Методика поверки «ГСОЕИ. УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPRI PROBE 7341 ХР» (МП 016.М44-21)

Методика поверки

Тип документа

ГСОЕИ. УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPRI PROBE 7341 ХР

Наименование

МП 016.М44-21

Обозначение документа

ФГУП ВНИИОФИ

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

СОГЛАСОВАНО

Заместитель директора по инновациям

ФГУГГ«ВНИИОФИ»

Государственная система обеспечения единства измерений

УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPRI PROBE 7341 ХР

Методика поверки

МП 016.М44-21

Главный метролог

ФГУП «№ВД)И»

______'/IT С.Н. Негода « о а»   I ' ЪЪ   2021 г.

Москва

2021 г.

1 Введение

Настоящая методика поверки распространяется на Установку толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР (далее по тексту -установка) и устанавливает методы и средства проведения первичной и периодических поверок. Установка предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

По итогам проведения поверки должна обеспечиваться прослеживаемость к ГЭТ 203-2012. Поверка установки выполняется методом косвенных измерений.

Интервал между поверками - 1 год.

2 Перечень операций поверки средств измерений
  • 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, перечисленные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

№ п/ п

Наименование операций

Номер пункта документа по поверки

Проведение операций при

первичной поверке

периодической поверке

1

Внешний осмотр

7

Да

Да

2

Опробование

8

Да

Да

3

Проверка идентификации программного обеспечения

9

Да

Да

4

Определение метрологических характеристик

10

5

Определение диапазона измерений толщины и определение доверительных границ абсолютной погрешности измерений толщины

10.1-8

Да

Да

2.3 При получении отрицательных результатов при проведении хотя бы одной операции поверка прекращается.

  • 2.1 Поверку средств измерений осуществляют аккредитованные в установленном порядке в области обеспечения единства измерений юридические лица и индивидуальные предприниматели.

3 Метрологические и технические требования к средствам поверки
  • 3.1 При проведении первичной и периодической поверок применяются средства, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки

Операция поверки

Средство поверки

Метрологические и технические требования к средствам поверки

Рекомендуемые типы средств поверки

п. 10

Г осударственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления по Локальной поверочной схеме средств измерений толщины покрытий в диапазоне значений от 1 до 1000 нм, утвержденной

ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019

Среднее квадратическое отклонение:

  • -  для действительной части п не более 0,001

  • - для мнимой части к не более 0,002

Неисключенная систематическая погрешность:

  • -  для действительной части п не более 0,0007

  • - для мнимой части к не более 0,0004

Диапазон значений комплексного показателя преломления n=n-ik, в котором воспроизводятся единицы, составляет:

  • - для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;

  • - для мнимой части к (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0

ГЭТ 203-2012

Г осударственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Вспомогательные средства поверки

Определение условий проведения поверки

Средства измерений температуры

Диапазон измерений температуры от минус 20 до плюс 60 °C; Предел допускаемой основной абсолютной -погрешности измерения температуры ± 0,3 °C;

Термогигрометр

ИВА-6Н-Д, рег.№ 46434-11

Средства измерений относительной влажности воздуха

Диапазон измерений • относительной влажности от 0 до 98 %; Предел допускаемого значения основной абсолютной погрешности измерения относительной влажности ± 2 %;

Операция поверки

Средство поверки

Метрологические и технические требования к средствам поверки

Рекомендуемые типы средств поверки

Средства измерений атмосферного давления

Диапазон измерения атмосферного давления от 300 до 1100 гПа; Предел допускаемого значения основной абсолютной погрешности измерения давления ± 2,5 гПа.

3.2 Средства поверки должны быть аттестованы (поверены) в установленном

порядке.

3.3 Допускается применение средств поверки, не приведенных в таблице 2, но обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью.

4 Требования к специалистам, осуществляющим поверку

К проведению поверки допускают лиц, изучивших настоящую методику поверки и руководство по эксплуатации установки, имеющих квалификационную группу не ниже I в соответствии с правилами по охране труда при эксплуатации электроустановок, указанных в приложении к приказу Министерства труда и социальной защиты РФ от 15.12.2020 № 903н и прошедших полный инструктаж по технике безопасности, прошедших обучение на право проведения поверки по требуемому виду измерений.

5 Требования (условия) по обеспечению безопасности проведения поверки
  • 5.1 При поверке установки необходимо соблюдать требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040-83, требования к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061-81.

5.5 При проведении поверки должны соблюдаться меры безопасности, указанные в руководстве по эксплуатации на установку и общие требования безопасности по ГОСТ 12.3.019-80 с изменением № 1.

