Методика поверки «ГСОЕИ. УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPRI PROBE 7341 ХР» (МП 016.М44-21)

СОГЛАСОВАНО

Заместитель директора по инновациям

ФГУГГ«ВНИИОФИ»

Государственная система обеспечения единства измерений

УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPRI PROBE 7341 ХР

Методика поверки

МП 016.М44-21

Главный метролог

ФГУП «№ВД)И»

______'/IT С.Н. Негода « о а»   I ' ЪЪ   2021 г.

Москва

2021 г.

Настоящая методика поверки распространяется на Установку толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР (далее по тексту -установка) и устанавливает методы и средства проведения первичной и периодических поверок. Установка предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

По итогам проведения поверки должна обеспечиваться прослеживаемость к ГЭТ 203-2012. Поверка установки выполняется методом косвенных измерений.

Интервал между поверками - 1 год.

• 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, перечисленные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

2.3 При получении отрицательных результатов при проведении хотя бы одной операции поверка прекращается.

• 2.1 Поверку средств измерений осуществляют аккредитованные в установленном порядке в области обеспечения единства измерений юридические лица и индивидуальные предприниматели.

• 3.1 При проведении первичной и периодической поверок применяются средства, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки

3.2 Средства поверки должны быть аттестованы (поверены) в установленном

порядке.

3.3 Допускается применение средств поверки, не приведенных в таблице 2, но обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью.

К проведению поверки допускают лиц, изучивших настоящую методику поверки и руководство по эксплуатации установки, имеющих квалификационную группу не ниже I в соответствии с правилами по охране труда при эксплуатации электроустановок, указанных в приложении к приказу Министерства труда и социальной защиты РФ от 15.12.2020 № 903н и прошедших полный инструктаж по технике безопасности, прошедших обучение на право проведения поверки по требуемому виду измерений.

• 5.1 При поверке установки необходимо соблюдать требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040-83, требования к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061-81.

5.5 При проведении поверки должны соблюдаться меры безопасности, указанные в руководстве по эксплуатации на установку и общие требования безопасности по ГОСТ 12.3.019-80 с изменением № 1.

• 6.1 При проведении поверки следует соблюдать следующие условия:

• -     температура воздуха (21 ± 3) °C;

• -     относительная влажность воздуха от 30 до 70 %;

• -     атмосферное давление (100 ± 4) кПа;

• 6.2 Помещение, в котором производится поверка, должно соответствовать классу 3 ИСО согласно ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017.

• 6.3 Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать:

• - температура окружающей среды ± 1 °C;

• - атмосферное давления ±300 Па;

• - относительная влажность воздуха ±10%.

• 7.1 При проведении внешнего осмотра установки должно быть установлено:

• -     отсутствие механических повреждений на деталях установки;

• -     наличие и прочность органов управления и коммутации, четкость фиксации их положения;

• -     чистота гнезд, разъемов и клемм;

- состояние соединительных кабелей.

• 7.2 Установка считается прошедшей операцию поверки, если корпус, внешние элементы, органы управления и индикации не повреждены, соединительные провода исправны.

• 8.1 Подготовить используемое при поверке оборудование к работе в соответствии с его Руководством по эксплуатации. Расположение установки должно быть вдали от отопительных устройств и осветительной аппаратуры.

• 8.2 Выдержать установку и оборудование, используемое при поверке, в условиях, указанных в п.6 настоящей методики поверки, не менее 2 часов

• 8.3 Убедитесь, что оборудование находится в состоянии UP (если оборудование находится в состоянии Down - не приступайте к проведению испытаний)

• 8.4 Убедитесь, что установка включена: на экране монитора - главное меню установки (рисунок 1 или рисунок 2).

Зелёные кружки слева от названия узла свидетельствуют об исправности узла установки (если один или несколько кружков красные - не приступайте к проведению испытаний).

• 8.5. Подготовка устройства к испытаниям:

• 8.5.1 Убедитесь, что на устройстве загрузки установки (порт 1 и 2) отсутствуют SMIF-контейнеры с пластинами.

