Методика поверки «ГСОЕИ. Интерферометры OptoTl 60/125» (МП №203-42-2020)

ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ

(ФГУП «ВНИИМС»)

УТВЕРЖДАЮ

Зам. директора

по производственной метрологии «ВНИИМС» . Иванникова г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Методика поверки

МП №203-42-2020

г. Москва, 2020 г.

Настоящая методика поверки распространяется на интерферометры OptoTl 60/125 (далее по тексту - интерферометры), выпускаемые ООО «Опто-Технологическая Лаборатория», г. Санкт-Петербург, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год.

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1.

Примечание: Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью.

При проведении поверки интерферометров необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование.

• 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

• 3.1.1  Помещение, где проходят поверку, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 80% при температуре (22±2)°С.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С.

• 3.1.2 Интерферометр должен быть установлен на виброизоляционном столе.

• 3.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен быть размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов.

• 3.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон.

• 3.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

• 3.2 Требования безопасности

• 3.2.1. К проведению поверки допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

• 3.2 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019-80.

• 3.3 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с «Санитарными правилами при работе с лазерами» № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040-83.

• 3.4 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004-91.

• 3.5 Работать на интерферометре без заземления запрещается - (зажим для подключения защитного заземления перед включением интерферометра в сеть необходимо соединить с общей шиной заземления). Подключение интерферометра к сети производить предварительно проверенным сетевым кабелем. Отсоединение и присоединение кабелей производить только при отсутствии питающих напряжений.

Интерферометры и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

• 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

• - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в паспорте и руководстве по эксплуатации;

• - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

• - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

• - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

• 5.1.2. Интерферометр считается поверенным, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствуют требованиям технической документации.

Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ).

• 5.2.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ.

• 5.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения.

• 5.2.4  Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра.

• 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяет произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 5.3.1. Идентификацию ПО интерферометра провести по следующей методике:

• - произвести запуск ПО;

• - проверить наименование программного обеспечения и его версию;

• - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО интерферометра;

• - установить уровень защиты ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014;

• - оценить влияние ПО на метрологические характеристики интерферометра.

• 5.3.2. Интерферометр считается поверенным части программного обеспечения, если его ПО - ПО - Fastinterf версии - v. 1.43.0 и выше.

• 5.4.1 Проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности проводят для каждой плоской насадки, входящей в комплект интерферометра. При проверке абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности использовать меру отклонений от плоскостности.

• 5.4.2 Установить плоскую насадку.

• 5.4.3 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.4.4  Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 5.4.5 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения (ПО).

• 5.4.6 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс ПО. Полученное значение отклонений от плоскостности записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение.

• 5.4.7 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности определить по формуле:

где х_Ср - полученное среднее значение отклонений о отклонений от плоскостности, х_п - значение отклонений от плоскостности меры, указанное в свидетельстве о поверке.

• 5.4.8 Интерферометр считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от плоскостности для всех плоских насадок не более ±0,04 мкм.

• 5.5.1 Проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности проводят только для интерферометров в комплект поставки которых входят сферические насадки. При этом проверку абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности проводят для каждой сферичной насадки, входящей в комплект интерферометра. При проверке абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности использовать меру сферическую CaliBall.

• 5.5.2 Установить сферическую насадку.

• 5.5.3 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.5.4  Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 5.5.5 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения (ПО).

• 5.5.6 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс ПО. Полученное значение отклонений от плоскостности записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение.

• 5.5.7  Абсолютную погрешность измерений отклонений от сферичности определить по формуле:

Л ~ Хер — Хп,                                (2)

где х_Ср - полученное среднее значение отклонений о отклонений от сферичности, х_п - значение отклонений от сферичности меры сферической CaliBall, указанное в свидетельстве о поверке.

• 5.5.8 Интерферометр считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от сферичности для всех сферических насадок не более ±0,06 мкм.

Результаты поверки оформляются в соответствии с требованиями Приказа Минпромторга Российской Федерации № 1815 от 02.07.2015.

При положительных результатах выдается свидетельство о поверке с протоколом. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

При отрицательных результатах поверки выдается извещение о непригодности интерферометра с указанием причин.

Зам. начальника отдела 203

ФГУП «ВНИИМС»

Начальник лаборатории 203/1

ФГУП «ВНИИМС»

Инженер отдела 203

ФГУП «ВНИИМС»