6 Требования к условиям проведения поверки
  • 6.1 При проведении поверки следует соблюдать следующие условия:

  • -     температура воздуха (21 ± 3) °C;

  • -     относительная влажность воздуха от 30 до 70 %;

  • -     атмосферное давление (100 ± 4) кПа;

  • 6.2 Помещение, в котором производится поверка, должно соответствовать классу 3 ИСО согласно ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017.

  • 6.3 Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать:

  • - температура окружающей среды ± 1 °C;

  • - атмосферное давления ±300 Па;

  • - относительная влажность воздуха ±10%.

7 Внешний осмотр средства измерений
  • 7.1 При проведении внешнего осмотра установки должно быть установлено:

  • -     отсутствие механических повреждений на деталях установки;

  • -     наличие и прочность органов управления и коммутации, четкость фиксации их положения;

  • -     чистота гнезд, разъемов и клемм;

- состояние соединительных кабелей.

  • 7.2 Установка считается прошедшей операцию поверки, если корпус, внешние элементы, органы управления и индикации не повреждены, соединительные провода исправны.

8 Подготовка к поверки и опробование средства измерений
  • 8.1 Подготовить используемое при поверке оборудование к работе в соответствии с его Руководством по эксплуатации. Расположение установки должно быть вдали от отопительных устройств и осветительной аппаратуры.

  • 8.2 Выдержать установку и оборудование, используемое при поверке, в условиях, указанных в п.6 настоящей методики поверки, не менее 2 часов

  • 8.3 Убедитесь, что оборудование находится в состоянии UP (если оборудование находится в состоянии Down - не приступайте к проведению испытаний)

  • 8.4 Убедитесь, что установка включена: на экране монитора - главное меню установки (рисунок 1 или рисунок 2).

Зелёные кружки слева от названия узла свидетельствуют об исправности узла установки (если один или несколько кружков красные - не приступайте к проведению испытаний).

  • 8.5. Подготовка устройства к испытаниям:

  • 8.5.1 Убедитесь, что на устройстве загрузки установки (порт 1 и 2) отсутствуют SMIF-контейнеры с пластинами.

  • 8.5.2 Если занят хотя бы один порт загрузки, проверьте пиктограммы кассет на вкладках Cassette 1 и Cassette 2 главного меню (рисунок 3), для чего нажмите мышкой ярлыки соответствующих вкладок.

Если установка не занята пользователем, пиктограмма «кассета» имеет вид, указанный на рисунке 1 или рисунке 2.

Если установка занята пользователем, пиктограмма «кассета» имеет вид, указанный на рисунке 3.

Рисунок 1

Г" Basic System

Vision Processor

Г Robot and PreAligner

Г* Cass eno Stations

^2) SECS Communication

Green light indicates component is tuncbonal Red light indicates a touR condihon

Check one or more items, and then press 'Reser to reinitialize those components.

Re set Selected

Select АЛ

dear All

lf*tS-XP VXZJtl (ChanSft -DkpUt'I

jJSJxl

Tod Lbrenes SECS

?=|   Cham SPC                                            jj

Open He

g J t logn Restore    Peuse / на*

Sacup

# *

М»«ив

Resdts

d

Owe

Reflect Hmag (5761 A;

1

Sy-j X Sigma

265Se-0O5 1511НЮЗ*

Ximml

Range X Range Max Mr Urionnty

Ylmm)

7 968O-005

4 470*003* 17603 17602

0 000022

Idled Hmao 16761 A)

1

56 560001

56 560001

1 7602

2

56 560001

56 560001

1 7602

3

56560001

56560001

1 7602

4

56 560001

56 560001

1 7603

,» J

56 560001

56 560001

1 7602

Рисунок 2

ItFM^-XP VX2.RI - ( Job: MON PAT TER KO MONTTORS\OXTDf21E\ “ПгмА» Queue” ]

-I S|

1__Fie Mew System Jjb Wrxkw Help

*lejxj

№4 iTfijSS

7=^ |Ч» Job NONPATTERNED\MONITORSUJX1DE21E\

d

V J •

DOS Menu      Tod Ibartes SECS

Open Fie                                             I

login Restore    Рале/Ha*

Setup location

Рисунок 3

Ta* LU Tool |Уиюп I

Measure Queue Ard»ve

Parameiet

Mean

106524

0 9769

2 586*003

Sigma

265

4 8S1eO04

5 531*005

% Sigma

0 25*

5007*002*

214*

Range

507

9 740e004

1101*004

*Range

048 X

aS7DeOO2»

4 26*

Max

1068.22

09774

00026

Mh

1063.15

09764

00025

Uniform*!»