• 8.5.2 Если занят хотя бы один порт загрузки, проверьте пиктограммы кассет на вкладках Cassette 1 и Cassette 2 главного меню (рисунок 3), для чего нажмите мышкой ярлыки соответствующих вкладок.

Если установка не занята пользователем, пиктограмма «кассета» имеет вид, указанный на рисунке 1 или рисунке 2.

Если установка занята пользователем, пиктограмма «кассета» имеет вид, указанный на рисунке 3.

Рисунок 1

Г" Basic System

Vision Processor

dear All

lf*tS-XP VXZJtl (ChanSft -DkpUt'I

jJSJxl

Рисунок 2

Setup location

■

Рисунок 3

• 8.7.2. Введите пароль в строке «User Name» (например, «Operator»), а в строке «Password» - пароль группы операторов (например, «Operator»). Нажмите кнопку «Login».

  

User Name |°Perator

IxxxxxxxjJ

¹

Cancel

Рисунок 4

• 8.7.3. В главном меню (рисунок 2 или рисунок 3), нажмите кнопку «Open File», откроется окно «Open Job File» (рисунок 5а, б). В директории «M_Nonpattemed» находятся рецепты для пластин без рисунка: мониторные и для выполнения QT по участкам. В директории «M_pattemed» находятся рецепты для продуктовых пластин с рисунком, рецепты сгруппированы в папках с номерами кристаллов.

  Open Job File

  Directories

  Sub-Diredories

  Job Files

  [Default] [F8]		[0043] [CMP] [custom]		[Copy (2) of Oxht07e] [Copy of Oxht07e] [MSHTO05AE]	Ж
  h A J J CTii <i-u№
  [M_Patterned]		[CVD-QT]		[MSHTO05E]
  [Non patterned]		[CVD-RTP]		[NITR-8K-OX-800A]
  [Patterned]		[DIFF]		[NITR01E]
  [QUALIF]		[Diff ONO]		[NITR07E]
  [Tests Mikron]		[Etch]		[NITR08E]
  M		[EXP KNI]		[NITR09E]	—
  		[H10 QT]		[NITR20E]
  		[HDP-CVD-QT]		[ONO05]
  				[Ox64A SOI]
  		[OXIDE22AE]		[OXHT07AE]
  		[Photo]		[OXHT07E]
  		[PVD]		[OXHT09AE]
  		[SiGe]		[OXHT09E]
  		[SPC_M]		[OXHT51E]
  		[wet]		[OXIDE02E]
  <1 1	±1	±1 1	21	[OXIDEI 3E] 11 1

  Г Use Log Diagnostics

  Exit

  Chain

Рисунок 5a

Рисунок 56

• 8.7.4. Выберите рабочий файл в окне «Job Files», для чего укажите путь к файлу Directories/ Sub-Directories/ Job Files. Появится экран, указанный на рисунке 6.

  -1S1

  IFMS-XPVXZ-RI I JoteM.WiPAnERMD'.aiSIOM'.SPr.OXlOOO'i, -Rnope Surnnwry" ]

  
  

  N/A N/A

  Last modified: Date & Time 07/23/2009 13:43 35

  Last modified by User NIKOLAY Privilege System Manager

  Reope Summary 734224

  Name Job M NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX10C0\ Owner NIKOLAY

  Setup Loudon F*n Measure Queue Ard*ve

  
  

  31

  .... Process Setup Run number Lot ID

  Process date Process Time Operator Equipment Process Shift Comments Display process information window at run time? •••• Measurement Setup -••• Measurement type Location mode Center X (mm) Center Y (mm) Size (mm) Reflectivity choice Precision

  .... Cassette Setup ........

  Wafer diameter (mm) Cassette mode Source cassette

  Waferfs) selected (cassette 2)

  Single point

  Automatic (specify center XY) 0000

  0.000

  0.000

  None

  Standard

  Yes

  200 Cassette Station 2

  
  

  Рисунок 6

• 8.7.5. Кликните мышкой вкладку «Cassettel» или «Cassette2» (рисунок 6) в зависимости от того, на какой порт установлен контейнер с пластинами. Правой клавишей мыши нажмите на пиктограмму «кассета».

