Методика поверки «ГСОЕИ. Установка Proforma 300iG» (МП 203-30-2021)

ФГУП «ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ

МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ»

ФГУП «вниимс»

СОГЛАСОВАНО

Заместитель директора по производственной метрологии ФГУШ^ВНИИМС» оломин

«02» сентября 2021 г.

Государственная система обеспечения единства измерений.

Установка Proforma 300iG.

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 203-30-2021

• 1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

Настоящая методика поверки предназначена для проведения первичной и периодической поверки установки Proforma 300iG (далее - установка), изготовленной фирмой «МТ1 Instruments», США, предназначенной для измерений толщины пластин из кремния, арсенида галлия, фосфида индия, германия, а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.

При поверке должна быть обеспечена прослеживаемость установки к ГЭТ 2-2021 Государственный первичный эталон единицы длины. Реализация методики поверки обеспечена путем передачи единицы длины методом сравнения с мерой.

• 2. ПЕРЕЧЕНЬ ОПЕРАЦИЙ ПОВЕРКИ

2.1 В таблице 1 приведены операции, обязательные при проведении поверки.

Таблица 1 - Операции, обязательные при поверке

• 2.2 В случае отрицательного результата при проведении одной из операций, поверку установки прекращают и установку признают не прошедшей поверку.

• 3. ТРЕБОВАНИЯ К УСЛОВИИ ПРОВЕДЕНИЯ ПОВЕРКИ

• 3.1 При проведении поверки установки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающей среды            от плюс 15 до плюс 25°С;

• - относительная влажность воздуха           от 30 до 80 %.

• 4. ТРЕБОВАНИЯ К СПЕЦИАЛИСТАМ, ОСУЩЕСТВЛЯЮЩИМ ПОВЕРКУ

• 4.1   К проведению поверки и к обработке результатов измерений допускаются лица, имеющие квалификацию поверителя и изучившие порядок работы с установкой.

• 5. МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ К СРЕДСТВАМ ПОВЕРКИ

5.1 Для поверки установки применяют средства поверки, указанные в таблице 2. Таблица 2 - Перечень СИ, применяемых при поверке

• 5.2 Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью.

• 6. ТРЕБОВАНИЯ ПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ БЕЗОПАСНОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ПОВЕРКИ

• 6.1 Освещенность рабочего места поверителя должна соответствовать требованиям Санитарных правил и норм СанПиН 2.2.1/2.1.1.1278-03.

• 7. ВНЕШНИЙ ОСМОТР СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

• 7.1    Внешний осмотр и проверка комплектности и маркировки проводится визуально. При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие установки следующим требованиям:

• - отсутствие на установке механических повреждений, влияющих на ее работоспособность;

• - комплектность поверяемой установки должна соответствовать технической документации.

• 7.2   Установка считается годной, если соответствует вышеуказанным требованиям.

• 8. ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ И ОПРОБОВАНИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

• 8.1    Поверяемую установку и средства поверки следует подготовить к работе в соответствии с технической документацией на них.

• 9. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ И ПОДТВЕРЖДЕНИЕ СООТВЕТСТВИЯ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ МЕТРОЛОГИЧЕСКИМ ТРЕБОВАНИЯМ

• 9.1 Проверка диапазона и абсолютной погрешности измерений толщины

• 9.1.1 Для проверки диапазона и абсолютной погрешности измерений толщины используют набор мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД».

• 9.1.2 Отобрать из набора несколько мер с номинальными значениями, равномерно распределенными по диапазону измерений установки.

• 9.1.3 Измерить каждую отобранную меру не менее 5 раз.

• 9.1.4 Для каждой серии измерений по формулам (1) и (2) вычислить среднее арифметическое значение К_ср и абсолютную погрешность измерений J.

  

(1)

hi - результат /-го измерения, мкм; п - число измерений.

(2)

где h - действительное значение меры, мкм.

• 9.1.5 Установка считается годной, если абсолютная погрешность на всем диапазоне измерений не превышает значений, приведенных в таблице 3.

Таблица 3

• 10.  ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

• 10.1 Сведения о результатах поверки (как положительные, так и отрицательные) передаются в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (ФИФ).

• 10.2 При положительных результатах поверки в случае, если по результатам поверки средство измерений соответствует обязательным требованиям к эталону, оформляется протокол поверки и в ФИФ передаются сведения как о СИ, применяемом в качестве эталона.

• 10.3 При положительных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается свидетельство о поверке средства измерений на бумажном носителе. Знак поверки в виде оттиска клейма и (или) наклейки наносится на свидетельство о поверке.

• 10.4 При отрицательных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается извещение о непригодности на бумажном носителе.

  

  Е.А. Милованова

  М. Л. Бабаджанова

  Т. А. Корюшкина

Зам. начальника отдела 203

Начальник лаборатории 203/3

Младший научный сотрудник лаб. 203/3