Методика поверки «Государственная система обеспечения единства измерений Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570» (МП 231-0041-2017)

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ нм.Д.И.Менделеева»

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0041-2017

И.о. руководителя НИО

Р.А. Тетерук

Разработчик

Д.М.Фомин

Санкт-Петербург 2017 г.

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570, зав. № 40110859 (далее по тексту - течеискатель) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

• 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, п.8.3 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

• 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 2

Таблица 2

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

• 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

• 3.4 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.5 Допускается применять другие эталоны с точностными характеристиками, превышающими характеристики поверяемого течеискателя не менее чем в 2 раза.

• 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

• 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-22006 и поверяемый течеискатель.

• 5.1 При поверке течеискателя должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                    20±5

• - относительная влажность воздуха, %                     60±20

• - атмосферное давление, кПа                              от 84 до 106,7

• 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

• 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

• 7.3 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

• 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемый течеискатель.

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.

8.3.1. Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

• 8.3.2 Перейти в пункт меню «Установки —> Информ. —> Системные данные (вкладка 4)». На дисплее лицевой панели течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

• 8.3.3 Подтверждение можно считать успешным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя совпадает (или является не ниже) с номером версии, указанным в описании типа.

• 8.4.1  Для определения относительной погрешности измерений течеискателя применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1р_Э, ГТ2р_Э, ГТЗрэ, потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1_рэ - от Г10’¹¹ до 5-1O'¹⁰ Па-м³/с; для ГТ2_рэ - от 1-10’⁹ до 5-10'⁸ Па-м³/с; для ГТЗ_рэ - от Г10’⁷ до 5-10’⁵ Па-м³/с.

• 8.4.2 Допускается проведение периодической поверки течеискателя на меньшем числе поддиапазонов измерений на основании письменного заявления владельца СИ, с обязательным указанием в свидетельстве о поверке информации об объеме проведенной поверки.

• 8.4.3 При проведении поверки, для калибровки течеискателя возможно использование меры потока (течи гелиевой) заказчика, если она имеет действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4 Порядок определения относительной погрешности измерений

• 8.4.4.1 Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

• 8.4.4.2 Установить на вход течеискателя любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-1O’¹⁰ Па-м³/с, или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4.3 Провести внешнюю калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.4 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1_рэ.

• 8.4.4.5 Нажать кнопку «Start/Stop». По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn. Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.4.6 Отсоединить гелиевую течь ГТ1_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.5.

• 8.4.4.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗ_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.5.

• 8.4.4.8 Выполнить операции п.п. 8.4.4.2 - 8.4.4.7 два раза, данные записать в протокол.

• 8.4.4.9 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.10 Относительную погрешность измерений течеискателя 8п для каждой эталонной гелиевой течи вычислить по формуле (1)

8_Ti = ^Qri~^Q3i -100,% (1) Qji

где Qn - значение потока z-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискателем;

Qjt - действительное значение потока z-той эталонной течи ГТ_рэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

• 8.4.4.13 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.4.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

±(0,15 + 2W0r,)-lOO %,

где Qnnii- нижний предел измерений течеискателя (Qhiih - 1-10'¹² Па-м³/с);

• 9.1 При положительных результатах, на течеискатель оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ГЕЛИЕВОГО HLT 570

Дата: ________________

Исполнение и заводской номер течеискателя:________________

Номер версии ПО:_________________

Температура окружающей среды:________________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:_________________________, Па

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)