Методика поверки «ГСИ. Вакуумметры электронные со встроенным дисплеем MP2AR, MP4AR и МХ4А» (РТ-МП-2439-443-2016)
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПОТЕХН ИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ «ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕГИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР СТАНДАРТИЗАЦИИ.
МЕТРОЛОГИИ И ИСПЫТАНИЙ В Г. МОСКВЕ»
(ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА»)
УТВЕРЖДАЮ
2016 г.
директора Москва»
Мории
Государственная система обеспечения единства измерений
Вакуумметры электронные со встроенным дисплеем MP2AR, MP4AR и МХ4А
Методика поверки РТ-МП-2439-443-2016
д.ь G5I92H6г. Москва 2016
Настоящая методика поверки распространяется на вакуумметры электронные со встроенным дисплеем MP2AR, MP4AR и МХ4А, изготовленные Televac a Division of the Fredericks Company, США, и устанавливает порядок проведения их первичной и периодической поверок (далее по тексту - вакуумметры).
Интервал между поверками 12 месяцев.
1 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИПри проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1 - Операции поверки
Наименование операции |
Номер пункта НД по поверке |
Обязательность проведения операции при: | |
первичной поверке |
периодической поверке | ||
1 Внешний осмотр |
7.1 |
Да |
Да |
2 Проверка программного обеспечения |
7.2 |
Да |
Да |
3 Определение относительной погрешности |
7.3 |
Да |
Да |
2 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
При проведении поверки применяют средства измерений и вспомогательные устройства, указанные в таблице 2.
Таблица 2 - Средства измерений
Наименование средства поверки |
Характеристики |
1 |
2 |
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 |
Диапазон измерения абсолютного давления от 1 • 10’5 до 1 • 103 Па, с допускаемой относительной погрешностью ± 10 % в диапазоне от 1 • 10'1 2 до 1 • 103 Па и ± 15 % в диапазоне от 1 • 10’5 до 1 • 10’2 Па |
Калибратор-контроллер давления PPC4-A100KS |
Диапазон измерения абсолютного давления от 0 до 110 кПа, с допускаемой относительной погрешностью ± 0,01 % |
Мультиметр цифровой 34401А |
Диапазон измерения напряжения постоянного тока до 10 В, с относительной погрешностью ± (0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений) |
Источник питания постоянного тока Б5-93 |
Наибольшее значение напряжения 50, с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ± (0,00Ш+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ± (0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В |
Измеритель температуры многоканальный прецизионный МИТ 8.10 |
Диапазон от минус 200 до плюс 962 °C, At = ± (0,004 + 10’5-|t|) °C |
Термометр сопротивления платиновый вибропрочный эталонный ПТСВ-1-2 |
Диапазон от минус 50 до плюс 450 °C, 2 разряд |
Примечания:
3 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙК проведению поверки допускаются лица, ознакомленные с руководством по эксплуатации вакуумметров и прошедшие инструктаж по технике безопасности.
4 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИПеред поверкой проводится проверка соблюдения условий поверки и выполнения требований безопасности, установленных в эксплуатационной документации на средства измерения и вспомогательную аппаратуру.
5 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИПри проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:
-
- температура окружающего воздуха (25 ± 10) °C;
-
- относительная влажность от 30 до 80 %;
-
- атмосферное давление должно быть от 84 до 106,7 кПа;
-
- напряжение питания должно быть не более 24 В.
Должны отсутствовать внешние электрические и магнитные поля, влияющие на работу вакуумметров.
6 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ-
6.1 Для проведения поверки представляют следующую документацию:
-
- руководство по эксплуатации вакуумметров;
-
- свидетельство о предыдущей поверке вакуумметров (при периодической и внеочередной поверке).
-
6.2 Перед проведением поверки выполняют следующие подготовительные работы:
-
- средства поверки выдерживают в условиях и в течение времени, установленных в нормативных документах на средства поверки;
-
- все средства измерений, которые подлежат заземлению, должны быть надежно заземлены, подсоединение зажимов защитного заземления к контуру заземления должно производиться ранее других соединений, а отсоединение - после всех отсоединений.
-
7 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
-
7.1.1 При внешнем осмотре должно быть установлено:
-
- отсутствие механических повреждений на корпусе и дисплее вакуумметра, влияющих на его эксплуатационные свойства;
-
- наличие на корпусе вакуумметра наименования компании изготовителя и заводского номера
-
7.1.2 Вакуумметры, забракованные при внешнем осмотре, дальнейшей поверке не подлежат.
