Методика поверки «Анализаторы микропримесей азота в аргоне "SERVOPRO Plasma k2001"» (Код не указан!)

ИНСТРУКЦИЯ

Анализаторы микропримесей азота в аргоне "SERVOPRO Plasma k2001"

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

Москва

2011 г.

Настоящая методика поверки распространяется на анализаторы микропримесей азота в аргоне "SERVOPRO Plasma k2001" и устанавливает методы и средства их первичной поверки после ввоза в РФ, периодической поверки в процессе эксплуатации и поверки после ремонта.

Межповерочный интервал - 3 года.

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

• 2.1. При проведении поверки должны быть применены средства, указанные в таблице 2.

Таблица 2

• 2.2. Допускается применение других средств измерений, не приведенных в таблице 2, при условии сохранения класса точности и пределов измерений.

• 2.3. Все средства поверки должны иметь действующие свидетельства о поверке, а

ГСО-ПГС - действующие паспорта.

• 3.1. К проведению поверки допускают лиц, достигших 18-летнего возраста, прошедших производственное обучение, проверку знаний и инструктаж по безопасному обслуживанию газоанализатора, имеющих квалификацию обслуживающего персонала не ниже техника или слесаря КИП 5-го разряда, изучивших настоящую инструкцию, ознакомленные с руководством по эксплуатации.

• 3.2. Помещение, в котором проводится поверка, должно быть оборудовано приточно-вытяжной вентиляцией. Удовлетворять требованиям санитарных норм. Воздух рабочей зоны по ГОСТ 12.1.005-88.

• 3.3. При работе с газовыми смесями в баллонах под давлением должны соблюдаться "Правила устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением" ПБ 03-576-03, утвержденные Госгортехнадзором России.

• 4.1. При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха                            (20±5) °C;

• - атмосферное давление                                          (90,6  104,8) кПа;

• - относительная влажность окружающего воздуха                от 30 % до 80%.

• 5.1. Перед проведением поверки должны быть выполнены следующие подготовительные работы:

• - поверяемый анализатор должен быть подготовлен к работе в соответствии с технической документацией фирмы-изготовителя;

• - пригодность ГСО-ПГС в баллонах под давлением должна быть подтверждена паспортами на них;

• - должна быть включена приточно-вытяжная вентиляция.

• 5.2. Перед проведением поверки анализатор и ГСО-ПГС следует выдержать при условиях поверки не менее 8 часов.

• 6.1. Внешний осмотр.

  • 6.1.1. При внешнем осмотре должно быть установлено:

• - отсутствие внешних повреждений и дефектов, влияющих на работоспособность анализатора;

• - исправность органов управления, настройки и коррекции;

• - целостность ЖКИ дисплея;

• - четкость всех надписей на кнопках управления и на лицевой панели;

• - наличие эксплутационной документации;

• - наличие на анализаторе обозначения (наименования) и заводского номера.

• 6.1.2. Анализатор считается выдержавшими внешний осмотр удовлетворительно, если он соответствует всем требованиям, перечисленным в п. 6.1.1.

• 6.2. Опробование.

  • 6.2.1. Подготовить анализатор к работе в соответствии с технической документацией фирмы-изготовителя. Включить прибор. Через несколько секунд на дисплее должно появиться главное меню.

  • 6.2.2. В течение не менее 30 с выполняется процедура поджига разряда. Если газовая цепь достаточно чистая, высокочастотный разряд зажигается и на экране появляется соответствующее сообщение.

  • 6.2.3. Анализатор считается выдержавшими опробование, если он соответствует всем требованиям, перечисленным в п.п. 6.2.

• 6.3. Определение метрологических характеристик

  • 6.3.1. Определение основной приведенной погрешности газоанализатора

Определение основной приведенной погрешности проводится при поочередной подаче на вход анализатора ГСО ПГС в следующей последовательности: 1-2-3-2-1-3.

