Методика поверки «Государственная система обеспечения единства измерений Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570» (МП 231-0041-2017)

Методика поверки

Тип документа

Государственная система обеспечения единства измерений Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570

Наименование

МП 231-0041-2017

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ нм.Д.И.Менделеева»

Государственная система обеспечения единства измерений

Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0041-2017

И.о. руководителя НИО

Р.А. Тетерук

Разработчик

Д.М.Фомин

Санкт-Петербург 2017 г.

1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
  • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570, зав. № 40110859 (далее по тексту - течеискатель) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

  • 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ
  • 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операций

Номер пункта методики

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Подтверждение соответствия ПО

8.3

+

+

Определение относительной погрешности измерений

8.4

+

+

Обработка результатов измерений

9

+

±

  • 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, п.8.3 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 2

Таблица 2

Номер пункта

МП

Наименование и тип основного или вспомогательного средства поверки, номер документа, регламентирующего технические требования к средству, метрологические и основные технические характеристики

5.1

Термогигрометр ИВА-6Н-Д, диапазон измерений относительной влажности от 0 до 90 %, абсолютная погрешность ±1,5 %; диапазон измерений температуры от 0 до 60 °C, абсолютная погрешность ±0,1 °C; диапазоном измерений атмосферного давления от 70 до 110 кПа, абсолютная погрешность ±0,2 кПа

8.4

Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10’12-1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне

от 10’12 до 10’9 Пам3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10'9 до 1

Па м3/с не более 0,015

  • 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

  • 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

  • 3.4 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

  • 3.5 Допускается применять другие эталоны с точностными характеристиками, превышающими характеристики поверяемого течеискателя не менее чем в 2 раза.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

  • 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-22006 и поверяемый течеискатель.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При поверке течеискателя должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • - температура окружающего воздуха, °C                    20±5

  • - относительная влажность воздуха, %                     60±20

  • - атмосферное давление, кПа                              от 84 до 106,7

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

  • 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

  • 7.3 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

  • 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

8.1 Внешний осмотр
  • 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

  • 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

8.2 Опробование
  • 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемый течеискатель.

8.3 Подтверждение соответствия ПО

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.

8.3.1. Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

  • 8.3.2 Перейти в пункт меню «Установки —> Информ. —> Системные данные (вкладка 4)». На дисплее лицевой панели течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

  • 8.3.3 Подтверждение можно считать успешным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя совпадает (или является не ниже) с номером версии, указанным в описании типа.

8.4 Определение относительной погрешности измерений
  • 8.4.1  Для определения относительной погрешности измерений течеискателя применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1рЭ, ГТ2рЭ, ГТЗрэ, потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1рэ - от Г10’11 до 5-1O'10 Па-м3/с; для ГТ2рэ - от 1-10’9 до 5-10'8 Па-м3/с; для ГТЗрэ - от Г10’7 до 5-10’5 Па-м3/с.

  • 8.4.2 Допускается проведение периодической поверки течеискателя на меньшем числе поддиапазонов измерений на основании письменного заявления владельца СИ, с обязательным указанием в свидетельстве о поверке информации об объеме проведенной поверки.

  • 8.4.3 При проведении поверки, для калибровки течеискателя возможно использование меры потока (течи гелиевой) заказчика, если она имеет действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.4 Порядок определения относительной погрешности измерений

  • 8.4.4.1 Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

  • 8.4.4.2 Установить на вход течеискателя любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-1O’10 Па-м3/с, или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.4.3 Провести внешнюю калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

  • 8.4.4.4 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1рэ.

  • 8.4.4.5 Нажать кнопку «Start/Stop». По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn. Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

  • 8.4.4.6 Отсоединить гелиевую течь ГТ1рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.5.

  • 8.4.4.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ2рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗрэ. Выполнить операции п. 8.4.4.5.

  • 8.4.4.8 Выполнить операции п.п. 8.4.4.2 - 8.4.4.7 два раза, данные записать в протокол.

  • 8.4.4.9 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

  • 8.4.4.10 Относительную погрешность измерений течеискателя 8п для каждой эталонной гелиевой течи вычислить по формуле (1)

8Ti = Qri~Q3i -100,% (1) Qji

где Qn - значение потока z-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискателем;

Qjt - действительное значение потока z-той эталонной течи ГТрэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

  • 8.4.4.13 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

  • 8.4.4.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

±(0,15 + 2W0r,)-lOO %,

где Qnnii- нижний предел измерений течеискателя (Qhiih - 1-10'12 Па-м3/с);

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 9.1 При положительных результатах, на течеискатель оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.

  • 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ГЕЛИЕВОГО HLT 570

Дата: ________________

Исполнение и заводской номер течеискателя:________________

Номер версии ПО:_________________

Температура окружающей среды:________________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:_________________________, Па

Действительное значение потока (Qji) z-той течи ГТрэ, Па-м3

Значение потока (Qri) z-той течи ГТрэ, измеренное течеискателем, Па-м3

Значение относительной погрешности дп, %

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель