Методика поверки «Интерферометр GPI XP/D фирмы Zygo Corporation, США» (Код не указан!)

ФГУП «ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ»

ФГУП «вниимс»

Ректор .

Университета ЙТМО

УТВЕРЖДАЮ Зам. директора «ВНИИМС» В.Н. Яншин 2015 г.

фирмы Zygo Corporation, США

л. р.№ (сдЁэАБ- 16

МОСКВА, 2015 г.

Настоящий документ распространяется на интерферометр GPI XP/D (далее по тексту - интерферометр), изготовленный фирмой Zygo Corporation, США и устанавливает методы и средства его первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год.

При проведении поверки должны выполняться операции, указанные в таблице 1. Таблица 1

Примечание: Допускается применять другие, вновь разработанные или находящиеся в применении средства поверки, удовлетворяющие по точности требованиям настоящей методики и прошедшие поверку в органах метрологической службы.

• 2.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

  • 2.1.1 Помещение, где производится поверка, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 95% при температуре (20±2)°С.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течении 1 ч не должны быть более ±1°С.

• 2.1.2 Частота возмущающих гармоничных вибраций, действующих на интерферометр, нс должна превышать 30 Гц. При частотах вибраций менее 1 Гц амплитуда виброперемещения нс должна превышать 0,3 мм.

Если показатели вибраций в помещении превышают указанные значения, интерферометр должен быть установлен на виброизолируемом фундаменте.

• 2.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен бы и. размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов.

• 2.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон.

• 2.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

К проведению поверки допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

• 4.1 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать “Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей” и ’’Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей”, а также требования ГОСТ 12.3.019.

• 4.2 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с “Санитарными правилами при работе с лазерами” № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040.

• 4.3 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004.

• 4.4 Работать на интерферометре без заземления запрещается - (зажим для подключения защитного заземления перед включением интерферометра в сеть необходимо соединить с общей шиной заземления). Подключение интерферометра к сети производить предварительно проверенным сетевым кабелем. Отсоединение и присоединение кабелей производить только при отсутствии питающих напряжений.

Перед проведением поверки должны быть выполнены следующие подготовительные работы:

• - проверить наличие действующих свидетельств о поверке на средства поверки;

• - интерферометр и средства поверки привести в рабочее состояние в соответствии с их эксплуатационной документацией;

• - интерферометр и средства поверки должны быть выдержаны на рабочем месте не менее 4 ч.

• 6. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 6.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть устаноалено соответствие интерферометра следующим требованиям:

• - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в руководстве по эксплуатации;

• - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

• - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

• - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

6.1.2. Результаты поверки интерферометра признаются положительными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствует требованиям технической документации.

Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с инструкцией по эксплуатации.

• 6.2.1 Собрать схему контроля в соответствии с рисунком 1.

• 6.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 6.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения.

• 6.2.4 Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра.

  
  

1- Блок интерферометра, 2-поверхность эталонной плоская пластина интерферометра. 3- поверхность контролируемой детали.

Рисунок 1. Схема контроля плоских поверхностей

• 6.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяем произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 6.3.1 Собрать схему контроля в соответствии с рисунком 1.

• 6.3.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 6.3.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечь НИЯ.

• 6.3.4 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программ программной' обеспечения. Полученное значение отклонений от плоскостности записать протокол. Провести нс менее 10 измерений. Вычислить среднее значение

• 6.3.5 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности определить по формуле:

— Х_п,

где х_ср - полученное среднее значение отклонений от плоскостности, х_п - паспортное значение отклонений от плоскостности меры.

• 6.3.6 Интерферометр считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от плоскостности не более 0,03 мкм.

Проверить идентификацию программного обеспечения (ПО) по следующей методике:

• - произвести запуск ПО;

• - проверить наименование программного обеспечения и определить его версию после загрузки ПО.

При положительных результатах поверки выдается протокол (приложение А) с указанием фактических результатов определения поверки и выдачей свидетельства по установленной форме, даты и имени поверителя, действующий протокол подтверждается клеймом.

При отрицательных результатах поверки выдается извещение о непригодности интерферометра с указанием причин.

Начальник отдела

ФГУП «ВНИИМС»

Мл. науч, сотрудник отдела 203.1

ФГУП «ВНИИМС»

Приложение А

1 .Поверяемый прибор: Интерферометр GPIXP/D          зав. №

(дата ввода в эксплуатацию или ремонта, предприятие-изготовитель)

2. Средства поверки:________________________________________________________________

(наименование, номер свидетельства о поверке)

3 .Результаты поверки

4. Условия поверки

Температура окружающего воздуха, °C____________

Относительная влажность воздуха, %________________

На основании результатов поверки выдано

Свидетельство (извещение о непригодности) №__________________

Поверитель Дата поверки