Методика поверки «Пикоамперметры Keithley 6485» (KI-6485-2015)

Федеральное государственное унитарное

предприятие

’’Всероссийский

научно-исследовательский институт

метрологической службы”

119361. Москва, ул Озерная. 46

УТВЕРЖДАЮ

ГУП «ВНИИМС»

В.Н. Яншин

0Т²-    2015 г.

Пикоамперметры Keithley 6485

Начальник НПО метрологического обеспечения электрических измерений ФГУП «ВНИИМС»

Заместитель генерального директора ЗАО «АКТИ-Мастер» по метрологии

г. Москва

2015 г.

Настоящая методика поверки распространяется на пикоамперметры Keithley 6485 (далее - приборы), и устанавливает методы и средства их поверки.

Интервал между поверками - 1 год.

При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

• 2.1 Для поверки рекомендуется применять средства поверки, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки

• 2.2 Вместо указанных в таблице 2 средств поверки разрешается применять другие аналогичные средства поверки, обеспечивающие требуемые технические характеристики.

ПРИМЕЧАНИЕ: Для выполнения операции 7.4 рекомендуется использовать набор эталонных мер сопротивления и емкости JW Solutions 5156DR (резисторы с номинальными значениями 100 MQ и 1 GQ, относительная погрешность определения действительных значений сопротивления не более ± 3-10'⁴). Данный набор сконструирован специально для работы с приборами Keithley на малых токах и позволяет минимизировать негативные эффекты, связанные с качеством экранирования измерительной цепи.

• 2.3 Применяемые средства поверки должны быть исправны, поверены и иметь свидетельства о поверке.

К проведению поверки допускаются лица, имеющие высшее или среднетехническое образование, и практический опыт в области электрических измерений.

• 4.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности в соответствии с ГОСТ 12.3.019-80.

• 4.2 Во избежание несчастного случая и для предупреждения повреждения прибора и поверочного оборудования необходимо обеспечить выполнение следующих требований:

• - подсоединение оборудования к сети должно производиться с помощью сетевых кабелей, предназначенных для данного оборудования;

• - заземление оборудования должно производиться посредством заземляющего контакта сетевого кабеля;

• - запрещается производить подсоединение кабелей к контактам оборудования или отсоединение от них, когда на вход прибора подается сигнал;

• - запрещается работать с прибором при обнаружении его явного повреждения.

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия окружающей среды:

• - температура воздуха (23 ± 5) °C;

• - относительная влажность воздуха от 30 до 70 %;

• - атмосферное давление от 84 до 106.7 kPa.

• 6 ВНЕШНИЙ ОСМОТР И ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

• 6.1.1 При проведении внешнего осмотра проверяются:

• - чистота и исправность разъемов прибора;

• - отсутствие механических повреждений корпуса прибора;

• - комплектность прибора согласно эксплуатационной документации.

• 6.1.2 При наличии дефектов или повреждений, препятствующих нормальной эксплуатации модуля, его следует направить в сервисный центр для проведения ремонта.

• 6.2.1 Перед началом выполнения операций необходимо изучить руководство по эксплуатации прибора, а также руководства по эксплуатации применяемых средств поверки.

• 6.2.2 До начала операций поверки выдержать прибор и средства поверки во включенном состоянии в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации.

Минимальное время прогрева прибора 60 min.

• 6.2.3 Перед выполнением операций поверки произвести начальную установку поверяемого прибора, для чего нажать клавишу [SETАР], клавишами RANGE выбрать FACT, нажать [ENTER],

• 6.2.4 Выполнить компенсацию смещения напряжения на входе прибора:

• 1) Нажать клавишу [MENU], клавишами RANGE выбрать CAL, [ENTER],

На дисплее появится сообщение {CAL:VOFFSET}.

• 2) Нажать [ENTER],

На дисплее появится сообщение {INPUT САР}.

• 3) Установить короткозамыкатель САР-18 из комплекта прибора на разъем “INPUT”.

• 4) Нажать клавишу [ENTER] и дождаться завершения процедуры компенсации.

• 5) Нажать клавишу [EXIT],

В процессе выполнения операций результаты измерений заносятся в протокол поверки. Полученные результаты должны укладываться в пределы допускаемых значений, которые указаны в таблицах настоящего раздела документа. При получении отрицательных результатов по какой-либо операции необходимо повторить операцию. При повторном отрицательном результате прибор следует направить в сервисный центр для проведения регулировки и/или ремонта.

• 7.2.1 Выключить прибор и повторно включить его.

После включения должна осуществиться процедура автоматического тестирования, по завершении которой прибор будет готов к работе. В процессе выполнения автоматического тестирования не должно появиться сообщений об ошибках.

Записать результаты автоматического тестирования в таблицу 7.2.

• 7.2.2 Проверить идентификацию серийного номера прибора и версии установленного на нем программного обеспечения, для чего нажать клавишу [MENU], выбрать SNUM.

На дисплее должны отобразиться серийный номер прибора и обозначение версии программного обеспечения.

Записать результаты идентификации в таблицу 7.2.

Выйти из меню нажатием клавиши [EXIT].

Таблица 7.2. Опробование и идентификация

• 7.3.1 Временно выключить питание прибора и калибратора для выполнения соединений.

• 7.3.2 Используя адаптер BNC-banana(2m), соединить при помощи кабеля BNC из комплекта прибора токовые выходы калибратора с входом “INPUT” прибора, соблюдая полярность.

• 7.3.3 Включить питание прибора и калибратора.

Установить на калибраторе режим источника постоянного тока.

• 7.3.4 Выполнить компенсацию смещения нуля на приборе следующим образом:

• 1) Установить на приборе предел измерения 20 рА.

• 2) Включить функцию “Zero check” нажатием клавиши [ZCHK],

• 3) Установить на калибраторе силу тока 0.0000 рА и активировать его выход.

• 4) Включить функцию “Zero correct” нажатием клавиши [ZCORJ.

• 5) Нажать клавишу [ZCHK] для отключения функции “Zero check”.

• 7.3.5 Устанавливать на приборе пределы измерения (RANGE), и на калибраторе значения силы тока, указанные в столбцах 1 и 2 таблицы 7.3.

Записывать в столбец 4 таблицы 7.3 измеряемые прибором значения силы тока.

Таблица 7.3 - Погрешность измерения силы тока на пределах от 20 рА до 20 mA

• 7.3.6 Отключить выход калибратора.

ПРЕДВАРИТЕЛЬНЫЕ ЗАМЕЧАНИЯ:

Описанная ниже процедура дана для использования набора мер сопротивления и емкости JW Solutions 5156DR (резисторы с номиналами 100 MQ и 1 GQ).

При использовании мер сопротивления, указанных в таблице 2, операция выполняется аналогичным образом, при этом следует надлежащим образом выполнить экранирование измерительной цепи.

• 7.4.1 Временно выключить питание прибора и калибратора для выполнения соединений.

  KI-6485-2015. 30.07.2015

  стр. 5 из 7

• 7.4.2 Выполнить соединения прибора с калибратором с резистором “1 GQ” набора 5156DR, как показано на рисунке 7.4:

• - используя адаптер BNC-banana(2m), соблюдая полярность, соединить кабелем BNC из комплекта прибора выходы напряжения калибратора с разъемом резистора набора 5156DR;

• - используя адаптер BNC-Triax (Keithley 237-BNC-TRX или аналогичный), соединить триаксиальным кабелем вход прибора с разъемом “OUTPUT” набора 5156DR.

  DC Voltage Calibrator

  

  Low-noise Coax Cable

BNC-to-dual Banana Plug Adapter

Model 6485 Picoammeter

Connect Cable Shield to

Output LO

BNC-to-Triax

Adapter on INPUT

lOGO

kxiMii

Model 5156 Calibration Standard

Note: Connect Calibrator to

10ОМП or 1GQ Resistor Link Shield and Chassis

Рисунок 7.4 - Схема соединений для измерений на пределах от 2 nA до 2 цА

• 7.4.3 Закоротить перемычкой клеммы “SHIELD” и “CHASSIS” набора 5156DR.

• 7.4.4 Включить питание прибора и калибратора.

Установить на калибраторе режим источника постоянного напряжения.

• 7.4.5 Выполнить компенсацию смещения нуля на приборе следующим образом:

• 1) Установить на приборе предел измерения 2 nA.

• 2) Включить функцию “Zero check” нажатием клавиши [ZCHK],

• 3) Установить на калибраторе напряжение 0.0000 mV и активировать его выход.

• 4) Включить функцию “Zero correct” нажатием клавиши [ZCOR].

• 5) Нажать клавишу [ZCHK] для отключения функции “Zero check”.

• 7.4.6 Установить на калибраторе значение напряжения, рассчитанное по формуле

U = U0-(Ract/R0), где

U0 - номинальное значение напряжения, указанное в столбце 2 таблицы 7.4, R0 - номинальное значение сопротивления, указанное в столбце 3 таблицы 7.4, Ract - действительное значение, указанное в протоколе поверки набора 5156DR.

• 7.4.7 Записать отсчет силы тока на приборе в столбец 5 таблицы 7.4.

• 7.4.8 Отключить выход калибратора.

• 7.4.9 Пересоединить кабель BNC на разъем “100 MQ” набора 5156DR.

• 7.4.10 Выполнить действия по пунктам 7.4.6, 7.4.7 для остальных пределов измерения прибора в соответствии с таблицей 7.4.

Таблица 7.4 - Погрешность измерения силы тока на пределах от 2 nA до 2 цА

• 7.4.11 Отключить выход калибратора, выключить питание прибора и калибратора, отсоединить кабели и адаптеры.

• 8 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

При выполнении операций поверки оформляется протокол в произвольной форме с указанием следующих сведений:

• - полное наименование аккредитованной на право поверки организации;

• - номер и дата протокола поверки

• - наименование и обозначение поверенного средства измерения;

• - заводской (серийный) номер;

• - обозначение документа, по которому выполнена поверка;

• - наименования, обозначения и заводские (серийные) номера использованных при поверке эталонных средств измерений, сведения об их последней поверке;

• - температура и относительная влажность воздуха в помещении;

• - фамилия лица, проводившего поверку;

• - результаты определения метрологических характеристик по форме таблиц раздела 7.

При положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке в соответствии с ПР 50.2.006-94 с изменением № 1 от 26.11.2001.

Поверительное клеймо наносится в соответствии с ПР 50.2.007-2001.

При отрицательных результатах поверки, выявленных при внешнем осмотре, опробовании или выполнении операций поверки, выдается извещение о непригодности в соответствии с ПР 50.2.006-94 с изменением № 1 от 26.11.2001.

KI-6485-2015. 30.07.2015

стр, 7 из 7