0002379

0000499

0 021288

XI mm)

Yfmm|

1

occoooo

0000000

1064 33

09770

00026

2

46075000

0000000

106315

09774

00025

  • 4  1

  • 5

  • 6

  • 7  i

  • 8

0000000

46.075000

106822

09764

00026

9

Port Data | Patmts Plot» |

_V Sianmary Report |c assart» Stannary               ₽ Track. Meearemert

Good/Al GOF P11A| Маап/ЦА) Sigmafl >A| » Sigmafl) РЭД Mean(2IA)

  • 8.6 Установите SMIF-контейнер с кремниевыми пластинами из комплекта установки на свободный порт загрузочного устройства установки.

  • 8.7 Измерение при использовании отдельных файлов «Job files».

8.7.1. В главном меню (рисунок 2 или 3), нажмите кнопку «Login», появится окно диалога (рисунок 4).

  • 8.7.2. Введите пароль в строке «User Name» (например, «Operator»), а в строке «Password» - пароль группы операторов (например, «Operator»). Нажмите кнопку «Login».

User Name |°Perator

IxxxxxxxjJ

1

Cancel

Рисунок 4

  • 8.7.3. В главном меню (рисунок 2 или рисунок 3), нажмите кнопку «Open File», откроется окно «Open Job File» (рисунок 5а, б). В директории «M_Nonpattemed» находятся рецепты для пластин без рисунка: мониторные и для выполнения QT по участкам. В директории «M_pattemed» находятся рецепты для продуктовых пластин с рисунком, рецепты сгруппированы в папках с номерами кристаллов.

    Open Job File

    Directories

    Sub-Diredories

    Job Files

    [Default]

    [F8]

    [0043] [CMP] [custom]

    [Copy (2) of Oxht07e] [Copy of Oxht07e] [MSHTO05AE]

    Ж

    h A J J CTii <i-u№

    [M_Patterned]

    [CVD-QT]

    [MSHTO05E]

    [Non patterned]

    [CVD-RTP]

    [NITR-8K-OX-800A]

    [Patterned]

    [DIFF]

    [NITR01E]

    [QUALIF]

    [Diff ONO]

    [NITR07E]

    [Tests Mikron]

    [Etch]

    [NITR08E]

    M

    [EXP KNI]

    [NITR09E]

    [H10 QT]

    [NITR20E]

    [HDP-CVD-QT]

    [ONO05]

    [Ox64A SOI]

    [OXIDE22AE]

    [OXHT07AE]

    [Photo]

    [OXHT07E]

    [PVD]

    [OXHT09AE]

    [SiGe]

    [OXHT09E]

    [SPC_M]

    [OXHT51E]

    [wet]

    [OXIDE02E]

    <1 1

    ±1

    ±1 1

    21

    [OXIDEI 3E]

    11 1

    Г Use Log Diagnostics

    Exit

    Chain

Рисунок 5a

Directories

Sub-Directories

Job Files

[Default]

[0026]

“3

[CAPA-RE FLE CT]

[F8]

[0027]

[CAPA-RESIST_THICKN

[M_Non patterned]

11 fl и

[0028]

[CM-OXPMD]

[0029]

[CV-BOX]

[Non patterned]

[0030]

[CV-FSGGF]

[Patterned]

[0031]

[CV-FSGGF-FULL]

[QUAUF]

[0032]

[CV-NIPAS]

[Tests_Mikron]

[0033]

[CV-NITBL]

[twi]

[0034]

[CV-OXIMD]

[0035]

[CV-OXPAS]

[0036]

[CV-SIRICH]

[0037]

[DF-AGAPF]

[DF-BPSGUL]

[0039]

[DF-BPSGPMD]

[0040]

[DF-CLEANOX]

[0040old]

[DF-HVOX]

[0041]

[DF-NPOX13]

[0041 old]

[DF-OXGATE]

1

<1 1

21

[0042]

1

гГ1

[DF-OXSAC]

jJ 1

I” Use Log Diagnostics

Exit

Chain

Рисунок 56

  • 8.7.4. Выберите рабочий файл в окне «Job Files», для чего укажите путь к файлу Directories/ Sub-Directories/ Job Files. Появится экран, указанный на рисунке 6.

