Инструкция «ИЗМЕРИТЕЛЬ ВАКУУМА ТЕРМОРЕЗИСТОРНЫЙ» (ПАИМ3.473.005 И1)

УТВЕР11АС

&

О

О

0

С

О

о

©

7 ©

3 •

а •'

О

ССГЛАСОВА О

О

we г

ИВТ-3/О-00</

ИНСТРУКЦИЯ ПО ПОВЕРКЕ

ОКАМАК

19?0 Г

О

о

О

О

О

о

гтззхг:

I ИНВ N ПОДЛ I ПОДИ И ДАТА I B3AN ИНВ N I ИНВ N ДУРЛ I ПОДИ И ДАТА

ix===:

ГЛАВНЫЙ МЕТРОЛОГ ЗАВОДА

ИЗМЕРИТЕЛЬ ВАКУУМА ТСРМ0ГЕЗИСТ0Р1Л1Й

ПАИМЗ.473.005 И1

ГЛАВНЫЙ ИНЖЕНЕР СГ'ЕМ ПРИ

-Л--В.Н.СКАКУН

ГЛАВНЫЙ КОНСТРУКТОР ОКР

н.яхин

ПАИМ3.473.005

ЗОНЕ ОТ 1

41^5===

1 I MMKU X

_n /                                     ПАИМ3.473.005 И1

51ИЗИ1ЛИСТ1» ют.та.иииц_/1т^     Mg*

^1 РАЗГ АБ. IМишина              ИЗМЕРИТЕЛЬ ВАКУУМА

I КРОВ. ТКузЬИий    -       ТЕРМОРЕЗИСТОРНЫЙ

± Карей            ивт-3/we^

1Н.КОИТР.

1 УТБ. 1—1/1 f

}_< w_____[

■Б

I

1

I

I

1

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

1

1

I

I

I

I

Jsaessssss33ssssauci3c:

SSIXIBB

III  III.

U ¹

1ИЗН1ЛИСТ1Н ДОКУМ.1ПОДИ.1ДАТА1

ОИЖ*

xa e rm в rx====•

ПАИМЗ.473.005 И1

IJMCTI I—I I 3 I

gags=as=as—— з авera я a ■

мши

I

I

I

I

I

1

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

• I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I I"

I

I

I

I

I

I

I

I

I

1

I

1—

I

]=г^г.в===с=аЕжпзМЕпхШйв»жшвм®*лм«а!ММ

III  III

III  III

1ИЗМ1ЛИСТ1Н ДОКУМ.1П0ДП.1ДАТА1

2.СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

2.1. ПРИ ПРОВЕДЕНИИ ПОВЕРКИ ДОЛХТЫ БЫТЬ ПРИМЕНЕНЫ СРЕДСТВА

ПОВЕРКИ, УКАЗАННЫЕ В ТАБЛ.2

ТАБЛИЦА 2

НОМЕР ПУНКТА !НАИМЕНОВАНИЕ ОСНОВНОГО СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ ИЛИ

НТД ПО ПОВЕР-!ВСПОМОГАТЕЛЬНОГО СРЕДСТВА ПОВЕРКИ;НОМЕР ДОКУМЕНТА,

НЕ

П.6.2

П.6.2

П.6.2

П.6.2

П.6.2

П.6.2,5.3

П.6.2

•ГЕГЛАМЕНТИРУЮ1МЕГО ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ К СРЕД

•СТВУ, РАЗРЯД ПО ГОСУДАРСТВЕННОЙ ПОВЕРОЧНОЙ СХЕМЕ

1ИЛИ ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

вакуумметр тепловой СПУ/ННЫй ОБРАЗЦОВЫЙ етсо-4

ПАИК3.475.01ОТУ. ОСНОВНАЯ ОТНОСИТЕЛЬНАЯ ПОГРЕШНОСТЬ

ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ ОТ S-10’* ДО 7-10⁵ ПА +- 10Z.

ВОЛЬТМЕТР ЦИФРОВОЙ В7-27 ТГ2.710.005 ТУ

СТАБИЛИЗИРОВАННЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ ЛИПС IIА-30

ДЕО.323.000 ТУ

РЕЗИСТОР МЛТ-2-2К0М+-5Х 010.467.180 ТУ

ВОЛЬТМЕТР М2018 ТУ25-04-3109-78

ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ ПТИ-10 ЕХ2.832.015 ТУ. МИНИМАЛЬНЫЙ

РЕГИСТРИРУЕМЫЙ ПОТОК ГЕЛИЯ 7- 10“^ И³ ПА/С .

ИСПЫТАТЕЛЬНЫЙ СТЕНД 04.175.000.00(ВАКУУМНАЯ

УСТАНОВКА)

ПАИМЗ.473.005 И!

I I I

I " I

I I

I I

1 I

I

I I

I I

I

I I

I I

I I

I I

I I

I

I I

I I

I I

I I

I I

I I

I I

I I

I I

I I

I

I I

I I

I ------1 I ВБВ'«1 1ЛИСТ1 I—I I 4 I

1=====а====^=г=а=====»=с====ивжжся======—========= ====аисяжжя1

____________________!________} I ИНВ N ПОДЛ I ПОДП И ДАТА I ВЗАМ ИНН N I ИНВ N ДУБЛ I ПОДП И ДАТА I

С = С=ЕИЯЯВВМ1П!1йг‘ЛСС;

ПАИМЗ.473.005 Hl

SZSSmKSCaSSj

1ЛИСТ1

I—I

IИЗМIЛИСТIN ДОКУМ.1ПОДП.1ДАТА1 1=

5 I -=1

] sw       M/W ¹_______1_________¹______J

I ИНВ N ПОДЛ I ПОДП И ДАТА I ВЗАМ ИНВ N I ИНВ N ДУБЛ I ПОДП И ЛАТА I

2t32?isr.c===^sx' тяаэпгчзг!ТВГ2гйгг^г=г=гзсттглгввягЕПЕ=е2===2гвяЕие“=гг==с

3.ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

5.ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

Г

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I^==3====:5=Zrr=3E2Sa=2r==SSXXSSSaDBeBaSSE:

III

IT!

ТИЗМ1ЛИСПН ЛГ1Р-.1.ИЮНИ. 1ЯА1 л»

____________!_________1

5.1.ПЕРЕД ПРОВЕДЕНИЕМ

ивт-з/0-ееч, измерительные

РАБОТЕ В СООТВЕТСТВИИ С ИХ

МИ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ

ПОВЕРКИ ПОВЕРЯЕТ!# ИЗМЕРИТЕЛЬ

ПРИБОРЫ И УСТАНОВКУ ПОДГОТАВЛИВАЮТ К

ТЕХНИЧЕСКИМИ ОПИСАЖЯМИ И 1*СГРУКЦИЯ-

5.2.ПОВЕРКУ ПРОИЗВОДИТЬ НА ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ, ПОЗВОЛЯЮЩЕЙ

ПОЛУЧАТЬ И ПЛАВНО РЕГУЛИРОВАТЬ ДАВЛЕНИЕ СУХОГО ВОЗДУХА ИЛИ АЗОТЛ в диапазоне от i-ie'^zao l-ie^ па.

5.3.ГЕРМЕТИЧНОСТЬ МЕСТ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ПРОВЕ

РЯЕТСЯ ТЕЧЕИСКАТЕЛЕМ ПТИ-10

ПАИМЗ.473.005 И1

сзгзсжп:

I I

I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I • I I I . I I I I I I I I I I I I. I I I I I I I I I I I I I I I

IЛИСТI

I-

I 7 I

о

6

©

о о о о о о о о © о с © о о • © о о . о о

ж*.

I

I

J

I

I

1

I

I

I

I

I

I

1

I

1

I

I

I

I I

- I

I

I

I !

I

I 1

1

I

1

I

I

I

I

I

• I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

1

I

I

I

I

I * I                                                                            1лист:

I Л kU//.                                  ПАИМ3.473.005 И1             I

1ИЗМ1ЛИСТ1Н ЖОКУМ.ПЮДПЛДаТА!

