Методика поверки «ГСИ. Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ» (МП 231-0045-2017)

Методика поверки

Тип документа

ГСИ. Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ

Наименование

МП 231-0045-2017

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева»

УТВЕРЖДАЮ

Директор

ФГУП «ВНИИМ

Д.И. Менделеева»

К.В. Гоголинский »  №   2017 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0045-2017

И.о. руководителя НИО

Р.А. Тетерук

Разработчик

/          Д. М. Ф о м и н

Санкт-Петербург 2017 г.

  • 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

    • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на установку вакуумную потокометрическую эталонную УВПЭ, заводской номер 01 (далее по тексту - установка) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

    • 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1. Таблица 2.1

Наименование операций

Номер пункта методики

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Определение метрологических характеристик

8.3

+

+

Обработка результатов измерений

9

+

+

  • 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, настоящей методики.

При первичной поверке установка возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке установка возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

  • 2.3 Допускается проведение поверки в части диапазона измерений СИ в соответствии с заявлением владельца СИ, с обязательным указанием в свидетельстве о поверке информации об объеме проведенной поверки.

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 1

Таблица 1

Номер пункта

МП

Наименование и тип основного или вспомогательного средства поверки, номер документа, регламентирующего технические требования к средству, метрологические и основные технические характеристики

6.1

Термогигрометр ИВА-6Н-КП-Д, диапазон измерений относительной влажности от 0 до 90 %, абсолютная погрешность ±1,5 %; диапазон измерений температуры от 0 до 60 °C, абсолютная погрешность ±0,1 °C; диапазоном измерений атмосферного давления от 70 до 110 кПа, абсолютная погрешность ±0,2 кПа

8.3

Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10'12—1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006,2.1.ZZB.0032.2014, СКО: в диапазоне от IO'12 до 10'9 Па м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10'9 до 1 Па-м3/с не более 0,015

  • 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

  • 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

  • 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

  • 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и поверяемую установку.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При поверке установки должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • - температура окружающего воздуха, °C                  20±2

  • - относительная влажность воздуха, %                     60±20

  • - атмосферное давление, кПа                             от 84 до 106,7

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

  • 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на установку.

  • 7.3 Проверить наличие действующих свидетельств о поверке (калибровке) эталонных мер потока, входящих в состав установки.

  • 7.4 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

  • 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

8.1 Внешний осмотр
  • 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемой установки устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

  • 8.1.2 Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

8.2 Опробование
  • 8.2.1 Опробование производится в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемую установку.

8.3 Определение метрологических характеристик
  • 8.3.1 Для определения метрологических характеристик установки применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1рэ, ГТ2рэ, ГТЗрэ, потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1рэ - от Г10'11 до 5-1O'10 Па-м3/с; для ГТ2рэ -от 1-10'9 до 5-10'8 Па-м3/с; дляГТЗрэ-от 1-Ю'7 до 1-10'5 Па-м3/с.

  • 8.3.2 Порядок определения метрологических характеристик

    • 8.3.2.1 Установить на клапан VA4 эталонную меру потока из состава установки, на клапаны VA5, VA6, VA7 установить эталонные меры потока, входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

    • 8.3.2.2 Включить установку в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ и дождаться выхода на режим.

    • 8.3.2.3 Дождаться термостабилизации мер потока, установленных в термостате, не менее 2 часов.

    • 8.3.2.4 Провести калибровку масс-спектрометрического компаратора установки (далее компаратора) в соответствии указаниями, приведенными в РЭ.

    • 8.3.2.5 Провести поочередно измерения мер потока ГТ1рэ, ГТ2рэ, ГТЗрэ в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ. Результаты измерений занести в протокол, рекомендуемая форма которого приведена в Приложении А.

    • 8.3.2.6 Выполнить операции п.п. 8.3.3.4 - 8.3.3.5 два раза, данные записать в протокол.

    • 8.3.2.7 Выключить компаратор в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ.

    • 8.3.2.8 Переставить эталонную меру потока ГТЗрэ на клапан VA1 накопительного блока установки.

    • 8.3.2.9 Дождаться термостабилизации меры потока, установленной в термостате, не менее 1 часа.

    • 8.3.2.10 Провести измерение эталонной меры потока ГТЗрэ в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ. Измерения провести 3 раза. Результаты измерений занести в протокол.

    • 8.3.2.11 Выключить установку в соответствии с РЭ.

    • 8.3.2.12 Относительную погрешность измерений установки &п для каждой эталонной ’ гелиевой течи вычислить по формуле (1)

8Ti =^^-100,% (1) Qsi

где Qn - значение потока z-той эталонной гелиевой течи, измеренное установкой;

Qji ~ действительное значение потока z-той эталонной течи ГТрэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

  • 8.3.3.13 Результаты поверки установки занести в протокол (Приложение А).

  • 8.3.3.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений установки не превышает:

  • - в диапазоне 1-Ю'11 до 1-Ю'9 Па-м3/с включ.       +(15-5-109 Q^,) %,

  • - в диапазоне свыше 1 • 10'9 до 1-10’5 Па-м3/с         ±( 10-5 • 105 • Q^.,,) %.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 9.1 , При положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

  • 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

УСТАНОВКИ ВАКУУМНОЙ ПОТОКОМЕТРИЧЕСКОЙ ЭТАЛОННОЙ

УВПЭ, зав. № 01

Дата:________________

Температура окружающей среды:_______________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:_________________________, Па

Действительное значение потока (Qai) z-той течи ГТрэ, Па-м3

Значение потока (Qn) z-той течи ГТрэ, измеренное УВПЭ, Па-м3

Значение относительной погрешности дп, %

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель