ГСОЕИ. Интерферометры OptoTl 60/125

 ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ (ФГУП «ВНИИМС») УТВЕРЖДАЮ Зам. директора по производственной метрологии «ВНИИМС» . Иванникова г. Государственная система обеспечения единства измерений Интерферометры OptoTl 60/125 Методика поверки МП №203-42-2020 г. Москва, 2020 г. Настоящая методика поверки распространяется на интерферометры OptoTl 60/125 (далее по тексту - интерферометры), выпускаемые ООО «Опто-Технологическая Лаборатория», г. Санкт-Петербург, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок. Интервал между поверками 1 год. 1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1. Таблица 1. Наименование операции Номер пункта методики поверки Средства поверки Проведение операции при первич ной поверк е периоди ческой поверке 1. Внешний осмотр 5.1 Визуально Да Да 2. Опробование 5.2 Мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, (per. № 48279-11) Да Да 3.      Идентификация программного обеспечения 5.3 Определение идентификационных данных     программного обеспечения,       уровня защиты     программного обеспечения            от непреднамеренных      и преднамеренных изменений и оценка его влияния на метрологические характеристики интерферометров. Да Да 4. Проверка абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности 5.4 Мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, (per. № 48279-11) Да Да 5. Проверка абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности 5.5 Мера сферическая CaliBall номинальный     диаметр сферы 25,4±1 мм, предел допускаемого отклонения от круглости не более 0,03 мкм (per. № 77937-20) Да Да Примечание: Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью. 2. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ При проведении поверки интерферометров необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование. 3. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия: 3.1.1  Помещение, где проходят поверку, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 80% при температуре (22±2)°С. В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С. 3.1.2 Интерферометр должен быть установлен на виброизоляционном столе. 3.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен быть размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов. 3.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон. 3.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток. 3.2 Требования безопасности 3.2.1. К проведению поверки допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75. 3.2 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019-80. 3.3 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с «Санитарными правилами при работе с лазерами» № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040-83. 3.4 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004-91. 3.5 Работать на интерферометре без заземления запрещается - (зажим для подключения защитного заземления перед включением интерферометра в сеть необходимо соединить с общей шиной заземления). Подключение интерферометра к сети производить предварительно проверенным сетевым кабелем. Отсоединение и присоединение кабелей производить только при отсутствии питающих напряжений. 4. ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ Интерферометры и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка. 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ 5.1 Внешний осмотр. 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям: - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в паспорте и руководстве по эксплуатации; - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию; - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий; - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным. 5.1.2. Интерферометр считается поверенным, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствуют требованиям технической документации. 5.2 Опробование. Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ). 5.2.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ. 5.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ. 5.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения. 5.2.4  Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра. 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяет произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации. 5.3 Идентификация программного обеспечения 5.3.1. Идентификацию ПО интерферометра провести по следующей методике: - произвести запуск ПО; - проверить наименование программного обеспечения и его версию; - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО интерферометра; - установить уровень защиты ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014; - оценить влияние ПО на метрологические характеристики интерферометра. 5.3.2. Интерферометр считается поверенным части программного обеспечения, если его ПО - ПО - Fastinterf версии - v. 1.43.0 и выше. 5.4. Проверка абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности 5.4.1 Проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности проводят для каждой плоской насадки, входящей в комплект интерферометра. При проверке абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности использовать меру отклонений от плоскостности. 5.4.2 Установить плоскую насадку. 5.4.3 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ. 5.4.4  Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр. 5.4.5 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения (ПО). 5.4.6 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс ПО. Полученное значение отклонений от плоскостности записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение. 5.4.7 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности определить по формуле: где хСр - полученное среднее значение отклонений о отклонений от плоскостности, хп - значение отклонений от плоскостности меры, указанное в свидетельстве о поверке. 5.4.8 Интерферометр считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от плоскостности для всех плоских насадок не более ±0,04 мкм. 5.5 Проверка абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности 5.5.1 Проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности проводят только для интерферометров в комплект поставки которых входят сферические насадки. При этом проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности проводят для каждой сферичной насадки, входящей в комплект интерферометра. При проверке абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности использовать меру сферическую CaliBall. 5.5.2 Установить сферическую насадку. 5.5.3 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ. 5.5.4  Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр. 5.5.5 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения (ПО). 5.5.6 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс ПО. Полученное значение отклонений от плоскостности записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение. 5.5.7  Абсолютную погрешность измерений отклонений от сферичности определить по формуле: Л ~ Хер — Хп,                                (2) где хСр - полученное среднее значение отклонений о отклонений от сферичности, хп - значение отклонений от сферичности меры сферической CaliBall, указанное в свидетельстве о поверке. 5.5.8 Интерферометр считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от сферичности для всех сферических насадок не более ±0,06 мкм. 6. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ Результаты поверки оформляются в соответствии с требованиями Приказа Минпромторга Российской Федерации № 1815 от 02.07.2015. При положительных результатах выдается свидетельство о поверке с протоколом. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. При отрицательных результатах поверки выдается извещение о непригодности интерферометра с указанием причин. Зам. начальника отдела 203 ФГУП «ВНИИМС» Начальник лаборатории 203/1 ФГУП «ВНИИМС» Инженер отдела 203 ФГУП «ВНИИМС» Е.А. Милованова Д.А. Новиков Г.М. Попов