Методика поверки «ГСИ. Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ» (МП 231-0045-2017)

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева»

УТВЕРЖДАЮ

Директор

ФГУП «ВНИИМ

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0045-2017

И.о. руководителя НИО

Р.А. Тетерук

Разработчик

/          Д. М. Ф о м и н

Санкт-Петербург 2017 г.

• 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

  • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на установку вакуумную потокометрическую эталонную УВПЭ, заводской номер 01 (далее по тексту - установка) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

  • 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1. Таблица 2.1

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, настоящей методики.

При первичной поверке установка возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке установка возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

• 2.3 Допускается проведение поверки в части диапазона измерений СИ в соответствии с заявлением владельца СИ, с обязательным указанием в свидетельстве о поверке информации об объеме проведенной поверки.

3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 1

Таблица 1

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

• 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

• 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

• 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и поверяемую установку.

• 5.1 При поверке установки должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                  20±2

• - относительная влажность воздуха, %                     60±20

• - атмосферное давление, кПа                             от 84 до 106,7

• 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

• 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на установку.

• 7.3 Проверить наличие действующих свидетельств о поверке (калибровке) эталонных мер потока, входящих в состав установки.

• 7.4 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемой установки устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

• 8.1.2 Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2.1 Опробование производится в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемую установку.

• 8.3.1 Для определения метрологических характеристик установки применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1_рэ, ГТ2_рэ, ГТЗ_рэ, потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1_рэ - от Г10'¹¹ до 5-1O'¹⁰ Па-м³/с; для ГТ2_рэ -от 1-10'⁹ до 5-10'⁸ Па-м³/с; дляГТЗ_рэ-от 1-Ю'⁷ до 1-10'⁵ Па-м³/с.

• 8.3.2 Порядок определения метрологических характеристик

  • 8.3.2.1 Установить на клапан VA4 эталонную меру потока из состава установки, на клапаны VA5, VA6, VA7 установить эталонные меры потока, входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

  • 8.3.2.2 Включить установку в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ и дождаться выхода на режим.

  • 8.3.2.3 Дождаться термостабилизации мер потока, установленных в термостате, не менее 2 часов.

  • 8.3.2.4 Провести калибровку масс-спектрометрического компаратора установки (далее компаратора) в соответствии указаниями, приведенными в РЭ.

  • 8.3.2.5 Провести поочередно измерения мер потока ГТ1_рэ, ГТ2_рэ, ГТЗ_рэ в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ. Результаты измерений занести в протокол, рекомендуемая форма которого приведена в Приложении А.

  • 8.3.2.6 Выполнить операции п.п. 8.3.3.4 - 8.3.3.5 два раза, данные записать в протокол.

  • 8.3.2.7 Выключить компаратор в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ.

  • 8.3.2.8 Переставить эталонную меру потока ГТЗ_рэ на клапан VA1 накопительного блока установки.

  • 8.3.2.9 Дождаться термостабилизации меры потока, установленной в термостате, не менее 1 часа.

  • 8.3.2.10 Провести измерение эталонной меры потока ГТЗ_рэ в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ. Измерения провести 3 раза. Результаты измерений занести в протокол.

  • 8.3.2.11 Выключить установку в соответствии с РЭ.

  • 8.3.2.12 Относительную погрешность измерений установки &п для каждой эталонной ’ гелиевой течи вычислить по формуле (1)

8_Ti =^^-100,% (1) Qsi

где Qn - значение потока z-той эталонной гелиевой течи, измеренное установкой;

Qji ~ действительное значение потока z-той эталонной течи ГТ_рэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

• 8.3.3.13 Результаты поверки установки занести в протокол (Приложение А).

• 8.3.3.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений установки не превышает:

• - в диапазоне 1-Ю'¹¹ до 1-Ю'⁹ Па-м³/с включ.       +(15-5-10⁹ Q^,) %,

• - в диапазоне свыше 1 • 10'⁹ до 1-10’⁵ Па-м³/с         ±( 10-5 • 10⁵ • Q^.,,) %.

• 9.1 , При положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

УСТАНОВКИ ВАКУУМНОЙ ПОТОКОМЕТРИЧЕСКОЙ ЭТАЛОННОЙ

УВПЭ, зав. № 01

Дата:________________

Температура окружающей среды:_______________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:_________________________, Па

Действительное значение потока (Qai) z-той течи ГТрэ, Па-м³/с

Значение потока (Qn) z-той течи ГТрэ, измеренное УВПЭ, Па-м³/с

Значение относительной погрешности дп, %

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)