+)/Нет(-) |
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
1 | ||||
2 | ||||
3 |
Таблица А.З - Результаты проверки относительной погрешности измерений молярных
долей газов
№ п/п |
Наименование газа и значение молярной доли газа, воспроизведенное стандартным образцом утвержденного типа, % |
Значение молярной доли газа, измеренное анализатором, % |
Относительная погрешность измерений молярной доли газа, % |
Соответствует требованиям Да(+)/Нет(-) |
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
1 | ||||
2 | ||||
3 |
Результат проведения поверки:________________________________________________
Выдано свидетельство о поверке (извещение о непригодности)
от «___»_____________20___г, №__________________
Поверитель__________________________________________
(Ф.И.О.) подпись
Организация, проводившая поверку_____________________________________________
13