Методика поверки «Приборы измерения геометрических параметров многофункциональные «Константа К6ц»» (МП 2512-0001-2014)
УТВЕРЖДАЮ Директор ФГУП ДИ. Менделеева»
. Гоголинский
<<09» ноября 2016 г.
Методика поверки
МП 2512-0001-2014
С изменением № 1
И.о. руководителя отдела : им. Д.И. Менделеева»
ФГУП «В
Н.А. Кононова
Санкт-Петербург 2016 г.
1 Общие положения-
1.1 Настоящая методика поверки распространяется на приборы измерения геометрических параметров многофункциональные «Константа Кбц» (далее - приборы), изготовленные ООО «КОНСТАНТА», г. Санкт-Петербург, и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.
-
1.2 Интервал между поверками 1 год.
-
2,1 При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
2.2 Средства поверки
При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 2.
____________________________________________________________________Таблица 2
| Иомер пункта методики поверки
Наименование эталонного средства измерений или вспомогательного средства поверки, номер документа, регламентирующего технические требования, метрологические и основные технические характеристики
| 3.4
I
1
5
1
Меры толщины покрытий МТ (К° 50316-12), меры толщины покрытий натурные МТП типа МП на МО, МП на НТО, НТП на НТО, НТП на МО (№ 54008-13).
§ 3.5
Меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда по ГОСТ 9038-90.
2.3 Допускается применение средств поверки, не указанных в таблице 2, при условии,
]_____________Таблица 1
Наименование операций |
№ п. МП |
Проведение операции при поверке | |
Первичной |
Периодической | ||
1 Внешний осмотр, проверка комплектности и маркировки. |
3.1 |
+ |
+ |
2 Подтверждение соответствия программного продукта. |
3.2 |
+ |
+ |
3 Опробование. |
3.3 |
+ |
+ |
j 4 Проверка диапазона измерений и абсолютной погрешности измерений толщины покрытий. |
3.4 |
+ |
+ |
| 5 Проверка диапазона измерений и абсолютной 1 погрешности измерений глубины пазов. |
3.5 |
+ |
+ |
что они обеспечивают требуемую точность измерений.
-
2.4 При получении отрицательных результатов в ходе проведения той или иной операции поверка прекращается, прибор признается непригодным к дальнейшему применению, и на него выписывается извещение о непригодности.
-
2.5 Требования безопасности
При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности, изложенные в технической документации.
-
2.6 Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия поверки:
-
- диапазон температуры окружающего воздуха, °C 20+5;
-
- диапазон относительной влажности окружающего воздуха, % 60+20.
-
3.1 Внешний осмотр, проверка комплектности и маркировки.
При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие прибора следующим требованиям:
-
- на поверхности преобразователей должны отсутствовать механические повреждения, царапины, задиры;
-
- комплектность и маркировка должны соответствовать требованиям технической документации.
-
3.2 Подтверждение соответствия программного продукта.
После включения прибора на дисплее блока обработки информации должна отобразиться информация о версии программного обеспечения.
Иомер версии программного обеспечения должен быть не ниже 1.0.
-
3.3 Опробование.
При опробовании проверяют функционирование прибора. Для этого включают прибор согласно руководству по эксплуатации. Выполняют измерения:
-
- для преобразователей ИДОК, ИД0/90, ИДО, ИД1-0,3, ИД1, ИД2, ИДЗ, ИД4, ИД5, ДАО, ДА1, ДА2, ИДТ (при работе в режиме измерения толщины неферромагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях), ИДОТ, ИД1Т, ИД2Т, ИДЗТ, ПДО, ПД-Г, ПД1, ПД2, ПДЗ, ПД4, ПД5, ПД6, ПДОТ, ПД1Т, ПД2Т, ИПД используют меры толщины покрытий МТ (далее - МТ);
-
- для преобразователей ФДЗ-1,8, ФДЗ-0,2 - меры толщины покрытий натурные МТП (далее - МТП) типа МП на МО и НТП на МО;
“ для преобразователя ФД1 - МТП типа МП на МО;
“ для преобразователя ДШ - меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда (далее - КМД);
-
- для преобразователя ПД-Г для электропроводящих покрытий на электропроводящих неферромагнитных основаниях - МТП типа НТП на НТО;
-
- для преобразователя ИД-Г для покрытий электролитического никеля на неферромагнитных основаниях - МТП типа МП на НТО.
При выполнении измерений мер толщины покрытий разной толщины и КМД измеренные значения должны меняться соответствующим образом.
