Методика поверки «Набор мер Лассард» (МП 203-13-2021)

СОГЛАСОВАНО

директора по метрологии «ВНИИМС»

. Иванникова » июня 2021 г.

Государственная система обеспечения единства измерений. Набор мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД»

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 203-13-2021

• 1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

Настоящая методика поверки предназначена для проведения первичной и периодической поверки набора мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД» (далее - набор), изготавливаемых фирмой ООО «ЛАССАРД», г. Обнинск, и предназначеного для воспроизведения и передачи значений толщины приборам для измерений толщины пластин из кремния.

При поверке должна быть обеспечена прослеживаемость мер к ГЭТ 2-2021 Государственный первичный эталон единицы длины.

Интервал между поверками - 1 год.

• 2. ПЕРЕЧЕНЬ ОПЕРАЦИЙ ПОВЕРКИ

2.1 В таблице 1 приведены операции, обязательные при проведении поверки. Таблица 1 - Операции, обязательные при поверке

• 2.2 В случае отрицательного результата при проведении одной из операций, поверку мер прекращают и меру признают не прошедшей поверку.

• 3. ТРЕБОВАНИЯ К УСЛОВИМ ПРОВЕДЕНИЯ ПОВЕРКИ

• 3.1 При проведении поверки мер должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающей среды            от плюс 15 до плюс 25°С;

• - относительная влажность воздуха            от 30 до 80 %.

• 4. ТРЕБОВАНИЯ К СПЕЦИАЛИСТАМ, ОСУЩЕСТВЛЯЮЩИМ ПОВЕРКУ

• 4.1   К проведению измерений при поверке и к обработке результатов измерений допускаются лица, имеющие квалификацию поверителя и изучившие работу с мерами.

• 5. МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

К СРЕДСТВАМ ПОВЕРКИ

• 5.1   Для поверки мер применяют средства поверки, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Перечень СИ, применяемых при поверке

• 5.2 Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.

• 6. ТРЕБОВАНИЯ ПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ БЕЗОПАСНОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ПОВЕРКИ

• 6.1    Освещенность рабочего места поверителя должна соответствовать требованиям Санитарных правил и норм СанПиН 2.2.1/2.1.1.1278-03.

• 7. ВНЕШНИЙ ОСМОТР СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

• 7.1    Внешний осмотр и проверка комплектности и маркировки проводится визуально. При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие мер следующим требованиям:

• - отсутствие механических повреждений (сколов, царапин), влияющих на эксплуатационные свойства мер;

• - наличие маркировочных обозначений;

• - комплектность поверяемой меры должна соответствовать технической документации.

• 7.2   Мера считается годной, если соответствует вышеуказанным требованиям.

• 8. ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ И ОПРОБОВАНИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

• 8.1    Поверяемые меры и средства поверки следует подготовить к работе в соответствии с технической документацией на них.

• 9. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

• 9.1 Определение действительных значений толщины мер, проверка отклонения действительного значения толщины от номинального, погрешности воспроизведения толщины, стандартного отклонения среднего арифметического значения толщины и разнотолщинности мер.

Примечание: Необходимо быть крайне осторожным, т.к. кремний - хрупкий неметалл.

• 9.1.1 Действительные значения толщины мер определяют на приборе универсальном для измерений длины DMS 1000, установив минимальное измерительное усилие.

• 9.1.2  Для каждой меры провести измерения в пяти точках равномерно распределенных по рабочей зоне меры (диаметр 20 мм в центре меры).

• 9.1.3 Занести результаты измерений в протокол, повторить измерения для всех мер, входящих в набор.

• 10.  ПОДТВЕРЖДЕНИЕ СООТВЕТСТВИЯ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

МЕТРОЛОГИЧЕСКИМ ТРЕБОВАНИЯМ

• 10.1 Найти среднее значение толщины меры х_ср , по формуле:

^Xcp=£l‘₌₁x_i-^MKM                              (!)

где X, - результат i-ro измерения, мкм;

п - число измерений.

• 10.2 Вычислить отклонение действительных значений толщины от номинальных по формуле:

&= ^хср ~ ^хн > мкм                             (2)

где х_н - номинальное значение толщины меры, мкм.

• 10.3  Вычислить среднеквадратическое отклонение среднего арифметического значения толщины (СКО) о по формуле:

  

  мкм

(3)

• 10.4 Вычислить абсолютную погрешность воспроизведения значения толщины £, мкм по формуле:

8 = 2,78 • ст, мкм                                 (4)

• 10.5 Вычислить разнотолщинность меры по формуле:

^г         ~ ^ximin* ’ МКМ                         (5)

где Ximax - наибольшее измеренное значение толщины меры, мкм;

Ximm - наименьшее измеренное значение толщины меры, мкм.

• 10.6 Провести обработку результатов измерений по пунктам 10.1 - 10.5 для всех мер, входящих в набор.

• 10.7  Набор считается годным, если полученные результаты соответствуют

значениям, приведенным в таблице 3.

Таблица 3

• 10.8 Возможно применение набора в качестве эталона по Локальной поверочной схеме.

• 11.   ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

• 11.1 Сведения о результатах поверки (как положительные, так и отрицательные) передаются в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (ФИФ).

• 11.2 При положительных результатах поверки в случае, если по результатам поверки средство измерений соответствует обязательным требованиям к эталону, оформляется протокол поверки и в ФИФ передаются сведения как о СИ, применяемом в качестве эталона.

• 11.3 При положительных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается свидетельство о поверке средства измерений на бумажном носителе. Знак поверки в виде оттиска клейма и (или) наклейки наносится на свидетельство о поверке.

• 11.4 При отрицательных результатах поверки дополнительно по заявлению владельца средства измерений или лица, представившего его на поверку, выдается извещение о непригодности на бумажном носителе.