    -1S1

    IFMS-XPVXZ-RI I JoteM.WiPAnERMD'.aiSIOM'.SPr.OXlOOO'i, -Rnope Surnnwry" ]

    N/A N/A

    Last modified: Date & Time 07/23/2009 13:43 35

    Last modified by User NIKOLAY Privilege System Manager

    Reope Summary 734224

    Name Job M NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX10C0\ Owner NIKOLAY

    Setup Loudon F*n Measure Queue Ard*ve

    31

    .... Process Setup Run number Lot ID

    Process date Process Time Operator Equipment Process Shift Comments Display process information window at run time? •••• Measurement Setup -••• Measurement type Location mode Center X (mm) Center Y (mm) Size (mm) Reflectivity choice Precision

    .... Cassette Setup ........

    Wafer diameter (mm) Cassette mode Source cassette

    Waferfs) selected (cassette 2)

    Single point

    Automatic (specify center XY) 0000

    0.000

    0.000

    None

    Standard

    Yes

    200 Cassette Station 2

    Рисунок 6

  • 8.7.5. Кликните мышкой вкладку «Cassettel» или «Cassette2» (рисунок 6) в зависимости от того, на какой порт установлен контейнер с пластинами. Правой клавишей мыши нажмите на пиктограмму «кассета».

В появившемся меню (рисунок 7) нажмите «Load Cassette». Произойдет загрузка установленной кассеты.

l_i Fie Jew System Job Wnoow Het»

TTIMS-XP V12.Rl-[ Jot>:M_NtMPATTERMED\CUSTD4 SPf . OXIOOQ'. "Recipe «негкпагу" J

Tati Lal Tool I Vnon I

-|g| x|

Job M_NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX1000\

Caweltel Cassette 2 |

Wafer diameter (mm) Cassette mode Source cassette Wefer(s) selected (cassette 2) Destination cassette Wafer id template Use Cassette Editor?

Use cassette map? Warn if source slots are empty? —■ Miscellaneous Parameters »■ Job file version num

Job File Type Last film selection Default film setup ■••• Output Control Setup Print Cassette Summary Report? Print Wafer Measurement Report? Display Cassette Summary? Display measurement? Save date to herd disk?

Limit the size of the data base Number of records to limit

Spatial Avg Setup ■••»«•••• Measurement spatial averaging Points per scan line Number of scan lines

Scan direction Length of scan (urn) Width of scan (urn) ---• Correlation Setup Parameter

200 Cassette Station 2

1

Staton 1

Yes

Yes

Yes

20013 Thin Film

No selection

No No Yes

No

Yes Yes 200

Yes

18

2

Vertical

150

15.0

71

Layer 1 Thickness

Рисунок 7

В окне под пиктограммой кассеты нажмите стрелку для раскрытия списка. В раскрывшемся списке проверьте, в каких пазах кассеты имеются пластины.

8.7.6. После загрузки кассеты нажмите «Measure», откроется всплывающее меню, 9.

как показано на

lfMS-ХР У12Л1 - ( Job: ММ PATTERiNED MONITORS 0XIDE2IE■ "Recipe Summary" ]

LJ     _____. .

"|S1

i Fh View System Job Window Help

jjajxi

iT                     ' Job NoN₽AnERNED'MoNiToRs'oxiDE2'Ex

dll

«5 4»

DOS Menu      Tod Libraries SECS    Open Че

Login Restore    Pause / Ha»

Mees>_re 'jueue ArcnWe

Setup location

A uto Measure...

3DE21EX

d Service

Yes

125 Unknown

N/A N/A

Last modified Date & Tim Last modified by User FL_

'Jame: Job.NONPATTE Owner METRO

Load Wafer...

LribsdWafei..

Мглл Measure., stasa '.orator...

Tart List Toot I V'Qon |

—— Process Setup Run number Lot ID Process date Process Time Operator Equipment Process Shift Comments Display process information window at run time? •••■ Measurement Setup Measurement type Location mode Center X (mm) Center Y (mm) Reflectivity choice Precision Template type •••• Cassette Setup ■ Wafer diameter (mm) Cassette mode

Template

Automatic (specify center XY) 0000

0 000

None

Standard

XSPRL-9-SITE

200 Cassette

Cassette 1 Cassette 2 I

Source cassette

Wnferfsl Rplnrtnd icnSSAtfA 1)

Any

zJ

P     Date      Trre Message

......±JI

|  ►   145 09\06\29 16D8 3G Actwafed Job: DMHERMAWAVE'OJRDATA'JOBFILES'JMON PATTERNEDLM0HIT0RS\DX)DE21E\

zJ

ENALOCINAPP-

S talus Log

■■■■■■■■■■

Рисунок 8

8.7.7. Нажмите «Auto Measure» (рисунок 8). Появится окно диалога «Enter Process Information» для ввода информации о процессе (рисунок 9).