-
3.4 Проверка диапазона измерений и абсолютной погрешности измерений толщины покрытий.
-
3.4.1 Проверка диапазона измерений толщины покрытий.
-
3.4.1.1 Выполняют калибровку прибора с преобразователями ИДОК, ИД0/90, ИДО, ИД 1-0,3, ИД1, ИД2, ИДЗ, ИД4, ИД5, ДАО, ДА1, ДА2, ИД-Г (при работе в режиме измерения толщины неферромагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях), ИДОТ, ИД1Т, ИД2Т, ИДЗТ, ПДО, ПД-Г (при работе в режиме измерения толщины диэлектрических покрытий на электропроводящих неферромагнитных основаниях), ПД1, ПД2, ПДЗ, ПД4, ПД5, ПД6, ПДОТ, ПД1Т, ПД2Т, ИПД, для этого:
-
-
-
- сбрасывают параметры предыдущей калибровки, нажав кнопку @, после активации панели «Калибровка», одновременно нажимают кнопки «Г^П» и «П^П» и удерживают их в нажатом состоянии до отображения на дисплее сообщения:
«315:28- X
Калибровка сброшена к
Калибровка)
- устанавливают ноль, для этого на образец основания без покрытия устанавливают преобразователь перпендикулярно и прижимают его, не допуская покачивания. Основание выбирают согласно таблицы 3.
Таблица 3
Тип преобразователя |
Тип, материал основания |
Диаметр основания, мм, не менее |
Толщина основания, мм, не менее |
ИДОК, ИД0/90, ИДО, ид-г, ИД0Т,ИД1,ИД1-0,3,ИД1Т, ИД2, ИД2Т, ИДЗ, ИДЗТ |
ферромагнитное, Сталь 20 |
40 |
8 |
ИД4,ИД5 |
ферромагнитное, Сталь 20 |
100 |
10 |
ДАО, ДА1.ДА2 |
ферромагнитное, Сталь 20 |
300 |
15 |
ПД0, ПД0Т, ПД-Г, ПД1, ПД1Т |
электропроводящее неферромагнитное, сплав Д16 |
40 |
8 |
ПД2, ПД2Т, ПДЗ |
ферромагнитное, Сталь 20 или электропроводящее неферромагнитное, сплав Д16 |
100 |
10 |
ПД4, ПД5, ПД6 |
ферромагнитное, Сталь 20 или электропроводящее неферромагнитное, сплав Д16 |
300 |
15 |
ИПД |
ферромагнитное, Сталь 20 и электропроводящее неферромагнитное, сплав Д16, поочередно |
40 |
8 |
НОЛЬ
», на дисплее отобразится
После отображения на дисплее результата измерения поднимают преобразователь от основания на расстояние более 100 мм, нажимают кнопку «
ЖЗЭ 15:28 4 0 мкм |
Калибровка 1 |
сообщение, свидетельствующее об установке ноля прибора:
“ устанавливают верхний предел измерений, для этого на образце основания, соответствующего типу преобразователя, устанавливают МТ, толщина которой близка к верхней точке диапазона измерений толщины покрытия (таблица 4). Выполняют измерение толщины МТ. Поднимают преобразователь от основания на расстояние более 100 мм. Далее с помощью кнопок «I I» и «I I» устанавливают значение, соответствующее действительному значению толщины МТ.
электропроводящих покрытий на электропроводящих неферромагнитных основаниях), для
-
3.4.1.2 Выполняют калибровку с преобразователями ФДЗ-1,8, ФДЗ-0,2, ФД1, ИД-Г (при работе в режиме измерения толщины покрытия электролитического никеля на неферромагнитных основаниях), ПД-Г (при работе в режиме измерения толщины этого:
-
- сбрасывают параметры предыдущей калибровки;
-
- устанавливают ноль (для всех преобразователей, кроме ИД-Г), для этого на непокрытую часть МТП, соответствующей типу используемого преобразователя (п.3.3), устанавливают преобразователь перпендикулярно и прижимают его, не допуская покачивания. После отображения на дисплее результата измерения поднимают преобразователь от МТП на расстояние более 100 мм, нажимают кнопку «[НСТЪ]», На дисплее отобразится сообщение, свидетельствующее об установке ноля прибора:
15:28
п
и
МИМ
Калибровка I
Ноль1
i-
3.4Л .3 Выполняют измерение толщины МТ или МТП, толщина которой близка к верхней точке диапазона измерений.
Измерения проводят не менее пяти раз. Полученные результаты hi заносят в протокол. Форма протокола приведена в приложении А настоящей методики поверки. Определяют среднее арифметическое результатов измерений Нт.
Диапазон измерений толщины покрытий должен соответствовать значениям, приведенным в таблице 4.
Таблица 4
Тип преобразователя |
Диапазон измерений толщины покрытий, мм |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, мм |
1 |
2 |
3 |
ИДОК |
0-0,3 |
±(0,01^+0,001) |
ИД0/90 |
0-0,3 |
±(0,0111+0,001) |
ИДО |
0-0,3 |
±(0,01h+0,001) |
ИД1-О,3 |
. 0-0,3 |
±(0,01h+0,001) |
ИД1 |
0-2 |
±(0,015h+0,001) в поддиапазоне от 0 до 1 мм включ. ±(0,02h+0,001) в поддиапазоне свыше 1 мм до 2 мм |
ИД2 |
0-3 |
±(0,015h+0,001) в поддиапазоне от 0 до 1,5 мм включ. ±(0,02h+0,001) в поддиапазоне свыше 1,5 мм до 3 мм |
идз |
0-6 |
±(0,01511+0,005) в поддиапазоне от 0 до 4 мм включ. ±(0,02h+0,005) в поддиапазоне свыше 4 мм до 6 мм |
ИД4 |
0-8 |
±(0,01511+0,005) в поддиапазоне от 0 до 5 мм включ. ±(0,0211+0,005) в поддиапазоне свыше 5 мм до 8 мм |
ИД5 |
0-10 |
±(0,01511+0,005) в поддиапазоне от 0 до 7 мм включ. ±(0,02h+0,005) в поддиапазоне свыше 7 мм до 10 мм |
ИД-Г |
0-0,з2 0-0,043 |
±(0,01h+0,001) ±(0,02h+0,001) |
идот |
0-0,3 |
±(0,0211+0,002) |
ИД1Т |
0-0,3 |
±(0,0111+0,001) |
ИД2Т |
0-3 |
±(0,01511+0,001) в поддиапазоне от 0 до 1,5 мм включ. ±(0,0211+0,001) в поддиапазоне свыше 1,5 мм до 3 мм |
ИДЗТ |
0-6 |
±(0,01511+0,005) в поддиапазоне от 0 до 4 мм включ. ±(0,0211+0,005) в поддиапазоне свыше 4 мм до 6 мм |
ДАО |
0-50 |
±(0,03h+0,l) |
ДА1 |
0-70 |
±(0,0311+0,1) |
ДА2 |
0-120 |
±(0,05h+0,l) |
ПДО |
0-0,5 |
±(0,01h+05001) |
ПД1 |
0-2 |
±(0,0111+0,001) |
ПД2 |
0-15 |
±(0,01511+0,01) в поддиапазоне от 0 до 7,5 мм включ. ±(0,02h+0,01) в поддиапазоне свыше 7,5 мм до 15 мм |
ПДЗ |
0-30 |
±(0,015h+0,05) в под диапазоне от 0 до 20 мм включ. ±0,02h в поддиапазоне свыше 20 мм до 30 мм |
2 |
3 | |
ПД4 |
0-70 |
±(0,01511+0,1) в поддиапазоне от 0 до 40 мм включ. ±0,02h в поддиапазоне свыше 40 мм до 70 мм |
ПД5 |
0-90 |
±(0,01511+0,3) в поддиапазоне от 0 до 60 мм включ. ±0,02h в поддиапазоне свыше 60 мм до 90 мм |
ПД6 |
0-120 |
±(0,015h+0,3) в поддиапазоне от 0 до 60 мм включ. ±0502h в поддиапазоне свыше 60 мм до 120 мм |
ПД-Г |
0-0,54 0-0,045 |
±(0,01h+0,001) ±(0,02h+0,001) |
ПДОТ |
0-0,5 |
±(0,01h+0,001) |
ПД1Т |
0-2 |
±(0,0111+0,001) |
ПД2Т |
0-15 |
±(0,015h+0,01) в поддиапазоне от 0 до 7,5 мм включ. ±(0,0211+0,01) в поддиапазоне свыше 7,5 мм до 15 мм |
ипд |
0-1 |
±(0,02h+0,002) |
ФДЗ-1,8 |
0-0,05 |
±(0,02h+0,0Ql) |
ФДЗ-0,2 |
0-0,12 |
±(0,02h+0,0(ft) |
ФД1 |
0-0,3 |
±(0,02h+0,001) |
1 h - измеряемая величина в мм; " - для неферромагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях;
|
(Измененная редакция^ изм, № 1)
-
3.4.2 Проверка абсолютной погрешности измерении толщины покрытий.
Проверку абсолютной погрешности измерений толщины покрытий выполняют с помощью МТ или МТП в зависимости от типа преобразователя (п. 3.3).
-
3.4.2.1 Выполняют калибровку прибора в каждом поддиапазоне измерений толщины покрытий (таблица 5):
-
- сбрасывают параметры предыдущей калибровки;
-
- устанавливают ноль на образце основания или на непокрытой части МТП (кроме преобразователя ИД-Г при работе в режиме измерения толщины электролитического никеля на неферромагнитных основаниях). Выбор типа основания или г МТП зависит от типа преобразователя (п. 3.3);
-
- устанавливают верхний предел поддиапазона измерений, для этого на образце основания, соответствующего типу преобразователя, устанавливают МТ, толщина которой близка к верхней точке поддиапазона измерений толщины покрытия или используют МТП, толщина которой близка к верхней точке поддиапазона измерений толщины покрытий. Выбор типа основания или МТП зависит от типа преобразователя (п. 3.3).
-
- выполняют измерение толщины МТ или МТП. Поднимают преобразователь от основания или от МТП на расстояние более 100 мм. Далее с помощью кнопок «I I» и «I I» устанавливают значение, соответствующее действительному значению толщины МТ или МТП.
Таблица 5
Тип преобразователя |
Поддиапазоны измерений толщины покрытия, мм |
1 |
2 |
ИДОК, ИД0/90, ИДО, ИД1-0,3,ИД0Т, ИД1Т |
от 0 до 0,05 включительно свыше 0,05 до 0,15 включительно свыше 0,15 до 0,30 включительно |
ид-г |
(от 0 до 0,05 включительно свыше 0,05 до 0,15 включительно свыше 0,15 до 0,30 включительно)1 |
1 |
2 |
(от 0 до 0,04)2 | |
ИД1 |
от 0 до ОД включительно свыше ОД до 1,0 включительно свыше 1,0 до 2,0 включительно |
ИД2, ИД2Т |
от 0 до ОД включительно свыше ОД до 1,0 включительно свыше 1,0 до 3,0 включительно |
ИДЗ, ИДЗТ |
от 0 до ОД включительно свыше ОД до 2,0 включительно свыше 2,0 до 6,0 включительно |
ИД4 |
от 0 до 1,0 включительно свыше 1,0 до 4,0 включительно свыше 4,0 до 8,0 включительно |
ИД5 |
от 0 до 1,0 включительно свыше 1,0 до 5,0 включительно сыше 5,0 до 10,0 включительно |
ДАО |
от 0 до 5,0 включительно свыше 5,0 до 20,0 включительно свыше 20,0 до 50,0 включительно |
ДА1 |
от 0 до 7,0 включительно свыше 7,0 до 30,0 включительно свыше 30,0 до 70,0 включительно |
ДА2 |
от 0 до 15,0 включительно свыше 15,0 до 70,0 включительно свыше 70,0 до 120,0 включительно |
пдо, пдот |
от 0 до 0,05 включительно свыше 0,05 до 0,15 включительно свыше 0,15 до 0,50 включительно |
пд-г |
(от 0 до 0,05 включительно свыше 0,05 до 0,15 включительно свыше 0,15 до 0,50 включительно)3 |
(от 0 до 0,04)4 | |
ПД1, ПД1Т |
от 0 до ОД включительно свыше ОД до 1,0 включительно свыше 1,0 до 2,0 включительно |
ПД2, ПД2Т |
от 0 до 1,5 включительно свыше 1,5 до 7,0 включительно свыше 7,0 до 15,0 включительно |
пдз |
от 0 до 3,0 включительно свыше 3,0 до 10,0 включительно свыше 10,0 до 30,0 включительно |
ПД4 |
от 0 до 7,0 включительно свыше 7,0 до 30,0 включительно свыше 30,0 до 70,0 включительно |
ПД5 |
от 0 до 10,0 включительно свыше 10,0 до 40,0 включительно свыше 40,0 до 90,0 включительно |
ПД6 |
от 0 до 15,0 включительно свыше 15,0 до 70,0 включительно свыше 70,0 до 120,0 включительно |
1 |
2 |
ипд |
от 0 до 0,1 включительно свыше 0,1 до 0,5 включительно свыше 0,5 до 1,0 включительно |
ФДЗ-1,8 |
от 0 до 0,05 |
ФДЗ-0,2 |
от 0 до 0,120 |
ФД1 |
от 0 до 0,300 |
|
-
3.4.2.2 Выполняют измерения МТ или МТП в двух точках поддиапазона измерений. Измерения каждой меры проводят не менее пяти раз. Полученные результаты hi заносят в протокол. Определяют среднее арифметическое результатов измерений Нт.
