Методика поверки «ГСИ. Датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25» (РТ-МП-2953-443-2015)

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ «ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕГИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И ИСПЫТАНИЙ В Г. МОСКВЕ» (ФБУ «РОСТЕСТ - МОСКВА»)

УТВЕРЖДАЮ

Государственная система обеспечения единства измерении

Датчик вакуумный инверсно-магнегронный AIM-X-NW25

Методика поверки

РТ-М П-2953-443-2015

г. Москва 2016

Настоящая методика поверки распространяется на датчик вакуумный инверсномагнетронный AIM-X-NW25 и устанавливает порядок проведения первичной и периодической поверок (далее по тексту - датчик вакуумный).

Интервал между поверками 12 месяцев.

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Опера11ни поверки

При проведении поверки применяют средства измерений и вспомогательные устройства, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства измерений

Примечания:

• 1   Все средства измерений, применяемые при поверке, должны иметь действующие свидетельства о поверке.

• 2  Допускается применение других средств измерений с метрологическими характеристиками, не хуже указанных, и разрешенных к применению в Российской Федерации.

К проведению поверки допускаются лица, прошедшие обучение по специализации «Поверка средств измерений давления и вакуумных измерений», ознакомленные с руководством по эксплуатации вакуумметров и прошедшие инструктаж по технике безопасности.

Перед поверкой проводится проверка соблюдения условий поверки и выполнения требований безопасности, установленных в эксплуатационной документации на средства измерения и вспомогательную аппаратуру.

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающего воздуха (25 ± 10) °C;

• - относительная влажность от 30 до 80 %;

• - напряжение питания должно быть от 13.5 до 36 В.

Должны отсутствовать внешние электрические и магнитные поля, влияющие на работу вакуумметров.

• 6.1 Для проведения поверки представляют следующую документацию:

• - руководство по эксплуатации датчиков вакуумных;

• - свидетельство о предыдущей поверке датчика вакуумного (при периодической и внеочередной поверке).

• 6.2 Перед проведением поверки выполняют следующие подготовительные работы:

• - средства поверки выдерживают в условиях и в течение времени, установленных в нормативных документах на средства поверки;

• - все средства измерений, которые подлежат заземлению, должны быть надежно заземлены, подсоединение зажимов защитного заземления к контуру заземления должно производиться ранее других соединений, а отсоединение - после всех отсоединений.

• 7 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 7.1.1 При внешнем осмотре должно быть установлено:

• - отсутствие механических повреждений на корпусе и дисплее датчика вакуумного, влияющих на его эксплуатационные свойства;

• - наличие на корпусе датчика вакуумного наименования фирмы изготовителя и заводского номера

• 7.1.2 Датчик вакуумный, забракованный при внешнем осмотре, дальнейшей поверке нс подлежит.

Присоединить поверяемый датчик вакуумный к установке вакуумметрической эталонной, обеспечивающей получение остаточного давления З Ю¹" гПа (310'^к Па) и регулирование давлений в пределах диапазона измерений поверяемого датчика вакуумного. Поверку вакуумметра, в диапазоне измерений давления свыше ldO^-4 гПа допускается производить в статическом режиме, т.е. без откачки камеры в момент установления измеряемого давления. В остальных случаях поверку следует выполнять в динамическом режиме, т.е. при непрерывной откачке камеры. Положение вакуумметра в пространстве должно учитывать указания, имеющиеся в технической документации на него.

лист № 4 Всего листов 5 Подсоединить к поверяемому датчику вакуумному источник питания постоянного тока и мультиметр цифровой. По установке вакуумметрической эталонной на входе датчика вакуумного устанавливают измеряемый параметр, равный номинальному, а по мультиметру цифровому измеряют значение выходного сигнала.

Схема включения датчика вакуумного для измерения выходного сигнала при проведении поверки приведена на рисунке 1.

• 1. Электрический разъем датчика вакуумного

• 2. Разъем электрического кабеля

• 3. Источник питания постоянного тока

• 4. Мультиметр цифровой

• 5. Реле п.т. (дополнительно)

• 6. Диод защиты от выбросов напряжения обратной полярности (дополнительно)

• 7. Ключ включения датчика вакуумного

• 8. Вольтметр (уровень блокировки, дополнительно)

Рисунок 1. Рекомендуемая схема подключения датчика вакуумного

С помощью натекателя осуществить регулируемую подачу газа в измерительную камеру. В диапазоне давлений поверяемого датчика вакуумного от 1О‘^Ч до 10'² гПа дискретно устанавливают поверочные точки, располагая их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее трех точек в пределах каждой декады давлений диапазона измерения. Поверку датчика вакуумного производить во всем диапазоне измерений.

После установления в каждой поверочной точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности показаний эталона в течение 30 секунд, с отклонением 0,3 относительной погрешности, одновременно снимаются показания с эталонного СИ и мультиметра цифрового, подключённого к испытуемому СИ.

Значение аналогового выходного сигнала переводится в давление по формуле -

1Л(7 «Г-10.75)

где: Р- значение абсолютного давления, полученное расчётным путём, гПа: Г- значение аналогового выходного сигнала датчика вакуумного. В.

Относительную погрешность вычисляют по формуле -

•100%

где: у — относительная погрешность датчика вакуумного, %;

Р_эт - значение абсолютного давления, задаваемое эталоном. гПа;

Значение относительной погрешности датчика вакуумного не должно превышать значения приведённой в описании типа на прибор.

• 8.1 Результаты поверки заносят в протокол поверки произвольной формы.

• 8.2 При положительных результатах поверки на датчик вакуумный выписывают свидетельство о поверке в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815. При первичной поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма, а при периодической поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма и голографической наклейки, на свидетельство о поверке.

• 8.3  При отрицательных результатах поверки датчик вакуумный к дальнейшей эксплуатации не допускают и на него выдают извещение о непригодности в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815.

Заместитель начальника лаборатории № 443 ФБУ "Ростест-Москва"                 _z