; _      ¹            v.&w¹_____*_____________I

I ИНВ н ПОДЛ I ПОДП И ДАТА I ВЗАМ ИНВ N I  ИНВ 1ГДУБЛ I ПОДП И ДАТА I

А.ЮШДЁНИЕ ПОВЕРКИ

НО

6.1.Б1£1НИЙ ОСМОТР

6.1.1.ПРИ ПРОВЕДЕНИИ ВНСШНЕГ’О ОСМОТРА ДОЛ1НО БЫТЬ УСТАНОВЛЕ-

СООТВЕТСТВИЕ ИЗМЕРИТЕЛЯ ИВТ-3/0-000 СЕДУВЦИМ ТРЕБОВАНИЯМ:

НАРУ1НЫЕ ПОВЕРХНОСТИ

ИМЕТЬ КОРОБЛЕНИЙ, ВМЯТИН,

НА ИЗМЕРИТЕЛЬ ДОЛГЕН

КРИ1КИ И КОРПУСА ИЗМЕРИТЕЛЯ НЕ ДОЛЖНЫ

ПРОГИБОВ.

БЫТЬ НАНЕСЕН ТОВАРНЫЙ ЗНАК ЗАВОДА -

ИЗГОТОВИТЕЛЯ, УСЛОВНОЕ ОБОЗНАЧЕНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЯ, ЗАВОДСКОЙ ПОРЯДКО

ВЫЙ

НИЯ

НОМЕР И ГОД ВЫПУСКА

6.2. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК

6.2.1.0ПРЕДЕЛОМЕ ОСНОВНОЙ ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕ

ДАВЛЕНИЯ ПРОИЗВОДЯТ НА ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ, ОБЕСПЕЧИВАЙСЯ

ПОЛУЧЕНИЕ fl ПЛАИТУЮ РЕГУЛИРОВКУ ДАВЛЕНИЯ В ДИАПА301Е ОТ 1-10~²   @

г               с                   ГШ/40- 8‘J

ДО 1-10° П^ СЛЕДУЮЩИМ ОБРАЗОМ;

1)ПРИСОЕДИНИТЬ ВАКУУМНОПЛОТНО ПОВЕРЯЕМЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ К ВАКУ

УМНОЙ УСТАНОВКЕ (СХЕМУ УСТАНОВКИ СМ.ПРИЛОЖЕНИЕ 1 МИ 140~8?>,

ОБЕСПЕЧИВАЕйЕЙ ПОЛУЧЕНИЕ ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

ВАННЕ ДАВЛЕНИЙ В ПРЕДЕЛАХ ДИАПАЗОНА ИЗМЕРЕНИЙ

ТЕЛЯ;

2)ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПОВЕРЯЕМОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ

-2

1*10 ПА И РЕГУЛИРО-

ПОВЕРЯЕМОГО ИЗМЕРИ

И ОБРАЗЦОВОГО ВАКУ

УММЕТРА ДОЛИН БЫТЬ РАСПОЛОЖЕН!* НА КАМЕРЕ СИММЕТРИЧНО ОТНОСИ-

ххгвсгзяв:

жяс;

»ax=sss==;

ПАИНЗ.473.005 И1

ssssassaasa

I

I I I I I I I I I I I I I

ТЕЛЬНО ЕЕ ОТКАЧИВАВШЕГО ОТВЕРСТИЯ;

3)УСТАН0БЛиП11>!Е НА КАМЕРЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДОЛХНЫ БИТЬ

ОТДАЛЕНЫ ДРУГ ОТ ДРУГА НАСТОЛЬКО, ЧТОБЫ СОЗДАВАЕМЫЕ В HVSX ЭЛЕКТ

РИЧЕСКИЕ И МАГНИТНЫЕ ПОЛЯ НЕ ВОЗДЕЙСТВОВАЛИ

ЗАМЕТНО ДРУГ НА

ДРУГА;

липсцл-зо

+

ЛНПСНА-Зо

4)СОБРАТЬ СХЕМУ РИС.1;

к натекателю

-I——i--- к насосу

5) ПОДАТЬ 11АПРЯХЕ1М: ПИТАНИЯ НА ИЗМЕРИТЕЛЬ В ПОСЛЕДОВАТЕЛ-

РИС.1.

КакдуннаЯ установка

СХЕМА ПОВЕРКИ ИЗМЕРИТЕЛЯ ПО

КоЬ^А. ЛАим^МТРОМ

1 ПОСТИ: МИНУС 15В, +15В, ПРОГРЕТЬ ’ в ТЕЧЕНИЕ 15 МИН;

I

I

I

1

I

J ====■= - □ :сапс==±г====——гл . i ,"!=.=--=-----SC4Hll»s=^^cai;sa==^z=^-g^

iii ./ ii                      1лист:

IJ JM-V                                   ПАИМЗ.473.005 И1             I

1ИЗМ1ЛИСТ1Н ДОКУН. 1П0Д1Г. 1 ДАТа£

1===^5=з=^ЕВсв2=2г====:::явав«ж!1сс2«ггг:^«яптцпия:=2мгзжвмвшииипяя) }__wi              ________I______________!

6>ВЫПОЛНИТЬ ВСЕ НЕОБХОДИМЕЕ ОПЕРАЦИИ ПО ПОДГОТОВКЕ ОБРАЗНО-

7ЕГ2

ПАИМЗ.473.005 И1

CSMSSft Г i

О

о

с

о

о

е

о

э

0

е

о

е

о

о

О •

С '

с

О

I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I I 1 I I I I I I I I I I I I i 1 I I I I I I I I I I I I I I I I

8>0ТКАЧАТЬ ИЗМЕРИТЕЛЬНУЮ КАМЕРУ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ ДО

-2

ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ НЕ БОЛЕЕ -/.10 ПА. ВРАЩЕНИЕМ

РЕЗИСТОРА |> 0 <| (УСТАНОВКА 0) ИЗМЕРИТЕЛЯ УСТАНАВЛИВАЮТ ПО ПРИБОРУ

НАПРЯЖЕНИЕ (0,20+-0,02)В?

PV1

9)С ПОМОЩЬЮ НАТЕКАТЕЛЯ ОСУЩЕСТВИТЬ РЕГУЛИРУЕМУЮ ПОДАЧУ ГАЗА 3

В ИЗМЕРИТЕЛЬНУЮ КАМЕРУ. В ДИАПАЗОНЕ ДАВЛЕНИЙ ОТ 1 ДОН0 ПА ДИС-

КРЕГНО УСТАНАВЛИВАТЬ ПРОВЕРОЧНЫЕ (ГГАДУИРОВОЧНЫЕ)ТОЧКИ, РАСПОЛА

ГАЯ ИХ В ПОРЯДКЕ ВОЗРАСТАНИЯ ДАВЛЕНИЙ С ИНТЕНСИВНОСТЬЮ Т£ МЕНЕЕ

ТРЕХ ТОЧЕК - ПРИ ТИПОВОЙ ГРАДУИРОВКЕ И ПЯТИ ТОЧЕК - ПРИ ИНДИВИ

ДУАЛЬНОЙ ГРАДУИРОВКЕ В ПРЕДЕЛАХ КАЖДОЙ ДЕКАДЫ ДАВЛЕНИЙ ДИАПАЗОНА

ИЗМЕРЕНИЯ;

10) ПОСЛЕ УСТАНОВЛЕНИЯ В КАЖДОЙ ГРАДУИРОВОЧНОЙ ТОЧКЕ ПОСТОЯН

СТВА ДАВЛЕНИЯ, ФИКСИРУЕМОГО ПО НЕИЗМЕННОСТИ ПОКАЗАНИЙ ОБРАЗЦОВОГО

ВАКУУММЕТРА В ТЕЧЕНИЕ 30 С ПРИ ТИПОВОЙ ГРАДУИРОВКЕ И 1 МИН - ПРИ

ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ГРАДУИРОВКЕ, ЗАРЕГИСТРИРОВАТЬ ОДНОВРЕЖТИО ПОКАЗА

НИЯ НАПРЯЖЕНИЯ АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ИЗМЕРИТЕЛЯ И ОБРАЗЦОВОГО

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ

11)ОСНОВНУЮ ОТНОСИТЕЛЬНУЮ погрешность В ПРОЦЕНТАХ ВЫЧИСЛИТЬ

ПО ФОРМУЛЕ:

