Методика поверки «Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый ASM 310» (МП 231-0083 -2020)

Федеральное государственное унитарное предприятие

«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им.Д.И.Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»

го директора

им. Д.И.Менделеева»

А.Н. Пронин

Государственная система обеспечения единства измерений

Методика поверки

Руководитель НИО государственных эталонов в области измерений давления

_Р.А. Тетерук

Руководитель НИЛ государственных эталонов и научных исследований в области измерений низкого о давления вакуума

А.А. Чернышенко

Санкт-Петербург 2020 г.

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатель масс-спектрометрический гелиевый ASM 310 (далее - течеискатель) зав. № HLD0931209 и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2 Настоящая методика поверки обеспечивает прослеживаемость течеискателя к исходному эталону «Вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10'^^ - 1 Па м^/с» по Локальной поверочной схеме для средств измерений потока газа в вакууме в диапазоне 10'*^ - 1 Па м^/с, утвержденной ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева».

• 1.3 Реализацию методики поверки обеспечивают методом компарирования.

• 1.4 Методикой поверки не предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов и (или) отдельных автономных блоков из состава средства измерений для меньщего числа измеряемых величин или на меньщем числе под диапазонов измерений.

• 2.1 При проведении поверки должны бьпъ выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 -

нь

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по р. 7, 8 или 9 настоящей методики поверки.

• 3.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C: от +18 до +22;

• - относительная влажность окружающего воздуха, %: не более 80;

• - атмосферное давление, кПа: от 84 до 106,7.

• 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованным в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются поверители, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные и поверяемые средства измерений.

• 5.1 При проведении поверки рекомендуются к применению средства поверки (эталоны единиц величин, средства измерений), указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Перечень средств поверки рекомендуемых к применению при проведении

• 5.2 Допускается применение средств поверки, не приведенных в рекомендуемом перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемого средства измерений с требуемой точностью, передачу единицы величины средству измерений при его поверке и прослеживаемость эталонов и средств измерений, применяемых при поверке, к государственным первичным эталонам единиц величин.

• 6.1 При поверке должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных средств поверки и поверяемого средства измерений.

• 7.1 При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие течеискателя следующим требованиям:

• - течеискатель должен быть чистым;

• - маркировка, обозначения на органах управления течеискателя должны быть четкими, читаемыми, соответствовать руководству по эксплуатации;

• - течеискатель не должен иметь механических повреждений и дефектов (например, трещин, сколов, вмятин), влияющих на работу течеискателя;

• - внещний вид течеискателя должен соответствовать виду, представленному в руководстве по эксплуатации;

• - комплектность течеискателя должна соответствовать комплектности, указанной в руководстве по эксплуатации.

7.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п. 7.1 настоящей методики поверки, не подлежит дальнейщей поверке.

• 8.1 Подготовить к работе эталон и поверяемый течеискатель к работе в соответствии с их руководствами по эксплуатации.

• 8.2 При опробовании следует проверить работоспособность течеискателя.

  • 8.2.1 Работоспособность поверяемого течеискателя заключается в правильности функционирования его элементов управления в соответствии с эксплуатационной документацией.

  • 8.2.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям пп. 8.1, 8.2 настоящей методики поверки, не подлежит дальнейщей поверке.

• 9.1 Проверка программного обеспечения состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения (далее - ПО) «ASM 310», отображаемого на дисплее поверяемого течеискателя.

• 9.2 Определение номера версии (идентификационного номера) ПО проводят следующим образом.

9.2.1 Информация о версии ПО доступна при включении течеискателя и в меню «Информ.».

• 9.3 Подтверждение можно считать успещным, если номер версии программного обеспечения совпадает (или является не ниже) версии, указанной в таблице 3. Если данное требование не выполняется, то течеискатель не подлежит дальнейщей поверке.

ПО

Таблица 3 -

данные

• 10.1 Включить течеискатель. Дождаться выхода на режим. Для получения более точных результатов измерений обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

• 10.2 Перевести течеискатель в режим работы «Вакуум, метод».

• 10.3 Перевести течеискатель в режим измерений «Высокая чувствительность».

• 10.4 Установить на вход течеискателя меру потока (течь гелиевую) из состава эталона (далее - эталонная мера потока) с потоком не ниже МО"'® Па-м^/с или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке или сертификат калибровки.

• 10.5 Провести внешнюю калибровку течеискателя. После проведения внешней калибровки на дисплее течеискателя должно отображаться значение потока газа в вакууме эталонной меры потока. Если значение потока газа в вакууме на дисплее течеискателя отличается от значения потока газа в вакууме эталонной меры потока больше, чем на величину предела погрешности течеискателя, провести процедуру калибровки повторно.

• 10.6 В соответствии с руководством по эксплуатации течеискателя произвести напуск атмосферы на вход течеискателя.

• 10.7 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10'*’ до 5-10"*® Па-м^/с. Занести в протокол поверки значение потока газа в вакууме эталонной меры потока Q^\.

• 10.8 Провести измерение в соответствии с руководством по эксплуатации течеискателя. Дождаться установления стабильных показаний ^ij, индицируемых на дисплее течеискателя. Занести в протокол поверки значение <^ij.

• 10.9 Вьшолнить операции в соответствии с п. 10.6 настоящей методики поверки.

• 10.10 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от ЬЮ"’ до 5-10"^ Па м^/с. Занести в протокол поверки значение потока газа в вакууме эталонной меры потока Оз\.

• 10.11 Вьшолнить операции в соответствии с п. 10.8 настоящей методики поверки.

• 10.12 Вьшолнить операции в соответствии с п. 10.6 настоящей методики поверки.

• 10.13 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10‘^ до ЬЮ*^ Па-м^/с. Занести в протокол поверки значение потока газа в вакууме эталонной меры потока Оз\.

• 10.14 Вьшолнить операции в соответствии с п. 10.8 настоящей методики поверки.

• 10.15 Вьшолнить операции в соответствии с п. 10.6 настоящей методики поверки.

• 10.16 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя.

• 10.17 Выполнить операции в соответствии с пп. 10.4-10.16 настоящей методики поверки еще два раза.

• 10.18 Установить на вход течеискателя специальную заглушку.

• 10.19 Выключить течеискатель.

• 10.20 Относительную погрешность измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя % для каждой эталонной меры потока вычислить по формуле (1)

йтч =          • 100 %,

11.1 Результаты поверки подтверждаются сведениями о результатах поверки в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений.

• 11.2 При положительных результатах поверки в соответствии с заявлением владельца средства измерений или лица, представившего средство измерений, оформляется свидетельство о поверке и (или) в формуляр средства измерений вносится запись о проведенной поверке, заверяемая подписью поверителя с расшифровкой подписи (фамилия, инициалы), наносится знак поверки и указывается дата поверки.

• 11.3 При отрицательных результатах поверки выдают извещение о непригодности к применению средства измерений.

• 11.4 Результаты измерений заносят в протокол произвольной формы.