Методика поверки «ГСИ. Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400» (РТ-МП-2594-443-2016)

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ II МЕТРОЛОГИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ «ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕГИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР СТАНДАРТИЗАЦИИ,

МЕТРОЛОГИИ И ИСПЫТАНИЙ В Г. МОСКВЕ»

(ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА»)

УТВЕРЖДАЮ Заместитель ге и е ра л ь и о го директора

ФБУ «Pot гесз-Москва»

—Е.В. Морин «25» января 2016 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400

Методика поверки

РТ-М П-2594-443-2016 г. Москва 2016

Настоящая методика поверки распространяется на вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400, изготовленных фирмой INF1CON, Лихтенштейн, в единичном экземпляре с заводскими номерами 4352. 4355 и 4418 и устанавливает порядок проведения их первичной и периодической поверок (далее по тексту - вакуумметры).

Интервал между поверками 12 месяцев.

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

При проведении поверки применяют средства измерений и вспомогательные устройства, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства измерений

Примечания:

• 1 Все средства измерений, применяемые при поверке, должны иметь действующие свидетельства о поверке.

• 2  Допускается применение других средств измерений с метрологическими характеристиками, не хуже указанных, и разрешенных к применению в Российской Федерации.

К проведению поверки допускаются лица, прошедшие обучение по специализации «Поверка средств измерений давления и вакуумных измерений», ознакомленные с руководством по эксплуатации вакуумметров и прошедшие инструктаж по технике безопасности.

Перед поверкой проводится проверка соблюдения условий поверки и выполнения требований безопасности, установленных в эксплуатационной документации на средства измерения и вспомогательную аппаратуру.

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающего воздуха (25 ± 10) °C;

• - относительная влажность от 30 до 80 %;

• - напряжение питания должно быть от 15 до 30 В.

Должны отсутствовать внешние электрические и магнитные поля, влияющие на работу вакуумметров.

• 6.1 Для проведения поверки представляют следующую документацию:

• - руководство по эксплуатации на вакуумметры;

• - свидетельство о предыдущей поверке вакуумметра (при периодической и внеочередной поверке).

• 6.2 Перед проведением поверки выполняют следующие подготовительные работы:

• - средства поверки выдерживают в условиях и в течение времени, установленных в нормативных документах на средства поверки;

• - все средства измерений, которые подлежат заземлению, должны быть надежно заземлены, подсоединение зажимов защитного заземления к контуру заземления должно производиться ранее других соединений, а отсоединение - после всех отсоединений.

• 7 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 7.1.1 При внешнем осмотре должно быть установлено:

• - отсутствие механических повреждений на корпусе вакуумметра, влияющих на его эксплуатационные свойства;

• - наличие на корпусе вакуумметра наименования фирмы изготовителя и заводского номера

• 7.1.2 Вакуумметр, забракованный при внешнем осмотре, дальнейшей поверке не подлежит.

Присоединить поверяемый вакуумметр к эталону, обеспечивающему получение остаточного давления 1.5-10'⁹ гПа (1.5 10’ Па) и регулирование давлений в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра. Поверку вакуумметра, в диапазоне измерений давления свыше 1-10”’ гПа. допускается производить в статическом режиме, т.е. без откачки камеры в

лист № 4 Всего листов 5 момент установления измеряемого давления. В остальных случаях поверку следует выполнять в динамическом режиме, т.е. при непрерывной откачке камеры. Положение вакуумметра в пространстве должно учитывать указания, имеющиеся в руководстве по эксплуатации на него.

Подсоединить к поверяемому вакуумметру источник питания постоянного тока и мультиметр цифровой. По установке вакуум метрической эталонной на входе вакуумметра устанавливают измеряемый параметр равный номинальному, а по мультиметру цифровому измеряют значение выходного сигнала.

Схема включения вакуумметра для измерения выходного сигнала при проведении поверки приведена на рисунке I.

I и 2 Выходы на источник питания постоянного тока

• 3 и 5 Выходы к мультиметру цифровому

Рисунок 1. Рекомендуемая схема подключения вакуумметра

С помощью натекателя осуществить регулируемую подачу газа в измерительную камеру. В диапазоне давлений поверяемого вакуумметра от 510’⁹ до ПУ’ гПа дискретно устанавливают поверочные точки, располагая их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее трех точек в пределах каждой декады давлений диапазона измерения. Поверку вакуумметров, по желанию заказчика, допускается производить как во всем диапазоне измерений, так и в сокращённом диапазоне измерений (от 5 10’⁹ до 110'² гПа или от 1-Ю’¹ до 110’ гПа). После установления в каждой поверочной точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности показаний эталона в течение 30 секунд, с отклонением 0,3 относительной погрешности, одновременно снимаются показания с эталонного СИ и мультиметра цифрового, подключённого к поверяемому СИ.

Значение аналогового выходного сигнала переводится в давление по формуле -

р _ |Q(1M?K-1I.33)

где: Р - значение абсолютного давления, полученное расчётным путём, гПа;

Г- значение аналогового выходного сигнала вакуумметра. В.

Относительную погрешность вычисляют по формуле -

Г =

■100%

где: у - относительная погрешность вакуумметра, %:

Р_)п, - значение абсолютного давления, задаваемое эталоном, гПа.

Значение относительной погрешности вакуумметра не должно превышать значения ± у. приведённой в описание типа на вакуумметр.

• 8.1 Результаты поверки заносят в протокол поверки произвольной формы.

• 8.2 При положительных результатах поверки на вакуумметр выписывают свидетельство о поверке в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815. При первичной поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма, а при периодической поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма и голо граф и ческой наклейки на свидетельство о поверке.

• 8.3 При отрицательных результатах поверки вакуумметр к дальнейшей эксплуатации не допускают и на него выдают извещение о непригодности в соответствии с приказом Минпромторга РФ от 02.07.15 № 1815.

  
  

  Айдаров

Начальника лаборатории № 443

ФБУ "Ростест-Москва"