Методика поверки «Нанотвердомеры НаноСкан-4Н» (МП НаноСкан-4П - 01 )
УТВЕРЖДАЮ Первый заместитель генерального директора -заместитель по научной работе ФГУП «ВНИИФТРИ»
ИНСТРУКЦИЯ Нанотвердомеры НаноСкан-4О МЕТОДИКА ПОВЕРКИ НаноСкан-4О - 01 МП2016 г.
Настоящая методика поверки распространяется на нанотвердомеры НаноСкан-4О (далее - нанотвердомеры) ФГБНУ ТИСНУМ, г. Москва, г. Троицк, и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.
Интервал между поверками -1 год.
1 Операции поверки-
1.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
Наименование операций |
Номер пункта методики поверки |
Проведение операции при | |
первичной поверке |
периодической поверке | ||
1 Внешний осмотр нанотвердомера |
7.1 |
да |
да |
2 Внешний осмотр алмазного наконечника |
7.2 |
да |
да |
3 Опробование |
7.3 |
да |
да |
4 Определение погрешности измерений твёрдости нанотвердомером по шкалам индентирования и относительного среднеквадратического отклонения (далее СКО) |
7.4 |
да |
да |
5 Идентификация программного обеспечения (ПО) |
7.5 |
да |
да |
-
1.2 В случае получения отрицательного результата при проведении одной из операций поверку прекращают, а нанотвердомер признают не прошедшим поверку.
-
2.1 При проведении поверки должны быть применены средства, указанные в таблице 2.
Таблица 2
Номер пункта методики поверки |
Наименование и тип средства поверки; обозначение нормативного документа, регламентирующего технические требования, и основные технические характеристики средства поверки |
7.2 |
Микроскоп по ГОСТ 8074-82, общее увеличение не менее ЗОх |
7.4 |
Эталонные меры твердости по шкалам индентирования из поликарбоната, плавленого кварца, сапфира или эталонные меры твёрдости из состава ГЭТ 211-2014. Метрологические характеристики эталонных мер твёрдости из состава ГЭТ 211-2014: СКО ряда измерений, не более 0,05- Ни, где Hit - число твёрдости по шкалам индентирования. |
Примечания:
1 Допускается применение других средств измерений утвержденного типа, прошедших поверку и обеспечивающих измерение соответствующих характеристик с требуемой точностью.
3 Требования к квалификации поверителей-
3.1 К работе допускаются лица, аттестованные в качестве поверителя в данной области измерений, имеющие необходимую квалификацию, обученные правилам техники безопасности и полностью изучившие руководство по эксплуатации (РЭ) на нанотвердомеры.
-
4.1 При проведении поверки должны быть соблюдены «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденные Минэнерго России 13 января 2003 года, «Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок. ПОТ Р М-016-2001», утвержденные Министерством энергетики РФ 27 декабря 2000 года и Министерством труда и социального развития РФ 5 января 2001 года (с поправками от 01 июля 2003 года)
-
4.2 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности согласно ГОСТ 12.3.019-80 и санитарных норм СанПиН 2.2.1/2.1.1.1200-03 (утвержденных главным государственным санитарным врачом РФ 25 сентября 2007 года).
-
5.1 При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:
-
- температура окружающего воздуха (23 ± 5) °C;
-
- относительная влажность окружающего воздуха не более - 50 %.
-
6.1 Перед проведением поверки необходимо-привести в рабочее состояние средства поверки в соответствии с указаниями, изложенными в их эксплуатационной документации.
-
6.2 Поверяемые нанотвердомеры должны быть установлены на столах, обеспечивающих защиту от воздействия вибраций.
-
6.3 Поверхность рабочего стола должна быть чистой, поверхности рабочего стола и рабочей части наконечника должны быть обезжирены.
-
7.1 Внешний осмотр
-
7.1.1 Проверить соответствие заводского номера нанотвердомера с записью в паспорте, целостность соединительных кабелей, комплектность нанотвердомера в соответствии с главой
-
-
2.1 РЭ. Поверхность нанотвердомера не должна иметь видимых трещин и повреждений.
-
7.1.2 Результаты поверки считать положительными, если выполнены требования п. 7.1.1. В противном случае нанотвердомер бракуется и направляется в ремонт.
-
7.2 Внешний осмотр алмазного наконечника
-
7.2.1 Внешний осмотр алмазного наконечника проводят при помощи микроскопа в отраженном свете.
-
7.2.2 Снимают индентор (наконечник), следуя рекомендациям РЭ. Для осмотра рабочей части поверхности наконечника, прилегающей к его вершине, наконечник устанавливают на рабочий стол прибора вершиной вверх, рабочий стол поднимают и двигают таким образом, чтобы вершина алмаза, а затем прилегающие к вершине поверхности его граней были четко видимы.
-
7.2.3 Результаты поверки считать положительными, если рабочая часть наконечника не имеет рисок, трещин, сколов и других дефектов.
-
-
7.3 Опробование
-
7.3.1 Проверить работоспособность нанотвердомера в соответствии с главой 3.3 РЭ.
-
7.3.2 Результаты поверки считать положительными, если выполнены требования раздела
-
-
3.3 РЭ.