[Enter Process Information

Source cassette

[station 2

Destination

(Cassette 2

Cassette 2 |

Wafer(s) selected (cassette 2)

Clear All

Exit

Go

Рисунок 9

8.7.8 С помощью клавиатуры или эмулятора клавиатуры окна диалога (рисунок 10) введите данные. Нажмите «Enter» на клавиатуре или мышкой в окне диалога.

  • 8.7.9 В строку Wafer(s) selected (Cassette 2) введите номера измеряемых пластин (рисунок 11).

Примечание. Номера пластин вводятся через запятую с помощью клавиатуры или эмулятора клавиатуры окна диалога. Диапазон пластин вводится через чёрточку. Количество измерений пластины задаётся через двоеточие.

Пример записи: 1,3,5, 7-10, 11:3, т.е. выбраны пластины № 1,3,5, далее с №7 по №10, пластина №11 будет измеряться 3 раза.

  • 8.7.10 Нажмите Enter на клавиатуре или мышкой в окне диалога.

  • 8.7.11 Нажмите Go в окне диалога (рисунок 9).

Рисунок 11

  • 8.7.12 Проверьте номер паза пластины для измерения или измените порядок измерения пластин, для чего нажмите на пазы с пластинами для измерения. В чек - боксах появятся крестики (рисунок 12).

Примечания:

  • 1. Можно выбрать/отказаться от выбора пластины, используя клавиши-стрелки «вверх»/«вниз» с последующим нажатием клавиши «пробел».

  • 2. Если был выбран ошибочно паз без пластины, в первой колонке появится красный крест (например, для паза 12) (рисунок 11).

  • 3. Установка позволяет выбрать последовательность измерения пластин, для чего введите номера пластин в желаемой последовательности, например, 5, 3, 10 или сначала выполните Reset ID, затем последовательно становитесь курсором на строки с пластинами в желаемой последовательности, и нажимайте клавишу «пробел».

  • 8.7.13 Нажмите Go (рисунок 12).

Начнётся процесс измерения в автоматическом режиме (загрузка пластин в установку, ориентация по базовому срезу, загрузка пластин на предметный столик, точная ориентация пластин, если она используется, измерение пластин в соответствии с картой обхода, выгрузка пластин).

По завершении измерения появляется сообщение в строке состояния о завершении измерения (рисунок 13, внизу окна).

25

Е«О»У

24

Empty

23

Empty

22

Empty

21

Empty

20

Empty

19

Empty

18

E»rtv

V

Empty

16

Empty

15

Empty

14

Empty

13

Empty

» X •> n

к ’

Empty

и

Empty

10

Emoty

9

Plesent

8

Рге-лг/

7

P»:er4

6

Pteiert

5

Preset*

✓ « *

8 ’

Preset*

✓ з 3

X    ’

Present

p2 2

К    ’

Preset*

✓ ’ ’

К    ’

PmeW

ТепрШе

Reiiore           Reset ID

Рисунок 12

Примечания:

  • 1. Пример информации во время измерения показан на рисунке 13.

  • 2. Перед началом измерения партии или в процессе измерения установка калибруется. На экране появляется предупреждающее сообщение (рисунок 13).

  • 3. Запрещается выполнять какие-либо действия с установкой в процессе калибровки.

    -Igl Х|

    Рисунок 13a

    ITMS-XP VX2.R1 -{ Job: М_ХОИРАГП1Ц*Р .CUSTOM.SPC OXIOOQ' TleeulB Queue* )

    IT

    B]g

    Job M_NON PATTERNED\CUSTOM\SPC_OX100CJ\

    3

    J

    DOSMenu ;

    Tool

    Lbrarres

    SECS

    Open rfe

    Logm Restore

    Pause (Hatt

    Empcy Prrt

    Measure Queue ArcNve

    Parameter

    Layer 1 TtwinauJA]

    Goortress-oHt

    Resriual

    J

    Mean

    1064 53

    09772

    2552e-0C3

    Sigma

    1 526eO02

    5S76e005

    7 015e006

    XSgr-a

    1 434e003X

    59O3e-0C3X

    Q27X

    Range

    4 749e-0C2

    2C50e-004

    2483e-005

    X Range

    4 461eO03X

    2099e-002 X

    O97X

    Max

    1064 56

    09773

    00026

    Mn

    1064 51

    09771

    00025

    Uniormrty

    0000022

    0000105

    0004864

    XImm)

    YImml

    Layer 1 TbcknessfAl

    Goodrress-of-Fi

    Resdual

    9

    -0 04*721

    0000000

    1064 55

    09772

    00026

    10

    0 022361

    0.000000

    1064 51

    09772

    00025

    _

    11

    0000000

    0000000

    106451

    09772

    00026

    12

    0022361

    0000000

    1064 54

    09773

    00025

    13

    0 044721

    0000000

    1064 52

    0.3772

    00026

    /_

    0 044721

    0022361

    1064 54

    0.9772

    00025

    Port Dale [Parameter Plots

    SormaryReport |c«sette Summary

    P Tisck’Meat'jerrie'M

    a Ladd

    ca sb

    Status             ’ me

    GoodrAJ

    SOF PI (A) MeanflJA) SrgMIV)

    XStgenafl)

    P21AJ MearOIA) Si

    Г 1234

    2 11

    54B№fc К . 07/28Л9 092957

    14/21

    09772 11    1064 53 1 526e-002

    1 434e<B3X

    If a9772 &

    Mean

    0.0000 0.0000

    000 X

    0.0000

    Range

    aoooo

    0.0000

    Mrwnum

    00000

    00000

    Maramum

    00000

    0 0000

    a    Dare     Time Message

    ■ ■ =1

    rJ

    4592 09X07X28 093022 Measurg ate 15 oi 21

    4591 0907128 093020 Measurg Me 14 of 21

    4590 09i07\28 09.3018 Measarg Me 13 of 21

    4COO ГКАЛТХ-Х) no.-XVI7               n 11

    SWus Log I Enol Log |

    .. . ..... .....

    015 CEQ --EA-

    P TiackMeaaxemeri

    oocoo 00000 0 0000 0 0000

    0.0000

    ocooo

    00030

    Good/AI GOF P11A) МеапЩА| SgmadlA) * Sigmail) P2SM MeartflA) Sign

    07/28/09 09.2315

    Mean Range Minimum Маяпкжп

    rfMS XPV3.2JU -I Job:M_r«r<PArrtRr«I>\CUSIO*r.5PC_OXIOOO Te«*«Queue*}

    Measure <^jeue Arcntve

    Parameter

    WARNING: Selftest in progress. Avoid contact with machine to ensure valid results.

    Uncertarty

    SeiectMty

    Header Data [ Patametet Ptoti | Raw Data |

    0 0000

    0.0000

    0.0000 a oooo

    В    Dste    Time Menage

    ►   <531 09407428 09 24.40 Performing broarbmd ipacirameter cAi,

    4530 09407428 09.24.37 Meaning port 8 of 8 .

    4529 09407428 0924:35 Meaiurr^ port 7 oi 8

    ic-ю палл'н'хз no ni-oi                с «з о

    2d

    SlarurLoq I Error Log J

    DISOCQ-EA-    ■

    Рисунок 136

  • 8.7.14 Просмотрите результаты измерения в правом нижнем окне главного меню (рисунок 13).

  • 8.7.15 Установка считается прошедшей операцию поверки, если измерения толщины были выполнены по центральным координатам каждой кремниевой пластины. Показателем успешного выполнения измерений будет наличие измеренных значений толщины в центральных участках пластины и отсутствие сообщений об ошибках программного обеспечения.

9 Проверка программного обеспечения средства измерений
  • 9.1 Проверить соответствие заявленных идентификационных данных программного обеспечения: идентификационное наименование программного обеспечения, номер версии программного обеспечения (далее - ПО). Номер версии ПО отображается в заголовке окна программы «TFMS-ХР». Также номер версии ПО можно узнать, открыв вкладку «About» в окне программы.

  • 9.2 Установка считается прошедшей поверку, если идентификационные данные программного обеспечения соответствуют значениям, приведенным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

TFMS-XP

Номер версии (идентификационный номер) ПО

V3.2R1 SR-2 HF20

или выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

10 Определение метрологических характеристик средства измерений
  • 10.1 Определение диапазона измерений толщины и определение абсолютной погрешности измерений толщины с помощью ГЭТ 203-2012 и установки методом компарирования.

  • 10.2 Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений толщины осуществляется с помощью ГЭТ 203-2012.

    • 10.2.1 Подготовить ГЭТ 203-2012 к работе в соответствии с Приложением А ««Правила содержания и применения Государственного первичного эталона единицы комплексного показателя преломления ГЭТ 203-2012».

    • 10.2.2 Расчет толщины покрытий осуществляется с помощью программы «CompleteEASE», входящей в состав ГЭТ 203-2012.

      • 10.2.2.1 Поместить на держатель образца эллипсометра из состава ГЭТ 203-2012 кремниевую пластину диаметром 200 мм с S1O2 с толщиной пленки: 20 нм, входящую в комплект поставки установки, чтобы требуемая область на мере располагалась в зоне измерений.

