Методика поверки «Профилометры оптические S Neox» (МП 203-62 -2020)

Генеральный директор ООО «МИНАТЕХ»

жбицкий

Настоящая методика поверки распространяется на профилометры оптические S Neox (далее - профилометры) производства Sensofar-Tech, SL, Испания, и устанавливает средства и методы первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками -1 год.

При проведении поверки должны выполняться операции и применяться средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1 -

Примечание: Допускается применение средств измерений, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

При проведении поверки должны соблюдаться условия, приведенные в таблице 2.

Таблица 2 - Условия

Примечание: также при поверке необходимо соблюдать условия эксплуатации на используемые средства поверки.

Перед измерениями мера и профилометр должны быть выдержаны в условиях, указанных в п.2, не менее 2 часов.

Перед проведением поверки профилометры и меры должны быть подготовлены к работе в соответствии с их технической документацией. При проведении испытаний необходимо также руководствоваться паспортами мер, руководством по эксплуатации профилометров.

К поверке допускаются лица, аттестованные по месту работы в соответствии с правилами ПР 50.2.012-94 и прошедшие обучение.

При выполнении операций поверки должны быть соблюдены все требования техники безопасности, регламентированные действующими «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также всеми действующими местными инструкциями по технике безопасности.

Проверку на соответствие документации: внешнего вида, комплектности и маркировки произвести визуальным осмотром.

Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если он соответствует следующим требованиям: на рабочих измерительных поверхностях не должно быть механических повреждений и других дефектов, влияющих на их эксплуатационные характеристики.

Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если он укомплектован и маркирован в соответствии заявленным требованиям производителя.

Проверку идентификационных данных программного обеспечения (ПО) проводят путем включения профилометра и открытия его рабочей программы. В рабочем окне программы необходимо отобразить версию ПО. Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если наименование и версия ПО соответствуют данным, приведённым в таблице 3.

После включения профилометра производится автоматическая проверка функциональных узлов и программной части. При возникновении каких-либо ошибок работы ПО или неполадок в аппаратной части, ПО выдает сообщение об ошибке с указанием узла или программного компонента, имеющего сбой. В случае отсутствия таковых сообщений профилометр находится в исправном состоянии, готов к работе и считается прошедшим данный этап поверки.

Таблица 3 -

обеспечения

данные

• 5.2.1 Погрешность измерений шероховатости по параметру Ra определяется с помощью мер шероховатости 2-го разряда согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденной Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 2657 от 06.11.2019 г.

• 5.2.2 Установить меру на предметный столик профилометра. Измерения провести на 5 равномерно распределенных по поверхности меры участках. В соответствии с руководством по эксплуатации прибора провести анализ измеренных данных и определить параметр Ra. Среднее значение для параметра шероховатости Ra определить как среднее арифметическое значение по формуле:

  (1)

/=| «

где Ri - i-oe измеренное значение меры,

п - количество измерений.

5.2.3 Погрешность измерений шероховатости определить по формуле:

(2)

где   Rdc-действительное значение параметра меры, указанное в свидетельстве о поверке

на неё.

• 5.2.4 Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если погрешность измерений шероховатости по параметру Ra находится в пределах ±(0,01+0,05h).

• 5.3.1  Определение погрешности измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y осуществляется методом прямых измерений с использованием меры длины штриховой 2-го разряда согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений в диапазоне длины от 1 х Ю*^ до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденной Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 2840 от 29.12.2018 г.

• 5.3.2  Необходимо установить объект-микрометр на предметный столик профилометра.

• 5.3.3  Последовательно провести измерения номинальных размеров объект-микрометра указанных в таблице 3, вдоль осей X и Y. Объектив для проведения измерений конкретных номинальных размеров необходимо использовать согласно таблице 4.

4 - Номинальные значения

• 5.3.4 Определить относительную погрешность измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y (для каждого номинала) по формуле:

ДЕ =

Ьдс

где Еде - действительное значение меры, указанное в технической документации на неё; Еизм- измеренное значение меры, мкм.

Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если значения относительной погрешности измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y находятся в пределах ±8 %.

Определение погрешности измерений линейных размеров по оси Z осушествляется методом прямых измерений с использованием меры для поверки приборов для измерений шероховатости поверхности PEN 10-Е

• 5.4.1 Установить меру на предметный столик профилометра.

• 5.4.2 Последовательно произвести измерения высоты установленной меры. Измерения высоты меры повторить не менее 5 раз.

• 5.4.3 Определить среднее значение измеренной высоты меры:

(4)

где Hi - результат i-го измерения высоты меры, мкм; п - количество измерений высоты меры.

• 5.4.4 Определить относительную погрешность измерений линейных размеров по формуле:

ДН = 1НДС-НСР1

Ндс

где Ндс - действительное значение меры, указанное в свидетельстве о поверке (паспорте) на неё.

Профилометр считается прошедшим данный этап поверки, если погрешность измерений линейных размеров по оси Z находится в пределах ±(0,05+0,05h).

При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке по форме приложения 1 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

При отрицательных результатах поверки оформляется извешение о непригодности по форме приложения 2 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Зам. начальника отдела 203 ФГУП «ВНИИМС»

Е.А. Милованова

Д. А. Карабанов

Начальник лаборатории 203/5

ФГУП «ВНИИМС»

6