С Рлс£, “ Pcfy.          ,

С ---------7^, гЛ*

ПАИМ3.473.0О5 И1

1ИЗМ1ЛИСТ1К

I ажхпагй» easjfesata л япжиич:хпахЛ2хий=±сайСЕЕ=й=

tts:

ИЗМЕРИТЕЛЯ;

ГРАДУИРОВКЕ

Г’.л

I МИНУС 40...*B0Z. ПРИ ТИПОВОЙ ГРАДУИРОВКЕ И МИНУС зэ...<зох -I

I ПРИ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ

ПАИМ3.473.в05 И1

=5«ХЯ.

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

I

1ЛИСТ1

I—I . I 1OQI att==oi_Ea===saJ I

с^яаз:

о

о

о

о

о

о

© о о о о

О '

о

@

о

□

ПОВЕРОК) ПО РЕКОМЕНДУЕМОЙ ФОРМЕ ТАВЛ.З

ВЕДОМСТВЕННОЙ ПОВЕРКИ

ИНСТРУКЦИИ, К ПРИМЕНЕНИЮ fF ДОПУСКАЮТСЯ

ПАИМ3.473.(Ю5 И1

1ЛИСТ1

I----j

1 11 I

=====1

I

J-sa-

I I

I I I / 1 1 I I I I I I I I I I I I I I I

/.ОФОРМЛЕНИЕ Результатов ПОВЕРКИ

7.1.РЕЗУЛЬТАТЫ ПОВЕРКИ СЛЕДУЕТ ЗАНОСИТЬ В ПРОТОКОЛ (ИЗГНАЛ

7.2.В ФОРМУЛЯРАХ ПОВЕРЯЕМЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ, УДОВЛЕТВОРЯЮЩИХ

ВЫШЕУКАЗАННЫМ ТРЕБОВАНИЯМ, ДЕЛАЕТСЯ ОТНЕТКА ГОСПОВЕРИТЕЛЯ ИЛИ

7.3.ИЗМЕРИТЕЛИ, НЕ УДОВЛЕТВОРЯЮЩИЕ ТРЕБОВАНИЯМ НАСТОЯЩЕЙ

• I

• II  III

1ИЗМ1ЛИСТ1Н ДОКУМ.1ПОДП.1ДАТА1

?       ____¹ A./'- //z/vp¹

I—**—

I ИНВ N ПОДЛ I ПОДИ И ЛАТА I ВЗМ ИНВ N I ИНВ Н ДУЫк I ПОДП И ДА^Т

*>

IJ I !/Жй?

IM3r1Ifl!4CTIN ДОКУН.

£ »I» -3i я и аге х t==ьх===:

j wa

I ИНВ Н ПОХЛ I ПОДП И ДАТА I ВЗАН ИНВ N I ИНК Н ДУБЛ I ПОДО И ДАТА

I

г*

<U

£ ъ о W

ПАИМ3.473.еО5 И1

I

I ' г • г г I

IЛИСII I—I 1 12 I

I

I

I

I                        ЛИСТ РЕГИСТРАЦИИ ИЗМП(ЕН/.Я

I

I

I

J-----— —т g g я я ng—1 .it. —= - =згл==дд==акадшии«8 ■«        a a=s= J

I I НОМЕРА ЛИСТОВ(СТРАНИЦ) I ВСЕГО I НОМЕР I ВХОДЯЩИЙ I I I IH3rtI===============i===IЛИСТОВ I       IN СОПРОЮ-1ПОДП1ДАТА1

I

ЛИСТ РЕГИСТРАЦИИ ИЗМО<ЕН‘.Я