-
7.4 Определение погрешности измерений твёрдости нанотвердомером по шкалам инден-тирования и относительного СКО
-
7.4.1 Измерения проводить при той же нагрузке, для которой присвоено значение эталонной мере. На каждой из мер (п. 2.1) провести по 15 измерений. Определить среднее арифметическое значение Н|тср и занести его в протокол (Приложение А).
-
Вычислить погрешность нанотвердомера по формуле (1):
A = HiTcp - Нцн, (1)
где Нцср - среднее значение твердости меры, измеренное нанотвердомером; Нцн - значение твердости меры, присвоенное поверяющей организацией.
Результаты измерений занести в протокол (Приложение А).
-
7.4.2 Поверку нанотвердомера выполнить при нагрузках: 1 мН; 10 мН; 100мН (шкалы: Ни 0,001/30/10/30, Hit 0,01/30/10/30, Hit 0,1/30/10/30) - для меры твёрдости из поликарбоната; 1 мН; 10 мН; ЮОмН; 500мН (шкалы: Н1Т 0,001/30/10/30, Н,т 0,01/30/10/30, Н1Т 0,1/30/10/30, Н1Т 0,5/30/10/30) - для меры твёрдости из плавленого кварца; 5 мН; 10 мН; 100 мН; 500 мН (шкалы: Hit 0,005/30/10/30, Н,т 0,01/30/10/30, Н,т 0,1/30/10/30, Н1Т 0,5/30/10/30) - для меры твёрдости из сапфира.
Примечание:
Допускается проведение поверки при других нагрузках, используемых в нанотвердомере.
-
7.4.3 Относительное СКО нанотвердомера определять по формуле 2:
v = (S/ Н,тсР)х ЮО % , (2)
Где S - среднеквадратическое отклонение ряда из 15 измерений твёрдости по шкалам ин-дентирования. Относительное СКО определять для каждой шкалы.
-
7.4.4 Результаты поверки считать положительными, если значения погрешности и относительного СКО находятся в пределах, указанных в таблице 3. В противном случае выдаётся свидетельство о непригодности.
Таблица 3
Шкалы твердости |
Диапазон измерений твёрдости Hit |
Пределы допускаемой погрешности измерений твёрдости нанотвердомерами |
Относительное СКО |
Hit |
от 0,1 до 70 |
±0,1 Hit |
5% |
Примечание 1: данные метрологические характеристики определены для максимальных глубин внедрения наконечника не менее 20 нм Примечание 2: Hit - измеренное число твёрдости индентирования Примечание 3: Числа твёрдости индентирования вычисляются в Гпа Примечание 4. Метрологические характеристики действительны для 15 измерений |
7.5 Идентификация программного обеспечения (ПО)
-
7.5.1 Идентификация ПО осуществляется в соответствии с разделом 3.3 РЭ.
-
7.5.2 Результаты проверки считать положительными, если идентификационные данные
ПО соответствуют данным, приведенным в таблице 3. Таблица 3
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
Идентификационное наименование ПО |
NanoScan Device |
NanoScan Viewer |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
200 и выше |
200 и выше |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
- |
-
8.1 Результаты периодической поверки оформить в порядке, установленном приказом Минпромторга России от 02 июля 2015 г. № 1815 «Об утверждении Порядка проведения поверки средств измерений, требования к знаку поверки и содержанию свидетельства о поверке».
-
8.2 Нанотвердомеры, не прошедшие поверку, к эксплуатации не допускаются. На них выдается извещение о непригодности с указанием причины непригодности согласно приказу Минпромторга России от 02 июля 2015 г. № 1815 «Об утверждении Порядка проведения поверки средств измерений, требования к знаку поверки и содержанию свидетельства о поверке».
Начальник НИО-3 ФГУП «ВНИИФТРИ»
Ведущий инженер НИО-3
ФГУП «ВНИИФТРИ»
Э.Г. Асланян
М.А. Васенина
Приложение А
(обязательное)
Форма протокола поверки
Протокол №______
поверки нанотвердомера_________________
Температура: °C
Относительная влажность: %
Дата:
Заводской №_______________
Средства поверки: Эталонные меры твердости
Наименование меры |
Номер меры |
Значения твердости меры (по свидетельству о поверке) |
Шкалы твердости Нц |
Мера твердости по шкалам ин-дентирования из поликарбоната |
Ни 0,001/30/10/30 | ||
Hit 0,01/30/10/30 | |||
HIT 0,1/30/10/30 | |||
Мера твердости по шкалам ин-дентирования из плавленого кварца |
Hit 0,001/30/10/30 | ||
Hit 0,01/30/10/30 | |||
HIT 0,1/30/10/30 | |||
Hit 0,5/30/10/30 | |||
Мера твердости по шкалам ин-дентирования из сапфира |
H1T 0,005/30/10/30 | ||
HIT 0,01/30/10/30 | |||
HIT 0,1/30/10/30 | |||
Hit 0,5/30/10/30 |
Таблица 1 Результаты измерений
Номинальное значение твердости меры |
Номер меры |
Среднее значение 15 из мерений |
CKO ряда из 15 измерений |
Погрешность измерения твёрдости Hit |
Относительное СКО, % |
HiTcp | |||||
Нанотвердомер является пригодным (непригодным) к применению.
Выдано свидетельство о поверке №____________от "____"______________20____г.
Срок действия свидетельства до______________________________
Поверитель_______________________________________________