В появившемся меню (рисунок 7) нажмите «Load Cassette». Произойдет загрузка установленной кассеты.

l_i Fie Jew System Job Wnoow Het»

TTIMS-XP V12.Rl-[ Jot>:M_NtMPATTERMED\CUSTD4 SPf . OXIOOQ'. "Recipe «негкпагу" J

Tati Lal Tool I Vnon I

-|g| x|

Job M_NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX1000\

Caweltel Cassette 2 |

Layer 1 Thickness

Рисунок 7

Mees>_re 'jueue ArcnWe

Setup location

A uto Measure...

3DE21EX

d Service

Yes

125 Unknown

N/A N/A

Last modified Date & Tim Last modified by User FL_

'Jame: Job.NONPATTE Owner METRO

Load Wafer...

LribsdWafei..

Мглл Measure., stasa '.orator...

8.7.7. Нажмите «Auto Measure» (рисунок 8). Появится окно диалога «Enter Process Information» для ввода информации о процессе (рисунок 9).

[Enter Process Information

Cassette 2 |

Wafer(s) selected (cassette 2)

Clear All

Рисунок 9

8.7.8 С помощью клавиатуры или эмулятора клавиатуры окна диалога (рисунок 10) введите данные. Нажмите «Enter» на клавиатуре или мышкой в окне диалога.

• 8.7.9 В строку Wafer(s) selected (Cassette 2) введите номера измеряемых пластин (рисунок 11).

Примечание. Номера пластин вводятся через запятую с помощью клавиатуры или эмулятора клавиатуры окна диалога. Диапазон пластин вводится через чёрточку. Количество измерений пластины задаётся через двоеточие.

Пример записи: 1,3,5, 7-10, 11:3, т.е. выбраны пластины № 1,3,5, далее с №7 по №10, пластина №11 будет измеряться 3 раза.

• 8.7.10 Нажмите Enter на клавиатуре или мышкой в окне диалога.

• 8.7.11 Нажмите Go в окне диалога (рисунок 9).

  
  

Рисунок 11

• 8.7.12 Проверьте номер паза пластины для измерения или измените порядок измерения пластин, для чего нажмите на пазы с пластинами для измерения. В чек - боксах появятся крестики (рисунок 12).

Примечания:

• 1. Можно выбрать/отказаться от выбора пластины, используя клавиши-стрелки «вверх»/«вниз» с последующим нажатием клавиши «пробел».

• 2. Если был выбран ошибочно паз без пластины, в первой колонке появится красный крест (например, для паза 12) (рисунок 11).

• 3. Установка позволяет выбрать последовательность измерения пластин, для чего введите номера пластин в желаемой последовательности, например, 5, 3, 10 или сначала выполните Reset ID, затем последовательно становитесь курсором на строки с пластинами в желаемой последовательности, и нажимайте клавишу «пробел».

• 8.7.13 Нажмите Go (рисунок 12).

Начнётся процесс измерения в автоматическом режиме (загрузка пластин в установку, ориентация по базовому срезу, загрузка пластин на предметный столик, точная ориентация пластин, если она используется, измерение пластин в соответствии с картой обхода, выгрузка пластин).

По завершении измерения появляется сообщение в строке состояния о завершении измерения (рисунок 13, внизу окна).

Рисунок 12

Примечания:

• 1. Пример информации во время измерения показан на рисунке 13.

• 2. Перед началом измерения партии или в процессе измерения установка калибруется. На экране появляется предупреждающее сообщение (рисунок 13).

• 3. Запрещается выполнять какие-либо действия с установкой в процессе калибровки.