После включения вакуумметра проверяются идентификационные данные программного обеспечения (идентификационное наименование программного обеспечения и номер версии (идент. номер) программного обеспечения)
Таблица 3
Идентификационные данные (признаки) программного обеспечения |
Вакуумметры электронные со встроенным дисплеем | ||
MP2AR |
MP4AR |
МХ4А | |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
«MP2AR Firmware» |
«MP4AR Firmware» |
«МХ4А Firmware» |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
V2.52 |
V2.54 |
V141111 |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
0x8526FE2F |
0xl232FDlC |
0x8526FE2F |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного |
CRC32 |
CRC32 |
CRC32 |
Если идентификационные данные (наименование программного обеспечения и номер версии) не совпадают с данными, указанными в описание типа, методике поверки и руководстве по эксплуатации, дальнейшую поверку не проводят.
7.3 Определение относительной погрешностиПрисоединить поверяемый вакуумметр к установке вакуумметрической эталонной, обеспечивающей получение остаточного давления 1 • 10"4 Па и регулирование давлений в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра. Допускается проводить поверку вакуумметра в статическом режиме, т.е. без откачки камеры в момент установления измеряемого давления. Подсоединить к поверяемому вакуумметру источник питания постоянного тока и мультиметр цифровой. Схема включения вакуумметров MP2AR и MP4AR для измерения аналогового выходного сигнала при проведении поверки приведена на рисунке 1, а схема включения вакуумметра МХ4А приведена на рисунке 2.
-
1. Питание 24 В
-
2. Вывод линейного сигнала (логарифмического для соответствующей модели MP4AR)
-
3. Вывод нелинейного сигнала
Рисунок 1- Схема включения вакуумметров MP2AR и MP4AR
13 —
14—
15 •
-
1. Питание 24 В
-
2. Вывод аналогового сигнала
Рисунок 2 - Схема включения вакуумметра МХ4А
Относительную погрешность вакуумметров MP2AR и MP4AR определяют только по показаниям аналогового сигнала, а относительную погрешность вакуумметров МХ4А определяют как по показаниям аналогового сигнала, так и по показаниям встроенного дисплея.
С помощью натекателя осуществить регулируемую подачу газа в измерительную камеру. В диапазоне давлений поверяемого вакуумметра дискретно устанавливают поверочные точки, располагая их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее двух точек в пределах каждой декады давлений диапазона измерения. Поверку вакуумметра производить во всем диапазоне измерений.
После установления в каждой поверочной точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности показаний эталона в течение 30 секунд, с отклонением 0,3 относительной погрешности, одновременно снимаются показания с эталонного СИ и мультиметра цифрового, подключённого к поверяемому СИ.
Значение аналогового выходного сигнала, соответствующего измеряемому параметру для вакуумметров MP2AR, приведены в таблице 4, а для вакуумметров MP4AR - в таблице 5.
Таблица 4
Значение давления, задаваемое эталоном, Па (мм рт.ст.) |
Значение напряжения, соответствующее задаваемому эталоном абсолютному давлению, В | |
для вакуумметров с линейным аналоговым выходным сигналом |
для вакуумметров с нелинейным аналоговым выходным сигналом | |
1 |
2 |
3 |
1,33-10’* (1,0-10'3) |
0,01 |
9,84 |
6,67-10'* (5,0-10'3) |
0,05 |
9,41 |
2,67 10° (2,0-10'2) |
0,20 |
8,03 |
6,67 10° (5,0-10'2) |
0,50 |
6,13 |
1,20-10* (9,0-10'2) |
0,90 |
4,63 |
2,0010* (1,510'*) |
1,50 |
3,37 |
4,0010* (3,0-10'*) |
3,00 |
2,23 |
Окончание таблицы 4
1 |
2 |
3 |
6,6710* (5,0-Ю’1) |
5,00 |
1,67 |
1,33 1 02 (1,0-10°) |
10,00 |
1,26 |
2,67-Ю2 (2,0-10°) |
10,20 |
1,02 |
6,67 102 (5,0-10°) |
10,20 |
0,92 |
изю’адю1) |
10,20 |
0,90 |
2,67-103 (2,0-101) |
10,20 |
0,88 |
Таблица^.