Значения основной приведенной погрешности (§о) для каждой точки, в ppm (млн’¹), рассчитывают по формуле:

5о=——^-100              (1)

где X - показания газоанализатора, объемная доля азота, млн’¹;

Хд - значение объемной доли азота, млн’¹, указанной в паспорте на ГСО-ПГС;

Хв~ верхний предел поверяемого диапазона измерений объемной доли азота, млн’¹.

Результаты проверки считают удовлетворительными, если основная приведенная погрешность (§о) для каждой поверяемой точки в диапазоне (0 ... 10) млн’¹ не превышает ± 15 %, а свыше 10 млн'¹ - не превышает ± 10 %.

• 6.3.2. Определение вариаций показаний анализатора

Определение вариаций показаний газоанализатора допускается проводить одновременно с определением основной приведенной погрешности по п. 6.3.1.

Значение вариации показаний в долях от пределов основной приведенной погрешности для каждого диапазона измерений рассчитывают по формуле:

(2)

где Хб - результат измерения объемной доли азота при подаче ПГС №2 при подходе со стороны больших значений, млн’¹;

Хм - результат измерения объемной доли азота при подаче ПГС №2 при подходе со стороны меньших значений, млн’¹.

Хд - значение объемной доли азота, % ( или млн’¹), указанной в паспорте на ГСО; Результат определения вариации показаний анализатора считают положительным, если значение вариации не превышает половины предела допускаемой основной приведенной погрешности.

• 7. Проведение поверки с применением рабочего эталона генератора газовых смесей ГГС-03-03.

  • 7.1. Подготовить к работе анализатор и генератор газовых смесей согласно технической документации на них.

  • 7.2. Подсоединить анализатор и баллоны с газами к ГГС-03-03 в соответствии с рис. 1

    

Рис. 1

• 1. Генератор газовых смесей ГГС-03-03.

• 2. Анализатор SERVOPRO Plasma к2001.

• 3. Баллон с аргоном высокой чистоты.

4 .Баллон с азотом особой чистоты.

• 5. Предколонка доочистки аргона.

• 6. Персональный компьютер.

• 7.3. В течении 30 с продуть газовый тракт от газовых баллонов до входа газа в анализатор.

• 7.4. Продуть газовый тракт анализатора аргоном.

• 7.5. В главном меню анализатора перейти на операцию "ИЗМЕРЕНИЕ".

• 1. Шкала измерения - (0 - 100) млн'

Получить стабильные результаты измерения (изменения не более 5 единиц последнего разряда шкалы измерения).

• 2. Перейти на шкалу измерения - (0 - 1000) млн ^и.

• 7.6. Подать в систему азот высокой чистоты.

• 7.7. Установить общий расход газа 150 см7мин. Получить стабильные показания измерения.

Основную приведенную погрешность, в %, рассчитывают по формуле:

С -С

_г ^с°-100

С

где Cj - измеренное значение объемной доли определяемого компонента (микро- концентрация азота в аргоне), млн ’’

Со - действительное значение концентрации измеряемого компонента в ПГС, млн ⁴

Cr- шкала измерения;

• 8.1. Результаты поверки вносят в протокол, форма которого приведена в Приложении 1.

• 8.2. Положительные результаты поверки оформляются свидетельством установленной формы.

• 8.3. Анализаторы, удовлетворяющие требованиям настоящей МП, признаются годными.

• 8.4. Анализаторы не удовлетворяющие требованиям настоящей МП к эксплуатации не допускаются и на них выдается извещение о непригодности.

  ФГУП «ВНИИМС»

  

  Пебалк В.В.

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Анализатор микропримесей азота в аргоне

Зав. №______________________________________________

Дата выпуска_______________________________________

Дата поверки_______________________________________

Условия поверки: температура окружающего воздуха____⁰ С ;

атмосферное давление______________________кПа;

относительная влажность_____________________%.

Результаты поверки:

• 1. Результаты внешнего осмотра

• 2. Результаты опробования

• 3. Результаты определения допускаемой приведенной погрешности

Таблица

4. Результаты определения вариации показаний

5. Заключение___________________________________

Поверитель____________________________________