  -Igl Х|

  
  

  Рисунок 13a

  ITMS-XP VX2.R1 -{ Job: М_ХОИРАГП1Ц*Р .CUSTOM.SPC OXIOOQ' TleeulB Queue* )

  	IT		B]g		Job M_NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX100CJ\	3	J	•
  DOSMenu ;	Tool	Lbrarres	SECS	Open rfe			Logm Restore	Pause (Hatt

  

  Empcy Prrt

  Measure Queue ArcNve

  Parameter				Layer 1 TtwinauJA]	Goortress-oHt	Resriual	J
  		Mean		1064 53	09772	2552e-0C3
  		Sigma		1 526eO02	5S76e005	7 015e006
  		XSgr-a		1 434e003X	59O3e-0C3X	Q27X
  		Range		4 749e-0C2	2C50e-004	2483e-005
  		X Range		4 461eO03X	2099e-002 X	O97X
  		Max		1064 56	09773	00026
  		Mn		1064 51	09771	00025
  		Uniormrty		0000022	0000105	0004864
  	XImm)		YImml	Layer 1 TbcknessfAl	Goodrress-of-Fi	Resdual
  9	-0 04*721		0000000	1064 55	09772	00026
  10	0 022361		0.000000	1064 51	09772	00025	_
  11	0000000		0000000	106451	09772	00026
  12	0022361		0000000	1064 54	09773	00025
  13	0 044721		0000000	1064 52	0.3772	00026
  /_	0 044721		0022361	1064 54	0.9772	00025

  Port Dale [Parameter Plots

  SormaryReport |c«sette Summary

  P Tisck’Meat'jerrie'M

  a Ladd	ca sb	Status             ’ me	GoodrAJ	SOF PI (A) MeanflJA) SrgMIV)	XStgenafl)	P21AJ MearOIA) Si
  Г 1234	2 11	54B№fc К . 07/28Л9 092957	14/21	09772 11    1064 53 1 526e-002	1 434e<B3X	If a9772 &
  		Mean		0.0000 0.0000	000 X	0.0000
  		Range		aoooo		0.0000
  		Mrwnum		00000		00000
  		Maramum		00000		0 0000

  a    Dare     Time Message		■ ■ =1 rJ
  	4592 09X07X28 093022 Measurg ate 15 oi 21 4591 0907128 093020 Measurg Me 14 of 21 4590 09i07\28 09.3018 Measarg Me 13 of 21 4COO ГКАЛТХ-Х) no.-XVI7               n 11
  SWus Log I Enol Log | .. . ..... .....		015 CEQ --EA-

  

  P TiackMeaaxemeri

  oocoo 00000 0 0000 0 0000

  0.0000

  ocooo

  00030

  Good/AI GOF P11A) МеапЩА| SgmadlA) * Sigmail) P2SM MeartflA) Sign

  07/28/09 09.2315

  Mean Range Minimum Маяпкжп

  rfMS XPV3.2JU -I Job:M_r«r<PArrtRr«I>\CUSIO*r.5PC_OXIOOO Te«*«Queue*}

  

  Measure <^jeue Arcntve

  Parameter

  WARNING: Selftest in progress. Avoid contact with machine to ensure valid results.

  

  Uncertarty

  SeiectMty

  Header Data [ Patametet Ptoti | Raw Data |

  0 0000

  0.0000

  0.0000 a oooo

  

  В    Dste    Time Menage
  ►   <531 09407428 09 24.40 Performing broarbmd ipacirameter cAi, 4530 09407428 09.24.37 Meaning port 8 of 8 . 4529 09407428 0924:35 Meaiurr^ port 7 oi 8 ic-ю палл'н'хз no ni-oi                с «з о				2d
  SlarurLoq I Error Log J
  		DISOCQ-EA-    ■

  Рисунок 136

  

• 8.7.14 Просмотрите результаты измерения в правом нижнем окне главного меню (рисунок 13).

• 8.7.15 Установка считается прошедшей операцию поверки, если измерения толщины были выполнены по центральным координатам каждой кремниевой пластины. Показателем успешного выполнения измерений будет наличие измеренных значений толщины в центральных участках пластины и отсутствие сообщений об ошибках программного обеспечения.