Абсолютную погрешность измерений толщины покрытий Ат определяют по формуле: Am ~ Hm~hm,
где hm~ действительное значение толщины меры, мм.
ЗЛ.2Л, 3AJ2.2 (Введены дополнительно, изм. № 1)
-
3.4.2.3 Аналогичные калибровку и измерения МТ или МТП выполняют для каждого поддиапазона измерений используемого преобразователя.
Абсолютная погрешность измерений толщины покрытий не должна превышать значений, приведенных в таблице 4.
(Измененная редакция, изм. № 1)
3.5. Проверка диапазона измерений и абсолютной погрешности измерений глубины пазов.
Проверку диапазона измерений и абсолютной погрешности измерений глубины пазов выполняют с помощью КМД.
-
3.5.1 Проверка диапазона измерений глубины пазов
-
3.5.1.1 Выполняют установку ноля, для этого:
■■ сбрасывают параметры предыдущей калибровки;
~ на КМД с произвольным номинальным значением устанавливают преобразователь и прижимают его, не допуская покачивания. После отображения на дисплее результата измерения поднимают преобразователь от КМД на расстояние более 100 мм, нажимают кнопку «;НОЛЬ|»; на дисплее отобразится сообщение, свидетельствующее об установке ноля:
В 15:28 |
л |
Калибровка ] |
и мкм |
'л.'г |
-
3.5.1.2 Преобразователь устанавливают на образец, который состоит из КМД с произвольным номинальным значением, на рабочую поверхность которой устанавливают две КМД с номинальными значениями длины 1,3 мм и одну - 1,0 мм, таким образом, чтобы опорная поверхность преобразователя оказалась на рабочих поверхностях КМД с
номинальным значением длины 1,3 мм5 а игла преобразователя на рабочей поверхности КМД с номинальным значением 1,0 мм. Прижимают преобразователь, не допуская покачивания. Добиваются устойчивых показаний. Выполняют измерения глубины паза не менее пяти раз. Полученные результаты измерений заносят в протокол. Вычисляют среднее арифметическое результатов измерений Нг,
Диапазон измерений глубины пазов должен быть (0-0,3) мм.
-
3.5.2 Проверка абсолютной погрешности измерений глубины пазов
Абсолютную погрешность измерений глубины пазов Аг вычисляют по формуле:
где he “ действительное значение глубины паза.
Измерения, аналогичные п. 3.5.1.2, выполняют для глубины паза близкой к нижней и средней точкам диапазона измерений.
Абсолютная погрешность измерений глубины пазов не должна превышать ±(0,02Ь+0,001) мм, где h - измеряемая величина, мм.
(Измененная редакция, изм. № 1)
4 Оформление результатов иоверкиРезультаты поверки оформляются составлением и выдачей свидетельства. Приборы, не удовлетворяющие установленным требованиям, к применению не допускаются. На них выдается извещение о непригодности с указанием причин.
Приложение А ПРОТОКОЛ ПОВЕРКИ - ' '
-
1. Прибор измерения геометрических параметров многофункциональный «Константа Кбц»,
зав. №__________.
-
2. Средства поверки:
( наименование, номер свидетельства о поверке)
-
3. Поверка проводится в соответствии с документом «Приборы измерения геометрических параметров многофункциональные «Константа Кбц». Методика поверки. МП 2512-0001-2014», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в феврале 2014 г.
-
4. Условия поверки
Температура окружающего воздуха, °C _______
Относительная влажность воздуха, %_________
-
5. Результаты поверки
-
5.1. Внешний осмотр, проверка комплектности и маркировки
-
Результаты______________________________________
-
5.2. Подтверждение соответствия программного продукта.
Результаты_____________________________________
-
5.3. Опробование
Результаты_____________________________________
-
5.4. Результаты измерений:
Преобразователь_____________
Таблица 1
Диапазон измерений, мм |
Действительное значение толщины меры (глубины пазов), мм |
Измеренное значение толщины меры (глубины пазов), мм |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий (глубины пазов), мм |
Абсолютная погрешность измерений толщины покрытий (глубины пазов), мм |
Поверитель
Дата поверки
1