      • 10.2.2.2 Переместить переключатель помпы в положение «Вкл» для фиксации пластины на держателе образца (Приложение А ««Правила содержания и применения Государственного первичного эталона единицы комплексного показателя преломления ГЭТ 203-2012»).

      • 10.2.2.3 В программе «CompleteEASY» из состава ГЭТ 203-2012 перейти на закладку «Measurement».

      • 10.2.2.4 В поле «Measurement Controls» выбрать следующие параметры (рисунок 7):

«Mode» - «Long»

«Sample Alignment» - «Standard»

«Model» - «None»

10.2.2.5 Поставить галочку напротив «Save Data after Measurement», если необходимо после каждого измерения сохранять в файл измеренные данные эллипсометрических углов Пси и Дельта для всего спектра, иначе - снять.________

CompleteEASE

Measurement Analysts Hardware Options

System status                                             Fit Results

Waiting to Acquire Data

Measurement Controls

Mfide (Long

Mo Results Available

—Li-

Sample Alignment Standaid ▼

Mode; None

Save Data after Measurement

Measure

ViewPrev Re-suSs

Graph Type

300

«л c « c 200

Wavelength (nm)

Spectroscopic Ellipsometric (SE) Data

| Intensity |

у

  • 10.2.2.6 Нажать кнопку «Measure» для начала измерений (рисунок 14). После завершения процесса измерений в нижней половине окна программы «CompleteEASY» появятся графики зависимости измеренных значений эллипсометрических углов Пси и Дельта от длины волны (рисунок 15).

Рисунок 15 - Получение результатов

  • 10.2.2.7 Перейти во вкладку «Analysis» и в поле «Model» нажать кнопку «Open» (рисунок 9).

У сивилла                                                                                                      o-tffc

мегялпел ’ лдоузё ' нха»у»        !

Data : Огэ Not Блее                     мэж NCMjoeiUBOeo

fipw Saw we SMReofes

Ft

35

30

25

20

15

125

115

110

105

500

700

  • 10.2.2.8 В открывшемся окне «Open Model» выбрать дирректорию «Basic» и модель «Si with Transparent Film.mod» (рисунок 16). Нажать кнопку «Open».

  • 10.2.2.9 В окне программы «CompleteEASY» перейти в поле «Fit» и нажать кнопку

«Fit» (рисунок 16). В поле «Fit» появятся рассчитанные значения толщины слоя «Thickness» (рисунок 17).                                                        * *

Measurement Analysis Hardware Options                                  __ __________ ___ __ ______

Data Data Not Sa^ed

£pen               jnfc Sttnjnses

Ft

gtren* || fll |i

MSE = 2370

TficmessP 1 = 292 0lt0 612A

A = t 46410 0041

0 = 0.0035310 001705

C = 2 02470-0510 00019455

i Of C*;ryFtr ЙЙЭ nr.' = M'.«?

Mooei S< win Transparent Fer

Laver Commands Add Dent* ЭТГ

include Sutac; Qougrriess = DFF_________________

♦layer* i =£ддц£йа Tncimess* 1 = агД1<(Ту

Suttsrate = SI jaw Anae Ciset = 0 C00

  • ♦ MODEL Option!

  • ♦ FIT Options

  • ♦ OTHER Options CMtHUr* ОРЙ9ЛЕ

Turn Off All Fit Parameters

Oripr Tpe

Spectroscopic Ellipsometric (SE) Data

Рисунок 17 - Выбор директории

J2»‘ CoinpleteEASE

Measurement Analysis

Data. Data Not Saved

v------------------I ■'--

Hardware Options

Qpen

Save

Info.

Set Ranges

Fit

Generate

EH

Reset

MSE = 2.370

Thickness # 1 = 292.01 ±0.612 A

A = 1.464±0.0041

В = 0.00353±0.001705

C = 2.8247E-05±0.00019455

n of Cauchy Film @ 632 8 nrn = i 47349

Рисунок 18 - Результаты расчета толщины

  • 10.2.2.10 Результаты измерений толщины (рисунок 18) занести в протокол (Приложение А).

  • 10.2.2.11 Повторить п.п. 10.2.2.1 - 10.2.2.10 для каждой кремниевой пластинки не менее 5 раз.

10.3 Определение толщины покрытия с помощью установки.

  • 10.3.1 Определение толщины покрытия кремниевые пластинки с помощью установки произвести в соответствии с п. 7.2. настоящей методики поверки не менее 5 раз для каждой кремниевой пластинки..

  • 10.3.2 Результаты измерений толщины участка кремниевой пластины занести в протокол (Приложение А).