• 9.1 Проверить соответствие заявленных идентификационных данных программного обеспечения: идентификационное наименование программного обеспечения, номер версии программного обеспечения (далее - ПО). Номер версии ПО отображается в заголовке окна программы «TFMS-ХР». Также номер версии ПО можно узнать, открыв вкладку «About» в окне программы.

• 9.2 Установка считается прошедшей поверку, если идентификационные данные программного обеспечения соответствуют значениям, приведенным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные программного обеспечения

• 10.1 Определение диапазона измерений толщины и определение абсолютной погрешности измерений толщины с помощью ГЭТ 203-2012 и установки методом компарирования.

• 10.2 Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений толщины осуществляется с помощью ГЭТ 203-2012.

  • 10.2.1 Подготовить ГЭТ 203-2012 к работе в соответствии с Приложением А ««Правила содержания и применения Государственного первичного эталона единицы комплексного показателя преломления ГЭТ 203-2012».

  • 10.2.2 Расчет толщины покрытий осуществляется с помощью программы «CompleteEASE», входящей в состав ГЭТ 203-2012.

    • 10.2.2.1 Поместить на держатель образца эллипсометра из состава ГЭТ 203-2012 кремниевую пластину диаметром 200 мм с S1O2 с толщиной пленки: 20 нм, входящую в комплект поставки установки, чтобы требуемая область на мере располагалась в зоне измерений.

    • 10.2.2.2 Переместить переключатель помпы в положение «Вкл» для фиксации пластины на держателе образца (Приложение А ««Правила содержания и применения Государственного первичного эталона единицы комплексного показателя преломления ГЭТ 203-2012»).

    • 10.2.2.3 В программе «CompleteEASY» из состава ГЭТ 203-2012 перейти на закладку «Measurement».

    • 10.2.2.4 В поле «Measurement Controls» выбрать следующие параметры (рисунок 7):

«Mode» - «Long»

«Sample Alignment» - «Standard»

«Model» - «None»

Mode; None

Save Data after Measurement

Measure

ViewPrev Re-suSs

Graph Type

300

«л c « c 200

Wavelength (nm)

• 10.2.2.6 Нажать кнопку «Measure» для начала измерений (рисунок 14). После завершения процесса измерений в нижней половине окна программы «CompleteEASY» появятся графики зависимости измеренных значений эллипсометрических углов Пси и Дельта от длины волны (рисунок 15).

  

Рисунок 15 - Получение результатов

• 10.2.2.7 Перейти во вкладку «Analysis» и в поле «Model» нажать кнопку «Open» (рисунок 9).

У сивилла                                                                                                      o-tffc

мегялпел ’ лдоузё ' нха»у»        !

Data : Огэ Not Блее                     мэж NCMjoeiUBOeo

fipw Saw we SMReofes

Ft

• 10.2.2.8 В открывшемся окне «Open Model» выбрать дирректорию «Basic» и модель «Si with Transparent Film.mod» (рисунок 16). Нажать кнопку «Open».

• 10.2.2.9 В окне программы «CompleteEASY» перейти в поле «Fit» и нажать кнопку

«Fit» (рисунок 16). В поле «Fit» появятся рассчитанные значения толщины слоя «Thickness» (рисунок 17).                                                        * *

Measurement Analysis Hardware Options                                  __ __________ ___ __ ______

Data Data Not Sa^ed

£pen               jnfc Sttnjnses

Ft

gtren* || fll |i

MSE = 2370

TficmessP 1 = 292 0lt0 612A

A = t 46410 0041

0 = 0.0035310 001705

C = 2 02470-0510 00019455

i Of C*;ryFtr ЙЙЭ nr.' = M'.«?

Mooei S< win Transparent Fer

Oripr Tpe

Spectroscopic Ellipsometric (SE) Data

Рисунок 17 - Выбор директории

J2»‘ CoinpleteEASE

MSE = 2.370

Thickness # 1 = 292.01 ±0.612 A

A = 1.464±0.0041

В = 0.00353±0.001705

C = 2.8247E-05±0.00019455

n of Cauchy Film @ 632 8 nrn = i 47349

Рисунок 18 - Результаты расчета толщины

• 10.2.2.10 Результаты измерений толщины (рисунок 18) занести в протокол (Приложение А).

