Методика поверки «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i» (МП 231-0035-2016)

УТВЕРЖДАЮ

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МГ1 231-0035-2016

Ру ко вод и те л ь отдел а

ФГУП «ВИНИМ им. Д.И. Менделеева

'_______В.Н. Го робей

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i (далее по тексту - течеискатели) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

• 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице

• 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, п.8.3 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

• 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 1

Таблица

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

• 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

• 3.4 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.5 Допускается применять другие эталоны с точностными характеристиками, превышающими характеристики поверяемого течеискателя не менее чем в 2 раза.

• 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

• 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и поверяемый течеискатель.

• 5.1 При поверке течеискателей должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                   20±5

• - относительная влажность воздуха, %                     60±20

• - атмосферное давление, кПа                               от 84 до 106,7

• 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

• 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

• 7.3 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

• 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемый течеискатель соответствующего исполнения.

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.

• 8.3.1. Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

• 8.3.2 Перейти в пункт меню «Main Menu —> Information —* View internal data —> Version info (вкладка 5)». На дисплее лицевой панели течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

• 8.3.3 Подтверждение можно считать успешным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя совпадает (или является не ниже) с номером версии, указанным в описании типа.

• 8.4.1 Для определения метрологических характеристик течеискателя применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1_р), ГТ2_р), ГТЗ_Р>. потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1_рэ - от 1-10‘" до 5-10'¹⁰ Па-м³/с; для ГТ2_р) -от 1 '10'⁹ до 5-10'⁸ Па-м³/с; для ГТЗ_рэ - от 1 -10'⁷ до 5-10'⁵ Па-м³/с.

• 8.4.2 Допускается проведение периодической поверки течеискателей на меньшем числе поддиапазонов измерений на основании письменного заявления владельца СИ.

• 8.4.3 При проведении поверки, для калибровки течеискателя возможно использование меры потока (течи гелиевой) заказчика, если она имеет действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4 Порядок определения метрологических характеристик

• 8.4.4.1 Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

• 8.4.4.2 Установить на вход течеискателя любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-КГ¹⁰ Па-м³/с. или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4.3 Провести внешнюю калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.4 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1 _рэ.

• 8.4.4.5 Перевести течеискатель в режим «FINE ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.6 Нажать кнопку «Start». По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn. Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.4.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ1 _рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.6.

• 8.4.4.8 Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗ_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.6.

• 8.4.4.9 Перевести течеискатель в режим «GROSS ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя. Выполни ть операции п. 8.4.4.6.

• 8.4.4.10 Выполнить операции п.п. 8.4.4.2 - 8.4.4.9 два раза, данные записать в протокол.

• 8.4.4.11 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ п о в е р я ем о го теч е и с кател я.

• 8.4.4.12 Относительную погрешность измерений течеискателя      для каждой

эталонной гелиевой течи вычислить по формуле (1)

g ₌Qt, Са.₁₀₀о_/о О

И/)

где Оц - значение потока /-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискагелем;

Qji - действительное значение потока /-той эталонной течи ГТ_р). входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭ’Г 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

• 8.4.4.13 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.4.14 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

• - для режима измерения «FINE»                          ±(0.15 + QurinlQn)’ 100 %.

где Qnnn~ нижний предел измерений течеискателя (Qhiih ~ 5-10’¹³ Па-м³/с);

• - для режима измерения «GROSS»                        ±50%.

• 9.1 Результаты поверки течеискателя удостоверяются знаком поверки и (или) свидетельством о поверке. Место для нанесения знака поверки указывается в описании типа па поверяемый течеискатель.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

  

  А.А. Чернышенко

Руководитель группы

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ГЕЛИЕВЫХ СЕРИИ

PHOENIX L300i

Дата:_______________

Исполнение и заводской номер течеискателя:________________

Номер версии ПО:_________________

Температура окружающей среды:_____ , °C

Относительная влажность воздуха:________________, %

Атмосферное давление:________________________, Па

Результат поверки___________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)