Методика поверки «Комплекс специализированный метрологический СпМК» (МП 2511/0009-15)

УТВЕРЖДАЮ

ФГУП

Ханов

2015 г.

Методика поверки

МП 2511/0009-15

И.р. руководителя отдела метрических измерений

2015 г.

Настоящая методика распространяется на комплекс специализированный метрологический СпМК, изготавливаемый АО «НИИ ТП», г. Москва, (далее СпМК) и устанавливает методы и средства его первичной и периодической поверок.

• 1.2. Интервал между поверками - 1 год.

• 2.1. При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

• 2.2. При проведении поверки СпМК должны применяться средства измерений, указанные в таблице 2.

Таблица 2

• 2.3. Допускается применение средств поверки, не указанных в таблице 2, при условии, что они обеспечивают требуемую точность измерений.

• 2.4. Требования безопасности.

• 2.4.1. При проведении поверки необходимо соблюдать правила безопасности труда и пожарной безопасности, действующие на предприятии, а также требования безопасности, изложенные в технической документации АО «НИИ ТП», г. Москва.

• 2.5. Условия поверки.

• 2.5.1. При проведении поверки должны быть соблюдены нормальные условия

измерений:

температура окружающей среды, °C.......................................20±0,3;

относительная влажность воздуха, %....................................60±20;

атмосферное давление, кПа...............................................101.3±4.

• 3.1. Перед проведением поверки необходимо ознакомиться с технической документацией АО «НИИ ТП», г. Москва.

• 3.2. Выдержать СпМК не менее 24 часов при условиях, указанных выше.

• 4. Проведение поверки

Внешний осмотр и проверка комплектности.

При внешнем осмотре должно быть установлено:

• -    комплектность СпМК в соответствии с технической документацией;

• -    отсутствие механических повреждений, влияющих на правильность его функционирования и метрологические характеристики;

• -     наличие маркировки.

При опробовании проверяют функционирование СпМК в соответствии с требованиями, изложенными в документах «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ», «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

Для идентификации программного обеспечения (далее — ПО) включают СпМК в соответствии с документами «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ», «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

Идентификация ПО LIDM по номеру версии выполняется в окне «Свойства» файла LIDM.exe.

Идентификационные данные ПО должны соответствовать приведенным в таблице 3.

Таблица 3

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы Р-611.1. S (далее пьезоплатформа) проводят с помощью компаратора лазерного интерференционного для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01-2010 из состава Государственного первичного эталона единицы длины - метра ТЭТ 2-2010 (далее компаратор).

• 4.4.1. С помощью контроллера E-665.SR в окне программы PIMikroMove последовательно задают перемещения от 0 до 100 мкм с шагом 10 мкм и одновременно проводят измерения заданных перемещений, используя компаратор. Данные измерения проводят не менее пяти раз.

• 4.4.2. С помощью контроллера E-665.SR задают перемещения от 0 до 1 мкм с шагом 0,1 мкм и одновременно проводят измерения заданных перемещений, используя компаратор. Данные измерения проводят в начале, середине и конце диапазона перемещений пьезоплатформы, каждое из которых не менее пяти раз.

Действительные значения перемещений в каждой точке определяют по формуле

1 "

1_д =-УЧ , мкм,

где /, - измеренное перемещение, мкм;

п - количество измерений.

Абсолютную погрешность измерений в каждой точке определяют по формуле

\lj = (l_Kj       1000, нм,

где l_Kj - показания компаратора, мкм.

Диапазон перемещений пьезоплатформы Р-611.1. S должен составлят от 0 до 100-10'^{1 2 3 4} м.

Абсолютная погрешности перемещений пьезоплатформы Р-611.1.S не должна превышать ± 2 нм.

Определение диапазона перемещений и абсолютной погрешности измерений перемещений проводят, используя в качестве меры сравнения пьезоплатформу Р-611.1 из состава наностола СпМК. Для этого последовательно задают перемещения пьезоплатформы от 5 до 1000 нм с шагом 0,1 мкм. Данные измерения проводят в начале, середине и конце диапазона перемещений пьезоплатформы, каждое из которых не менее пяти раз. Затем задают перемещение в противоположном направлении и повторяют процедуру.

При проведении измерений строго соблюдают методику измерений, описанную в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1».

Погрешность измерений перемещений в каждой точке определяют по формуле

= (х, -х₀,.)-х„_е/,.,нм,

где х₀. - показания интерферометра до перемещения, нм;

х₍. - показания интерферометра после перемещения, нм;

х - заданное перемещение.

Абсолютную погрешность измерений перемещений определяют по формуле

Ах_у =-^Дх_/у, нм,

^Z 7=1

где z - количество серий измерений.

Диапазон измерений перемещений должен составлять от 5 -10'⁵ до 1 • 10'² м.

Абсолютная погрешность измерений перемещений не должна превышать ±5 нм.

Приложение А

Форма протокола поверки (рекомендуемая)

Протокол №__________

Комплекс специализированный метрологический СпМК

Зав. №_________________________________________________________

Дата поверки____________________________________________________

Методика поверки_____________________________________________

Средства поверки

Наименование средства поверки, его заводской номер_______________

Условия проведения поверки

Температура окружающего воздуха________________________

Относительная влажность воздуха__________________________________

Атмосферное давление______________________________________

Результаты поверки

Внешний осмотр____________________________________________

Опробование__________________________________________________

Результаты идентификации ПО____________________________________

Определение метрологических характеристик

Диапазон и абсолютная погрешность перемещений пьезоплатформы

Р-611.1 .S___________________________________________________________________

Диапазон и абсолютная погрешность_________________________________

Комплекс специализированный метрологический СпМК

5

¹

Оформление результатов поверки

²

Результаты поверки СпМК оформляются протоколом установленной формы

³

(приложение А). В случае положительных результатов выдается свидетельство о

⁴

поверке. Знак поверки наносится на интерферометр.

⁵

В случае отрицательных результатов по любому из вышеперечисленных пунктов СпМК признается непригодным к применению. На него выдается извещение о непригодности с указанием причин.

(годен, не годен, указать причины)

Поверитель________________________________________ _______

(фамилия, имя, отчество)                                (подпись)