Методика поверки «Комплекты мер для поверки приборов MarForm фирмы Mahr GmbH, Германия» (MП 203-32-2017)

ФГУП «ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ»

ФГУП «вниимс»

УТВЕРЖДАЮ

Зам. директора

по производственной метрологии Ф£УП «ВНИИМС» Н.В. Иванникова

13" февраля 2017 г.

фирмы Mahr GmbH, Германия

Москва, 2017

Настоящая методика поверки распространяется на комплекты мер для поверки приборов MarForm (далее - меры), выпускаемые по технической документации фирмы Mahr GmbH. Германия и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками равен 2 года.

1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Примечание: Допускается применять средства поверки, не приведенные в перечне, но обеспечивающие определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

При проведении поверки мер должны соблюдаться следующие требования:

• - при подготовке к проведению поверки должны быть соблюдены требования пожарной безопасности при работе с легковоспламеняющимися жидкостями, к которым относится бензин, используемый для промывки;

• - бензин хранят в металлической посуде, плотно закрытой металлической крышкой, в количестве не более однодневной нормы, требуемой для промывки;

• - промывку проводят в резиновых технических перчатках типа II по ГОСТ 20010-93.

Поверка проводится в нормальных условиях применения мер:

• - температура окружающего воздуха, °C                         (20±1)

• - относительная влажность окружающего воздуха, %, не более 85

Меры и средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

Меры выдерживают не менее 1 ч в помещении, где проводят поверку.

5.1. При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие комплекта мер следующим требованиям:

• •  отсутствие коррозии, механических повреждений и других дефектов на рабочих поверхностях мер, влияющих на эксплуатационные и метрологические характеристики мер;

• •  наличие маркировки и комплектности согласно требованиям эксплуатационной документации.

Результаты поверки комплекта мер признаются положительными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствуют требованиям технической документации.

5.2 Определение метрологических характеристик комплекта мер.

Метрологические характеристики комплекта мер определяются с помощью ГЭТ 136-2011, прибора Form Talysurf и ГЭТ 183-2010. С помощью программного обеспечения в соответствии с Руководством по эксплуатации соответствующих средств измерений производится измерение параметров каждой из мер, входящих в комплект.

5.2.1 Эталонная мера отклонения от круглости

Рисунок -1

Рабочую поверхность меры очистить методом полива смесью этилового спирта (ректификат) с этиловым эфиром и установить ее на столик ГЭТ 136-2010, обеспечив ее надежное крепление. Провести центрирование меры. Значение эксцентриситета не должно превышать 0,5 мкм.

Включить прибор, в соответствии с инструкцией провести смазку шпинделя и для стабилизации оставить шпиндель вращающимся на 30 минут. Запустить про1рамму для измерения и анализа параметров отклонения от круглости ULTRA. Выбрать папку для сохранения результатов измерений. В меню установок выбрать - автосохранение измеренного профиля.

Осуществить подвод щупа к поверхности меры на высоте 3±1 мм от места крепления полусферы к основанию и добиться отсчета датчика 0 ± 2 мкм. Установить диапазон измерения - 4.

Запустить шпиндель и сделать 10-15 оборотов для стабилизации контакта.

Запустить процедуру измерения отклонения от круглости, выбрав в программе соответствующий раздел. В меню задать имя меры и номер измерения. Провести 5 измерений меры, каждый раз изменяя номер измерения и поворачивая меру на 70°.

Остановить шпиндель, снять меру с рабочего стола прибора. Зайти в папку, где сохранены измеренные профили и провести расчет параметра P+V для каждого полученного профиля. При анализе использовать фильтр 1-50 отклонений на оборот.

Для всех полученных значений параметра P+V вычислить среднее арифметическое отклонение по формуле где Xi - измеренное значение отклонения от круглости в i-том сечении;

X - среднее арифметическое значение отклонения от круглости.

Результаты поверки эталонной меры отклонения от круглости признаются положительными, если отклонение от круглости не превышает предел допускаемого отклонения 0,04 мкм.

N - число сечений при измерении

Результаты поверки эталонной меры с лыской и эталонного цилиндра исполнения г) с двумя участками лысок признаются положительными, если среднее квадратическое отклонение AS глубины лыски не превышает 0,03 мкм.

5.2.3 Эталонный цилиндр

Рабочую поверхность меры очистить методом полива смесью этилового спирта (ректификат) с этиловым эфиром и установить ее на столик ГЭТ 136-2010. Провести центрирование меры. Значение эксцентриситета не должно превышать 0,5мкм.

5.2.3.1 Эталонные цилиндры исполнения а, б, в, г

Включить ГЭТ 136-2011, запустить программу для измерения и анализа параметров отклонения от круглости ULTRA. Провести измерение отклонений от круглости по схеме, приведенной на рисунке 3, в 10 сечениях вдоль высоты цилиндра от 50 до 450 мм с шагом 50 мм и на высоте 480 мм для цилиндра исполнения а), в 6 сечениях с шагом 42 мм от 20 до 230 мм для цилиндра исполнения б) и в 6 сечениях вдоль высоты цилиндра от 20 мм до 340 мм с шагом 64 мм для цилиндра исполнения в), в трех сечениях 15 мм, 50 мм и 85 мм для цилиндра исполнения г).

Отклонение от цилиндричности вычислить по результатам измерений отклонений от

Гаусса. Дискретность точек 0,1 мм.

_276

_ 212

_ 148

__ 84

90*

Рисунок - 3

Результаты поверки эталонных цилиндров признаются положительными, если отклонения параметров эталонных цилиндров не превышают значений, приведенных в таблице 2

Таблица 2

5,2.4 Эталонная мера отклонения от плоскостности

Подготовить интерферометр фотоэлектрический «Физо» к поверке эталонной меры, прогрев его в течение 4 часов. В процессе поверки обеспечить постоянство температуры в пределах 21 ±0,5°.

Рабочую поверхность меры очистить методом полива смесью этилового спирта (ректификат) с этиловым эфиром, установить ее на установку и измерить топографию меры в 9 сечениях, равномерно распределенных по рабочему полю, используя высокочастотный и низкочастотный фильтры. Определить для всех сечений параметр отклонений от плоскостности (P+V) и вычислить среднее значение отклонения от плоскостности эталонной меры.

Результаты поверки эталонной меры отклонений от плоскостности признаются положительными, если параметр отклонения от плоскостности не превышает значений, приведенных в таблице 3.

Таблица 3

• 6. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

При положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке установленной формы, с указанием даты и имени поверителя.

При отрицательных результатах поверки клеймо погашается, выдается извещение о временной непригодности прибора с указанием причин.

Периодичность поверки устанавливается один раз в 2 года. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Зам. начальника отдела 203