Значение давления, задаваемое эталоном, Па (мм рт.ст.) |
Значение напряжения, соответствующее задаваемому эталоном абсолютному давлению, В | ||
для вакуумметров с линейным аналоговым выходным сигналом |
для вакуумметров с нелинейным аналоговым выходным сигналом |
для вакуумметров с логарифмическим аналоговым выходным сигналом | |
1,33-Ю’1 (1,0-Ю'3) |
0,01 |
0,10 |
0,00 |
6,67-Ю'1 (5,0 10’3) |
0,05 |
0,06 |
0,70 |
2,67-10° (2,0-Ю'2) |
0,20 |
0,24 |
1,30 |
5,33 -10° (4,0-Ю'2) |
0,40 |
0,45 |
1,60 |
8,00-10° (6,0-Ю'2) |
0,60 |
0,64 |
1,78 |
1,07-Ю1 (8,0-Ю'2) |
0,80 |
0,82 |
1,90 |
2,67-Ю1 (2,0-Ю'1) |
2,00 |
1,67 |
2,30 |
6,6710* (5,0-Ю’1) |
5,00 |
2,99 |
2,70 |
1,02-Ю2 (8,0-Ю'1) |
8,00 |
3,84 |
2,90 |
2,67-Ю2 (2,0-10°) |
13,50 |
5,45 |
3,30 |
4,00-Ю3 (3,0-Ю1) |
13,50 |
7,84 |
4,48 |
5,67-Ю3 (5,0-Ю1) |
13,50 |
7,93 |
4,70 |
1,02-Ю4 (8,0101) |
13,50 |
8,01 |
4,90 |
4,00-Ю4 (3,0-Ю2) |
13,50 |
8,76 |
5,48 |
6,67-Ю4 (5,0-Ю2) |
13,50 |
9,57 |
5,70 |
1,01-Ю5 (7,6-Ю2) |
13,50 |
10,00 |
5,80 |
1,33-Ю5 (1,0-Ю3) |
13,50 |
10,22 |
6,00 |
Относительную погрешность по аналоговому выходу у вакуумметров MP2AR и MP4AR
вычисляют по формуле (1)-
£= .loo (1)
иэт
где: 5 - относительная погрешность вакуумметра, %;
UU3M - показания аналогового выходного сигнала вакуумметра, В;
U3m - значение напряжения, соответствующее задаваемому эталоном абсолютному давлению, В.
Значение напряжения для вакуумметров МХ4А с логарифмическим аналоговым выходным сигналом переводится в давление по формуле (2) или берётся из графика изображённого на рисунке 3 -
Р = 133,332 ■ (Юб<и_5)) или р =10б(и’5) (2)
Значение напряжения для вакуумметров МХ4А с линейным аналоговым выходным сигналом по десяткам переводится в давление по формуле (3) или берётся из графика изображённого на рисунке 3 -
Р = 133.332 - (10(А~6) - О, BCD) ИЛИ р = 10<?f_6) - О, BCD (3)
где: Р - значение абсолютного давления, полученное расчётным путём, Па (мм рт.ст.); Vи A,BCD - значение аналогового выходного сигнала вакуумметра, В.
Значение давления для вакуумметров МХ4А с нелинейным и линейным аналоговым выходным сигналом берётся из графика изображённого на рисунке 3.
Логарифмический
Линейный 1
Линейный 4
Давление (торр)
---Нелинейный
1 ........Линейный 2
Линейный по десяткам
Линейный 3
Рисунок 3
График функций аналогового выхода вакуумметра МХ4А
Относительную погрешность для вакуумметра МХ4А вычисляют по формуле (4) -
Р-Р
3 =----^-100 (4)
Рзт
где: 5 - относительная погрешность вакуумметра, %;
Р - расчётное значение абсолютного давления, Па (мм рт.ст.);
Рэт - значение абсолютного давления, задаваемое эталоном, Па (мм рт.ст.).
Относительную погрешность по встроенному дисплею вакуумметра МХ4А вычисляют
лист № 8 Всего листов 8 по формуле (5) -
р - Р
-
8 = —--—100 (5)
где: 5 - относительная погрешность вакуумметра. %;
Ризм - показания вакуумметра. Па (мм рт.ст.).
Рзт - значение абсолютного давления, задаваемое эталоном. Па (мм рт.ст.).
Значение относительной погрешности вакуумметра не должно превышать значения допускаемой погрешности, приведённой в описание типа на прибор.
8 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ-
8.1 Результаты поверки заносят в протокол поверки произвольной формы.
-
8.2 При положительных результатах поверки на вакуумметр выписывают свидетельство о поверке в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815. На свидетельство о поверке наносится знак поверки в виде оттиска поверительного клейма.
-
8.3 При отрицательных результатах поверки датчик вакуумный к дальнейшей эксплуатации не допускают и на него выдают извещение о непригодности в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815.
А.В. Болотин
Д.А. Денисов
Главный специалист по метрологии лаборатории № 443 ФБУ "Ростест-Москва"
Заместитель
начальника лаборатории № 443 ФБУ "Ростест-Москва"
Все средства измерений, применяемые при поверке, должны иметь действующие свидетельства о поверке.
Допускается применение других средств измерений с метрологическими характеристиками, не хуже указанных, и разрешенных к применению в Российской Федерации.