11 Подтверждение соответствия средств измерений метрологическим требованиям
  • 11.1 Расчет толщины покрытия в виде слоя двуокиси кремния на подложке, нм, проводится с помощью программы «CompleteEASE» согласно п. 10.2.

    • 11.1.1  За результат расчета толщины покрытия, нм, принимается среднее арифметическое значение результатов измерений толщины для каждой кремниевой пластинки по формуле (1):

п

где xj- результат измерений толщины меры с помощью ГЭТ 203-2012, нм;

i = 1, 2,... - номер измерения;

п = 5 - количество измерений.

  • 11.1.2 Повторить пп. 8.1.1 для каждой меры. Результаты измерений толщины участка пластин занести в протокол (Приложение А).

  • 11.2 За результат расчета толщины покрытия, нм, с помощью установки принимается среднее арифметическое значение результатов измерений толщины для каждой кремниевой пластинки по формуле (2):

п

1=1 , (2)

где Xyj- результат измерений толщины меры с помощью установки, нм;

i = 1, 2,... - номер измерения;

п = 5 - количество измерений.

  • 11.3 Установка считается прошедшей операцию поверки, если диапазон измерений толщины покрытия соответствует значениям от 20 до 800 нм, а предел абсолютной погрешности измерений толщины А, вычисленный по формуле (3) не превышает значения, указанные в таблице 3.

Таблица 3 - Предел абсолютной погрешности измерений толщины

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности

измерений толщины, нм:

- в диапазоне от 20 до 300 включ. нм;

±2

- в диапазоне св. 300 до 800 включ. нм.

±3

Д=±|х — ху|,                                 (3)

где х - среднее значение толщины пластины, полученное с помощью ГЭТ 203-2012,

ху - среднее значение толщины пластины, полученное с помощью установки.

12 Оформление результатов поверки
  • 12.1 Результаты поверки оформляются протоколом поверки. Рекомендуемая форма протокола поверки приведена в приложении А. Протокол может храниться на электронных носителях.

  • 12.2 При положительных результатах поверки по запросу заказчика может быть оформлено свидетельство о поверке в установленной форме.

  • 12.3 При отрицательных результатах поверки по запросу заказчика может быть оформлено извещение о непригодности в установленной форме с указанием причин непригодности.

  • 12.4 Сведения о результатах поверки передаются в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

Начальник отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

Начальник лаборатории отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

Старший научный сотрудник отдела М-44

ФГУП «ВНИИОФИ»

В.Л. Минаев

Г.Н. Вишняков

И.В. Горяйнова

ПРИЛОЖЕНИЕ А (рекомендуемое) к Методике поверки МП 016.М44-21

«УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ OPTI PROBE 7341 ХР»

ПРОТОКОЛ первичной / периодической поверки от «__»____________20___года

С редство измерений: установка для контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР

Зав.№___; год выпуска____________;

3 а к а з ч и к__________________________________________________________

Наименование юридического лица, ИНН

Поверено в соответствии с методикой поверки «Установка для контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 ХР. Методика поверки МП 016.М44-21», согласованной ФГУП «ВНИИОФИ»

Наименование документа на поверку, кем утвержден (согласован), дата

С применением эталонов___________________________________________________

(наименование, заводской номер, разряд, класс точности или погрешность)

Место проведения поверки:__________________________________________________

(адрес места проведения поверки)

Условия поверки:

  • - температура окружающего воздуха, °C

  • - относительная влажность воздуха, %

  • - атмосферное давление, кПа

Результаты поверки:

Таблица 1. Соответствие результатам поверки

Операция поверки

Соответствие        требованиям

методики поверки

Внешний осмотр

Проверка идентификации   программного

обеспечения

Опробование

Определение метрологических характеристик

Определение диапазона измерений толщины и определение    абсолютной    погрешности

измерений толщины

Таблица 2 - Результаты измерений

наименование меры

Пластина №

Пластина №

Пластина №

Номинальное значение толщины покрытия, нм

20,00

300,00

800,00

Измеренные значения значение толщины покрытия на ГЭТ 203-2012, нм

Среднее измеренное значение толщины покрытия ГЭТ 203-2012, нм

Измеренные значения значение толщины покрытия на установке, нм

Среднее измеренное значение толщины покрытия на установке, нм

Разность значений толщины покрытия, измеренной на ГЭТ 203-2012 и установке, нм

Предел абсолютной погрешности измерений не более, нм

4

8

10

Рекомендации_____________________________________________________

Средство измерений признать пригодным (или непригодным) для применения

Поверитель:_________________________________________ФИО, должность, подпись

20

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель