Методика поверки «Установка вакуум метр и чес кая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 зав. № 02» (МП 231-0033-2016)

УТВЕРЖДАЮ

Директор

ФГУП «ВПИИМ

Менделеев

» 1

• • I

ч •

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0033-2016

Ру ководи гель отдела

ФГУП «ВПИИМ им. Д.И. Менделеева»

В И. I оробей

Санкт-Петербург

2016 г.

• I ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

• 1.1 Настоящая методика поверки (далее по тексту МП) распространяется на установку вакуум.метрическую эталонную 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту - установка УВЭ-3). зав. №02 и устанавливает методику первичной и периодической поверок.

• 1.2 Интервал между поверками 1 юл.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

• 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 При периодической поверке представляются на поверку только ионизационный

вакуумметр A1GX с контроллером TIC. и деформационно-термопарный эталонный вакуумметр ВДТО-3 с преобразователем ПДДТО-1. входящие в состав установки. Предоставляются протоколы согласно пн. 8.1   8.2. 8.3.1. а так же протоколы калибровки

вакуумметров сопротивления APG и теплового CVM211. Поверка вакуумметров AIGX и ВДТО-3 осуществляется по методике поверки МИ 140-89 «Рекомендация ГСП. Вакуумметры. Методика поверки».

• 2.3 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п. 8.1. 8.2 или

• 8.3.1 настоящей методики Вакуумметры возвращаются представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

• 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 3.1

Таблица 3.1

Таблица 3.1

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат.

• 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ

• 4.1 Поверка проводи гея квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованных в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на ■ладонные и поверяемые средства измерений.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАС НОСТИ

• 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования документа «Правила устройств электроустановок», а также требования безопасности, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ

• 6.1 11ри проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • •  температура окружающего воздуха, °C.............................................................20±2

  • •  относительная влажность воздуха. %..................................................................60+15

  • •  атмосферное давление. кПа.......................................................................от 84 до 106.7

  Измеряемая среда сухой воздух или азот.

Вибрация, тряска, удары, магнитные поля, кроме земного, влияющие на работу и метрологические характеристики установки и эталонных вакуумметров, должны отсутствовать.

Скорость изменения температуры в помещении не должна превышать 0.5 °С/ч.

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

• 7.1 Проверьте наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

• 7.2 Проверьте наличие руководства по эксплуатации поверяемой установки.

8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1 Внешний осмотр

  • 8.1.1  При внешнем осмотре должно быть установлено:

• -  отсутствие механических повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики установки:

• -  отсутствие повреждений маркировки.

• 8.1.2  Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2 Опробование

  • 8.2.1  При опробовании проверяют эксплуатационные свойства установки:

• - возможность включения, выключения и функционирования установки в соответствии с документацией:

• - работоспособность органов у правления и регулирования;

• - функционирование всех средств измерений и оборудования, входящих в состав установки.

• 8.3 Определение метрологических характеристик

  • 8.3.1  Определение предельною остаточного давления

    • 8.3.1.1  Определение значения предельного остаточного давления проводят следующим образом. Подготавливают установку к работе согласно п. 2.2.2 ее руководства по эксплуатации. В соответствии со схемой, приведенной в приложении А настоящей методики, присоединяют к фланцу клапана VA1 измерительной камеры установки вакуумметр ионизационный A1GX. На остальных фланцах измерительной камеры установки должны бы i ь у ст ановлены заг .ту шки.

    • 8.3.1.2 Откачайте измерительную камеру установки до предельного остаточного давления, выполнив операции ни. 2.3.2 2.3.13 руководства по эксплуатации установки. Значение остаточного давления в камере контролируют по показаниям вакуумметра ионизационного AIGX.

    • 8.3.1.3  Результаты испытаний заносятся в протокол.

  • 8.3.2 Определение диапазона измерений и относительной погрешности

    • 8.3.2.1  Определение диапазона измерений и относительной погрешности измерений давления установки проводят методом сличения показаний ионизационного вакуумметра A1GX и деформационно-термопарного вакуумметра ВД10-3. входящих в состав установки, с действительными значениями давления, контролируемыми по показаниям эталонных СИ: вакуумметра мембранно-емкостною Баратрон. входящего в состав I Э Г 49-80 (далее по тексту т талонный вакуумметр Баратрон) и установки эталонной вакуум метрической редукционной ВОУ-1 (далее по тексту ВОУ-1).

    • 8.3.2.2 Выдержите поверяемые вакуумметры ионизационный A1GX и деформационнотермопарный ВДТО-3. и. эталонный вакуумметр Баратрон и ВОУ-1 при температуре, указанной в п.6.1, не менее 3 ч.

    • 8.3.2.3  Далее поверка проводится в соответствии с и.6.5 МИ 140-89.

    • 8.3.2.4 Результаты измерений занесите в протокол. Рекомендуемая форма протокола приведена в приложении Б.

    • 8.3.2.5 Рассчитайте относительную погрешность 8, для каждой точки во всем диапазоне измерений по формуле

_{S =} EiLZi. юо.

Ра

где р_и - и змеренное значение давления в камере установки, зафиксированное по показаниям вакуумметров ВДГО-3 и A1GX. входящих в состав установки;

р> - действительное значение давления, контролируемое по эталонному вакуумметру Барагрон или ВОУ-1. в зависимости от диапазона измерений.

• 8.3.2.6 Результаты поверки считаются положительными, если относительная погрешность в диапазоне измерений от 10’⁵ до 10'² Па не превышает ±15 %. в диапазоне от 10’² до 10¹11а не превышает ± 10 %.

• 8.3.2.7 Выключите эталонный ваку у мметр Барагрон. ВОУ-1 и отсоедини те поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДГО-3.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

• 9.1 По результатам поверки ионизационного вакуумметра AIGX и деформационнотермопарного вакуумметра ВДТО-3, представленных протоколов согласно пн. 8.1 - 8.2. 8.3.1 данной методики, протоколов калибровки вакуумметров сопротивления APG и тепловою CVM211. при положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности е указанием причин.

  

  А.А. Чернышенко

Руководитель группы

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

Приложение А. Вакуумная принципиальная схема установки УВЭ-3

- л

CV - вакуумная измерительная камера. N1 - форвакуумный насос. NR - турбомолекулярный насос пЕХТ 300. Р1 - индикаторный тепловой вакуумметр CVM 211, Р2 - вакуумметр деформационно-термопарный эталонный 2-го разряда ВДТО-3. РЗ - вакуумметр ионизационный 2-го разряда A1GX. Р4 - индикаторный вакуумметр сопротивления APG. VF -- высокоточный натекагель. VA1-VA7 - вакуумные клапаны. 1 и 2 - порты для присоединения дополнительного оборудования (приборов контроля герметичности, дополнительных откачиваемых объемов и откачных средств, и т.д.)

Приложение Б

(рекомендуемое)

Форма протокола поверки установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3

Дата:________________

Заводской номер_____________

Температура окружающей среды:__, °C

Относительная влажность воздуха:___. %

Атмосферное давление:_________________________, кПа

Результат поверки__

Поверител ь__(ФИО)