Методика поверки «ТЕЧЕИСКАТЕЛИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЕ ГЕЛИЕВЫЕ LDS3000, MODUL1000» (МП 231-0031-2015)

УТВЕРЖДАЮ

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0031-2015

Руководитель отдела

ФГУП «В НИ ИМ им. Д.И. Менделеева"

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LDS3000, Moduli ООО (далее по тексту - течеискатели) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1, п.8.2, п.8.3 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений и эталоны, указанные в таблице 1

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

• 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

• 3.4 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.5 Допускается применять другие эталоны с точностными характеристиками, превышающими характеристики поверяемого течеискателя не менее чем в 2 раза.

• 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на государственном вторичном (рабочем) эталоне единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

• 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-22006 и поверяемый течеискатель.

• 5.1 При поверке течейскателей должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                    20±2

• - относительная влажность воздуха, %                      60±20

• - атмосферное давление, кПа                               от 84 до 106,7

• 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

• 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

• 7.3 Проверить работоспособность государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

• 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (РЭ) на поверяемый течеискатель соответствующего исполнения.

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.

• 8.3.1 Определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя Moduli ООО.

  • 8.3.1.1 Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

  • 8.3.1.2 Перейти в пункт меню «Main Menu Information View internal data (вкладка 4)». На экране пульта управления течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

• 8.3.2 Определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя LDS3000.

  • 8.3.2.1 Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в его руководстве по эксплуатации и дождаться выхода на режим.

  • 8.3.2.2 Перейти в пункт меню «Main Menu —> Info —> MS module». На экране пульта управления течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

• 8.3.3 Подтверждение можно считать успешным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя совпадает (или является не ниже) с номером версии, указанным в описании типа.

• 8.4.1 Для определения метрологических характеристик течеискателя применяют три эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 - ГТ1_рэ, ГТ2_рэ, ГТЗ_рэ, потоки которых находятся в диапазонах: для ГТ1_рэ - от 1-10'¹¹ до 5-1O'¹⁰ Па-м³/с; для ГТ2_рэ -от 1-Ю’⁹ до 5-10’⁸ Пам³/с; для ГТЗ_рэ - от 1-Ю’⁷ до 5-10’⁵ Па-м³/с.

• 8.4.2 Допускается проведение периодической поверки течеискателей на меньшем числе поддиапазонов измерений на основании письменного заявления владельца СИ.

• 8.4.3 При проведении поверки, для калибровки течеискателя возможно использование меры потока (течи гелиевой) заказчика, если она имеет действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4 Порядок определения метрологических характеристик

• 8.4.4.1 Определение метрологических характеристик течеискателя LDS3000.

• 8.4.4.1.1  Для удобства проведения поверки течеискателя LDS3000 следует использовать два вакуумных клапана, которые необходимо установить на верхний и боковой фланец ULTRA (а затем FINE). Течеискатель LDS3000 может быть интегрирован в вакуумную систему заказчика и иметь дополнительные вакуумные клапаны и систему откачки. Допускается проведение поверки с использованием вакуумной системы заказчика, в этом случае возможно проведение поверки без выключения течеискателя.

• 8.4.4.1.2 Установить через вакуумный клапан на фланец ULTRA (FINE) любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-Ю'¹⁰ Па-м³/с, или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке). На другой клапан установить течь ГТ1_рэ.

• 8.4.4.1.3 Открыть клапаны. Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

• 8.4.4.1.4 Закрыть клапан с течью ГТ1_рэ и провести внешнюю калибровку поверяемого течеискателя в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ.

• 8.4.4.1.5 Открыть клапан с течью ГТ1_рэ, после стабилизации сигнала по показаниям на дисплее зафиксировать полученное значение Qn от течи ГТ2_рэ, записать в протокол (форма протокола приведена в Приложении А)

• 8.4.4.1.6 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя. Установить через вакуумный клапан на фланец ULTRA (FINE) последовательно течи ГТ2_рэ и ГТЗ_рэ.

• 8.4.4.1.7 Выполнить операции п. 8.4.4.1.3

• 8.4.4.1.8 Закрыть клапан с течью ГТЗ_рэ. По показаниям на дисплее, после стабилизации сигнала, зафиксировать полученное значение Qn от течи ГТ2_рэ, записать в протокол. Закрыть клапан с течью ГТ2_рэ.

• 8.4.4.1.9 Открыть клапан с течью ГТЗ_рэ. По показаниям на дисплее, после стабилизации сигнала, зафиксировать полученное значение Qn от течи ГТЗ_рэ, записать в протокол.

• 8.4.4.1.10 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.1.11 Выполнить операции п.п. 8.4.4.1.2 - 8.4.4.1.10 два раза, результаты записать в протокол.

• 8.4.4.1.12 Переставить вакуумные клапаны на верхний и боковой фланец FINE.

• 8.4.4.1.13 Выполнить операции п.п. 8.4.4.1.2 - 8.4.4.1.10 три раза, результаты записать в протокол.

8.4.4.2 Определение метрологических характеристик течеискателя Moduli ООО.

• 8.4.4.2.1 Включить течеискатель в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя, и дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

• 8.4.4.2.2 Установить на вход течеискателя любую из эталонных мер потока (течей гелиевых), входящих в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 с потоком не ниже 5-1O'¹⁰ Па-м³/с, или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

• 8.4.4.2.3 Провести внешнюю калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.2.4 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1_рэ.

• 8.4.4.2.5 Перевести течеискатель в режим «ULTRA ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.4.2.6 Нажать кнопку «Start». По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Q_Ti- Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.4.2.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ1_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.2.6.

• 8.4.4.2.8 Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗ_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.2.6.

• 8.4.4.2.9 Перевести течеискатель в режим «FINE ONLY» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя. Выполнить операции п. 8.4.4.2.6.

• 8.4.4.2.10 Отсоединить гелиевую течь ГТЗ_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.2.6.

• 8.4.4.2.11 Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1_рэ. Выполнить операции п. 8.4.4.2.6.

• 8.4.4.2.12 Отсоединить гелиевую течь ГТ1_рэ от входа течеискателя.

• 8.4.4.2.13 Выполнить операции п.п. 8.4.4.2.2 - 8.4.4.2.12 два раза, данные записать в протокол.

• 8.4.4.2.14 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

• 8.4.5 Относительную погрешность измерений течеискателя дц для каждой эталонной гелиевой течи вычислить по формуле:

Qr.

где Qr, - значение потока /-той этазонной гелиевой течи, измеренное течеискателем;

Q)_t - действительное значение потока /-той эталонной течи ГТ_рэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-22006. определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.14. Менделеева».

• 8.4.6 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.4.7 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

-для режима измерения «ULTRA»                       ±(0.15 + Онпи^ъУ 100 %.

где QHnn~ нижний предел измерений течеискателя (@нпи ⁼ 5-Ю¹' Па м³/с);

- для режима измерения «FINE»                        ±50%.

• 9.1 Результаты поверки течеискателя удостоверяются знаком поверки и (или) свидетельством о поверке. Место для нанесения знака поверки указывается в описании типа на поверяемый течеискатель.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Руководитель группы

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ГЕЛИЕВЫХ LDS3000, MODULI ООО

Дата:_______________

Исполнение и заводской номер течеискателя:________________

Номер версии ПО:_________________

Температура окружающей среды:________________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:________________________, Па

Результат поверки___________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)