Методика поверки «Микроскопы сканирующие электронные TESCAN » (МП 203-19-2021)

ФГУП «ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ»

ФГУП «вниимс»

СОГЛАСОВАНО

Генеральный директор

•« X LXJUJ X

.СОГЛАСОВАНО

еститель директора изводственной метрологии «ВНИИ >

Государственная система обеспечения единства измерений

Микроскопы сканирующие электронные TESCAN

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 203-19-2021

Москва. 2021 г.

Настоящая методика поверки распространяется на микроскопы сканирующие электронные TESCAN (модификаций VEGA, MIRA, TIMA, CLARA, AMBER, AMBER X, MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X) (далее по тексту - микроскопы) изготавливаемые TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

• 1.1 Микроскопы сканирующие электронные TESCAN не относятся к многоканальным измерительным системам, многопредельным и многодиапазонным средствам измерений, не состоят из нескольких автономных блоков и не предназначены для измерений (воспроизведения) нескольких величин. Поверка отдельных измерительных каналов и (или) отдельных автономных блоков из состава средства измерений для меньшего числа измеряемых величин или на меньшем числе поддиапазонов измерений не предусмотрена.

• 1.2 Микроскопы до ввода в эксплуатацию, а также после ремонта подлежат первичной поверке, в процессе эксплуатации - периодической поверке.

• 1.3 Первичной поверке подвергается каждый экземпляр микроскопа.

• 1.4 Периодической поверке подвергается каждый экземпляр микроскопа, находящийся в эксплуатации, через установленный межповерочный интервал. Микроскопы, введенные в эксплуатацию и находящиеся на длительном хранении (более одного межповерочного интервала), подвергаются периодической поверке только после окончания хранения.

• 1.5 Обеспечение прослеживаемости поверяемого микроскопа к Государственному первичному специальному эталону единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) осуществляется посредством использования при поверке поверенной или аттестованной меры.

• 1.6 При определении метрологических характеристик поверяемого микроскопа используется метод непосредственного сравнения результата измерений поверяемого микроскопа с действительным значением единицы длины средства поверки.

При проведении поверки микроскопов должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1. Операции поверки

• 3.1 Поверку следует проводить в нормальных условиях окружающей среды:

• - температура окружающего воздуха, °C                    20 ± 3;

• - относительная влажность воздуха, не более, %             80.

А также должны отсутствовать вибрации, тряска, удары, являющиеся источником погрешности выполняемых угловых измерений.

• 3.2 Микроскопы и другие средства измерений и поверки выдерживают не менее 2 часов при постоянной температуре, соответствующей нормальным условиям.

• 4.1.   К проведению поверки допускаются лица, прошедшие обучение в качестве поверителя, ознакомившиеся с настоящей методикой поверки и с эксплуатационной документацией микроскопы сканирующие электронные TESCAN и средства поверки и работающие в организации, аккредитованной на право проведения поверки средств измерений.

• 4.2. Поверители обязаны иметь профессиональную подготовку и опыт работы с микроскопами, а также обязаны знать требования настоящей методики поверки.

• 4.3. Для проведения поверки микроскопов достаточно одного поверителя.

5.1. При проведении поверки должны применяться средства поверки, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки

Допускается применение аналогичных средств поверки с метрологическими и техническими характеристиками, обеспечивающими требуемую точность передачи единиц величин поверяемому средству измерений.

При выполнении поверочных работ должны быть выполнены требования промышленной безопасности, регламентированные на предприятии в соответствии с действующим законодательством.

Осмотр внешнего вида микроскопов осуществляется визуально.

• 7.1 При внешнем осмотре проверяют соответствие внешнего вида микроскопов эксплуатационной документации, комплектности, маркировки.

• 7.2 Проверяют отсутствие механических повреждений микроскопов, влияющих на его работоспособность, а также целостность кабелей связи и электрического питания.

• 7.3 Микроскоп считается поверенным в части внешнего осмотра, если установлено полное соответствие конструктивного исполнения, комплектности и маркировки его эксплуатационной документации, а также отсутствуют механические повреждения микроскопа, кабелей связи и электрического питания.

• 8.1 Перед проведением поверки микроскопа рекомендуется выполнить следующие подготовительные операции:

ознакомиться с описанием типа и руководством по эксплуатации поверяемого микроскопа;

выполнить мероприятия по обеспечению условий безопасности;

выдержать микроскоп во включенном состоянии не менее 30 минут.

• 8.2 Перед опробованием должны быть проведены подготовительные работы согласно эксплуатационной документации.

При опробовании проверяется работоспособность в соответствии с требованиями его эксплуатационной документации.

Микроскоп считается поверенным в части опробования, если установлено, что он функционирует в соответствии с эксплуатационной документацией.

Идентификацию программного обеспечения (ПО) проводят по следующей методике:

- проверить наименование программного обеспечения и его версию.

Микроскоп считается поверенным в части программного обеспечения, если наименование ПО - Tescan Essence и его версия не ниже 1.0.0.0.

Определение относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY проводится путём измерений периодов меры периода и высоты линейной TGZ1, или TGZ2, или TGZ3.

• 10.1 Произвести подготовку поверяемого микроскопа согласно его эксплуатационной документации. Расположить и закрепить меру в поверяемый микроскоп согласно его эксплуатационной документации.

• 10.2 Установить увеличение микроскопа таким образом, чтобы на экране отображалось от одного до трех периодов меры. Произвести сканирование меры. По полученному изображение определить 5 значений одного периода меры.

• 10.3 Последовательно произвести измерения номинальных значений периодов меры.

• 10.4 Для каждого полученного значения рассчитать относительную погрешность измерений линейных размеров по формуле:

Д_^И£_Х1ОО,                         (1)

^Лэ где Х_э- эталонное значение периода структуры меры, указанное в свидетельстве о поверке на меру;

Х_и/ - результат i-ro измерения периода меры.

• 10.5 Установить увеличение микроскопа таким образом, чтобы на экране отображалось от десяти до пятнадцати периодов меры. Произвести сканирование меры. По полученному изображение определить 5 значений десяти периодов меры. Полученные значения разделить на 10.

• 10.6 Для каждого полученного значения рассчитать относительную погрешность измерений линейных размеров согласно формуле 1.

• 10.7 Физически развернуть меру в микроскопе на 90 градусов и повторить процедуры согласно пунктам 10.2 - 10.6.

Микроскоп считается поверенным в части определения погрешности измерений линейных размеров в плоскости ХУ. если значеьшя относительной погрешности измерений линейных размеров не выходят за пределы ±3 %.

• 11.1 Микроскоп считается прошедшим поверку, если по пунктам 7-9 соответствует перечисленным требованиям, а полученные результаты измерений по пункту 10 не выходят за указанные пределы погрешности.

11.2В случае подтверждения соответствия микроскопа метрологическим требованиям, результаты поверки считаются положительными и её признают пригодным к применению.

11.3В случае, если соответствие микроскопа метрологическим требованиям не подтверждено, то результаты поверки считаются отрицательными и микроскоп признают непригодным к применению.

• 12.1 Сведения о результатах поверки (как положительные, так и отрицательные) передаются в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (ФИФ).

• 12.2 При положительных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается свидетельство о поверке средства измерений на бумажном носителе. Знак поверки в виде оттиска клейма и (или) наклейки наносится на свидетельство о поверке.

• 12.3 При отрицательных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается извещение о непригодности на бумажном носителе.

  

  Е.А. Милованова

  Д.А. Карабанов

Зам. начальника отдела 203

ФГУП «ВНИИМС»

Начальник лаборатории 203/5

ИЦ ФГУП «ВНИИМС»