• 10.2.2.11 Повторить п.п. 10.2.2.1 - 10.2.2.10 для каждой кремниевой пластинки не менее 5 раз.

10.3 Определение толщины покрытия с помощью установки.

• 10.3.1 Определение толщины покрытия кремниевые пластинки с помощью установки произвести в соответствии с п. 7.2. настоящей методики поверки не менее 5 раз для каждой кремниевой пластинки..

• 10.3.2 Результаты измерений толщины участка кремниевой пластины занести в протокол (Приложение А).

• 11.1 Расчет толщины покрытия в виде слоя двуокиси кремния на подложке, нм, проводится с помощью программы «CompleteEASE» согласно п. 10.2.

  • 11.1.1  За результат расчета толщины покрытия, нм, принимается среднее арифметическое значение результатов измерений толщины для каждой кремниевой пластинки по формуле (1):

п

где xj- результат измерений толщины меры с помощью ГЭТ 203-2012, нм;

i = 1, 2,... - номер измерения;

п = 5 - количество измерений.

• 11.1.2 Повторить пп. 8.1.1 для каждой меры. Результаты измерений толщины участка пластин занести в протокол (Приложение А).

• 11.2 За результат расчета толщины покрытия, нм, с помощью установки принимается среднее арифметическое значение результатов измерений толщины для каждой кремниевой пластинки по формуле (2):

п

¹⁼¹ , (2)

где Xyj- результат измерений толщины меры с помощью установки, нм;

i = 1, 2,... - номер измерения;

п = 5 - количество измерений.

• 11.3 Установка считается прошедшей операцию поверки, если диапазон измерений толщины покрытия соответствует значениям от 20 до 800 нм, а предел абсолютной погрешности измерений толщины А, вычисленный по формуле (3) не превышает значения, указанные в таблице 3.

Таблица 3 - Предел абсолютной погрешности измерений толщины

Д=±|х — х_у|,                                 (3)

где х - среднее значение толщины пластины, полученное с помощью ГЭТ 203-2012,

х_у - среднее значение толщины пластины, полученное с помощью установки.

• 12.1 Результаты поверки оформляются протоколом поверки. Рекомендуемая форма протокола поверки приведена в приложении А. Протокол может храниться на электронных носителях.

• 12.2 При положительных результатах поверки по запросу заказчика может быть оформлено свидетельство о поверке в установленной форме.

• 12.3 При отрицательных результатах поверки по запросу заказчика может быть оформлено извещение о непригодности в установленной форме с указанием причин непригодности.

• 12.4 Сведения о результатах поверки передаются в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

Начальник отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

Начальник лаборатории отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

Старший научный сотрудник отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

ПРИЛОЖЕНИЕ А (рекомендуемое) к Методике поверки МП 016.М44-21

«УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPTI PROBE 7341 ХР»

ПРОТОКОЛ первичной / периодической поверки от «__»____________20___года

С редство измерений: установка для контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР

Зав.№___; год выпуска____________;

3 а к а з ч и к__________________________________________________________

Наименование юридического лица, ИНН

Поверено в соответствии с методикой поверки «Установка для контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР. Методика поверки МП 016.М44-21», согласованной ФГУП «ВНИИОФИ»

Наименование документа на поверку, кем утвержден (согласован), дата

С применением эталонов___________________________________________________

(наименование, заводской номер, разряд, класс точности или погрешность)

Место проведения поверки:__________________________________________________

(адрес места проведения поверки)

Условия поверки:

• - температура окружающего воздуха, °C

• - относительная влажность воздуха, %

• - атмосферное давление, кПа

Результаты поверки:

Таблица 1. Соответствие результатам поверки

Таблица 2 - Результаты измерений

Средство измерений признать пригодным (или непригодным) для применения

Поверитель:_________________________________________ФИО, должность, подпись

20