Методика поверки «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i» (МП 231-0035-2016)

Методика поверки

Тип документа

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i

Наименование

МП 231-0035-2016

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

УТВЕРЖДАЮ

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МГ1 231-0035-2016

Ру ко вод и те л ь отдел а

ФГУП «ВИНИМ им. Д.И. Менделеева

'_______В.Н. Го робей

1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
  • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i (далее по тексту - течеискатели) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

  • 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ
  • 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице

  • 2.1.

Таблица 2.1

Наименование операций

Номер пункта методики

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Подтверждение соответствия ПО

8.3

+

+

Определение метрологических характеристик

8.4

+

+

Обработка результатов измерений

9

+

+

  • 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, п.8.3 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 1

Таблица

Номер пункта МП

Наименование и тип основного или вспомогательного средства поверки, номер документа, регламентирующего технические требования к средству, метрологические и основные технические характеристики

5.1

Термогигрометр ИВА-6Н-КП-Д, диапазон измерений относительной влажности от 0 до 90 %, абсолютная погрешность ±1,5 %; диапазон измерений температуры от 0 до 60 °C, абсолютная погрешность ±0,1 °C; диапазоном измерений атмосферного давления от 70 до 110 кПа. абсолютная погрешность ±0,2 кПа

8.4

Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 1012-1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, 2.1.ZZB.0032.2014. СКО: в диапазоне от 10'12 до 10'9 Па м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10'9 до 1 Па м3/с не более 0,015

  • 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

  • 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

  • 3.4 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

  • 3.5 Допускается применять другие эталоны с точностными характеристиками, превышающими характеристики поверяемого течеискателя не менее чем в 2 раза.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

  • 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и поверяемый течеискатель.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При поверке течеискателей должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • - температура окружающего воздуха, °C                   20±5

  • - относительная влажность воздуха, %                     60±20

  • - атмосферное давление, кПа                               от 84 до 106,7

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

  • 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

  • 7.3 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

  • 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

8.1 Внешний осмотр
  • 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

  • 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

8.2 Опробование
  • 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемый течеискатель соответствующего исполнения.

8.3 Подтверждение соответствия ПО

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.

  • 8.3.1. Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

  • 8.3.2 Перейти в пункт меню «Main Menu —> Information —* View internal data —> Version info (вкладка 5)». На дисплее лицевой панели течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

  • 8.3.3 Подтверждение можно считать успешным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя совпадает (или является не ниже) с номером версии, указанным в описании типа.

8.4 Определение метрологических характеристик
  • 8.4.1 Для определения метрологических характеристик течеискателя применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1р), ГТ2р), ГТЗР>. потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1рэ - от 1-10‘" до 5-10'10 Па-м3/с; для ГТ2р) -от 1 '10'9 до 5-10'8 Па-м3/с; для ГТЗрэ - от 1 -10'7 до 5-10'5 Па-м3/с.

  • 8.4.2 Допускается проведение периодической поверки течеискателей на меньшем числе поддиапазонов измерений на основании письменного заявления владельца СИ.

  • 8.4.3 При проведении поверки, для калибровки течеискателя возможно использование меры потока (течи гелиевой) заказчика, если она имеет действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.4 Порядок определения метрологических характеристик

  • 8.4.4.1 Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

  • 8.4.4.2 Установить на вход течеискателя любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-КГ10 Па-м3/с. или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.4.3 Провести внешнюю калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

  • 8.4.4.4 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1 рэ.

  • 8.4.4.5 Перевести течеискатель в режим «FINE ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

  • 8.4.4.6 Нажать кнопку «Start». По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn. Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

  • 8.4.4.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ1 рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.6.

  • 8.4.4.8 Отсоединить гелиевую течь ГТ2рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗрэ. Выполнить операции п. 8.4.4.6.

  • 8.4.4.9 Перевести течеискатель в режим «GROSS ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя. Выполни ть операции п. 8.4.4.6.

  • 8.4.4.10 Выполнить операции п.п. 8.4.4.2 - 8.4.4.9 два раза, данные записать в протокол.

  • 8.4.4.11 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ п о в е р я ем о го теч е и с кател я.

  • 8.4.4.12 Относительную погрешность измерений течеискателя      для каждой

эталонной гелиевой течи вычислить по формуле (1)

g =Qt, Са.100оО

(1)

И/)

где Оц - значение потока /-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискагелем;

Qji - действительное значение потока /-той эталонной течи ГТр). входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭ’Г 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

  • 8.4.4.13 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

  • 8.4.4.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

  • - для режима измерения «FINE»                          ±(0.15 + QurinlQn)’ 100 %.

где Qnnn~ нижний предел измерений течеискателя (Qhiih ~ 5-10’13 Па-м3/с);

  • - для режима измерения «GROSS»                        ±50%.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 9.1 Результаты поверки течеискателя удостоверяются знаком поверки и (или) свидетельством о поверке. Место для нанесения знака поверки указывается в описании типа па поверяемый течеискатель.

  • 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

    А.А. Чернышенко

Руководитель группы

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

Приложение А

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ГЕЛИЕВЫХ СЕРИИ

PHOENIX L300i

Дата:_______________

Исполнение и заводской номер течеискателя:________________

Номер версии ПО:_________________

Температура окружающей среды:_____ , °C

Относительная влажность воздуха:________________, %

Атмосферное давление:________________________, Па

Действительное значение потока (Qii) /-той течи ГТрэ, Па-м3

Значение потока (Qn) /-той течи ГТрэ, измеренное течеискателем, Па-м3

Значение относительной погрешности дп, %

Результат поверки___________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель