Методика поверки «Комплекс специализированный метрологический СпМК» (МП 2511/0009-15)

Методика поверки

Тип документа

Комплекс специализированный метрологический СпМК

Наименование

МП 2511/0009-15

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

УТВЕРЖДАЮ

ФГУП

Ханов

2015 г.

Комплекс специализированный метрологический СпМК

Методика поверки

МП 2511/0009-15

И.р. руководителя отдела метрических измерений

Н.А. Кононова

2015 г.

1 Общие положения

Настоящая методика распространяется на комплекс специализированный метрологический СпМК, изготавливаемый АО «НИИ ТП», г. Москва, (далее СпМК) и устанавливает методы и средства его первичной и периодической поверок.

  • 1.2. Интервал между поверками - 1 год.

2 Операции поверки
  • 2.1. При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операции

№ п.

МП

Проведение операции при поверке

Первичной

Периодической

Внешний осмотр

4.1

+

+

Опробование

4.2

+

+

Подтверждение соответствия программного обеспечения

4.3

+

+

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности пьезоплатформы Р-611.1 .S

4.4

+

-

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности измерений перемещений

4.5

+

+

  • 2.2. При проведении поверки СпМК должны применяться средства измерений, указанные в таблице 2.

Таблица 2

Номер пункта методики поверки

Наименование эталонного средства измерения или вспомогательного средства поверки, номер документа регламентирующего технические требования, метрологические и основные технические характеристики

4.4

Компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01-2010 из состава Государственного первичного эталона единицы длины - метра ГЭТ 2-2010.

4.5

Пьезоплатформа Р-611.1 .S из состава наностола СпМК.

  • 2.3. Допускается применение средств поверки, не указанных в таблице 2, при условии, что они обеспечивают требуемую точность измерений.

  • 2.4. Требования безопасности.

  • 2.4.1. При проведении поверки необходимо соблюдать правила безопасности труда и пожарной безопасности, действующие на предприятии, а также требования безопасности, изложенные в технической документации АО «НИИ ТП», г. Москва.

  • 2.5. Условия поверки.

  • 2.5.1. При проведении поверки должны быть соблюдены нормальные условия

измерений:

температура окружающей среды, °C.......................................20±0,3;

относительная влажность воздуха, %....................................60±20;

атмосферное давление, кПа...............................................101.3±4.

3. Подготовка к проведению поверки
  • 3.1. Перед проведением поверки необходимо ознакомиться с технической документацией АО «НИИ ТП», г. Москва.

  • 3.2. Выдержать СпМК не менее 24 часов при условиях, указанных выше.

  • 4. Проведение поверки

4.1. Внешний осмотр

Внешний осмотр и проверка комплектности.

При внешнем осмотре должно быть установлено:

  • -    комплектность СпМК в соответствии с технической документацией;

  • -    отсутствие механических повреждений, влияющих на правильность его функционирования и метрологические характеристики;

  • -     наличие маркировки.

4.2. Опробование

При опробовании проверяют функционирование СпМК в соответствии с требованиями, изложенными в документах «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ», «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

4.3. Подтверждение соответствия программного обеспечения

Для идентификации программного обеспечения (далее — ПО) включают СпМК в соответствии с документами «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ», «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

Идентификация ПО LIDM по номеру версии выполняется в окне «Свойства» файла LIDM.exe.

Идентификационные данные ПО должны соответствовать приведенным в таблице 3.

Таблица 3

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

LIDM

Номер версии (идентификационный номер) ПО*

1.0.0.0

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

9АС60В26

(рассчитан по алгоритму CRC 32)

4.4. Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы Р-611.1.S

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы Р-611.1. S (далее пьезоплатформа) проводят с помощью компаратора лазерного интерференционного для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01-2010 из состава Государственного первичного эталона единицы длины - метра ТЭТ 2-2010 (далее компаратор).

  • 4.4.1. С помощью контроллера E-665.SR в окне программы PIMikroMove последовательно задают перемещения от 0 до 100 мкм с шагом 10 мкм и одновременно проводят измерения заданных перемещений, используя компаратор. Данные измерения проводят не менее пяти раз.

  • 4.4.2. С помощью контроллера E-665.SR задают перемещения от 0 до 1 мкм с шагом 0,1 мкм и одновременно проводят измерения заданных перемещений, используя компаратор. Данные измерения проводят в начале, середине и конце диапазона перемещений пьезоплатформы, каждое из которых не менее пяти раз.

Действительные значения перемещений в каждой точке определяют по формуле

1 "

1д =-УЧ , мкм,

где /, - измеренное перемещение, мкм;

п - количество измерений.

Абсолютную погрешность измерений в каждой точке определяют по формуле

\lj = (lKj       1000, нм,

где lKj - показания компаратора, мкм.

Диапазон перемещений пьезоплатформы Р-611.1. S должен составлят от 0 до 100-10'1 2 3 4 м.

Абсолютная погрешности перемещений пьезоплатформы Р-611.1.S не должна превышать ± 2 нм.

4.5. Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности измерений перемещений

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности измерений перемещений проводят, используя в качестве меры сравнения пьезоплатформу Р-611.1 из состава наностола СпМК. Для этого последовательно задают перемещения пьезоплатформы от 5 до 1000 нм с шагом 0,1 мкм. Данные измерения проводят в начале, середине и конце диапазона перемещений пьезоплатформы, каждое из которых не менее пяти раз. Затем задают перемещение в противоположном направлении и повторяют процедуру.

При проведении измерений строго соблюдают методику измерений, описанную в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

Погрешность измерений перемещений в каждой точке определяют по формуле

= (х, -х0,.)-х„е/,.,нм,

где х0. - показания интерферометра до перемещения, нм;

х(. - показания интерферометра после перемещения, нм;

х - заданное перемещение.

Абсолютную погрешность измерений перемещений определяют по формуле

Аху =-^Дх, нм,

Z 7=1

где z - количество серий измерений.

Диапазон измерений перемещений должен составлять от 5 -10'5 до 1 • 10'2 м.

Абсолютная погрешность измерений перемещений не должна превышать ±5 нм.

Приложение А

Форма протокола поверки (рекомендуемая)

Протокол №__________

Комплекс специализированный метрологический СпМК

Зав. №_________________________________________________________

Дата поверки____________________________________________________

Методика поверки_____________________________________________

Средства поверки

Наименование средства поверки, его заводской номер_______________

Условия проведения поверки

Температура окружающего воздуха________________________

Относительная влажность воздуха__________________________________

Атмосферное давление______________________________________

Результаты поверки

Внешний осмотр____________________________________________

Опробование__________________________________________________

Результаты идентификации ПО____________________________________

Определение метрологических характеристик

Диапазон и абсолютная погрешность перемещений пьезоплатформы

Р-611.1 .S___________________________________________________________________

Диапазон и абсолютная погрешность_________________________________

Комплекс специализированный метрологический СпМК

5

1

Оформление результатов поверки

2

Результаты поверки СпМК оформляются протоколом установленной формы

3

(приложение А). В случае положительных результатов выдается свидетельство о

4

поверке. Знак поверки наносится на интерферометр.

5

В случае отрицательных результатов по любому из вышеперечисленных пунктов СпМК признается непригодным к применению. На него выдается извещение о непригодности с указанием причин.

(годен, не годен, указать причины)

Поверитель________________________________________ _______

(фамилия, имя, отчество)                                (подпись)

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель