Методика поверки «Микроскопы измерительные оптические STM7 » (Код не указан!)

Методика поверки

Тип документа

Микроскопы измерительные оптические STM7

Наименование

Код не указан!

Обозначение документа

АО «НИЦПВ»

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

УТВЕРЖДАЮ

ня 2019 г.

ервый заместитель генерального ректора АО «НИЦПВ»

Д.М. Михайлюк

Микроскопы измерительные оптические STM7 Методика поверки

Москва

2019

1 Область применения

Настоящая методика распространяется на микроскопы измерительные оптические STM7 фирмы OLYMPUS Corporation. Япония (далее - микроскопы), предназначенные для измерений линейных размеров по осям X, Y и Z элементов рельефа поверхности твердотельных объектов, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками - 1 год.

2 Операции поверки

При проведении поверки должны быть выполнены следующие операции, указанные

в таблице 1:

Таблица 1 - Операции, выполняемые при проведении поверки.

№ п/п

Наименование операций

Номер пункта методики

Обязательность проведения операций при

первичной поверке

периодической поверке

1

Внешний осмотр, проверка комплектности. Идентификация программного обеспечения.

7.1

да

да

2

Опробование микроскопа

7.2

да

да

3

Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z

7.3.1

да

да

4

Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY

7.3.2

да

да

3 Средства поверки

При проведении поверки применяются следующие средства поверки:

  • - мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм, класс точности 1 по ГОСТ 12069-90) - поверочный образец ПО-1.

-меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Госстандарта от 29.12.2018 №2840) из набора №1 (83 шт.):

  • - номинальное значение 5 мм, (далее - ПО-2)

  • - номинальное значение 25 мм, (далее - ПО-3)

  • - номинальное значение 30 мм (далее - ПО-4)

  • - номинальное значение 80 мм, (далее - ПО-5)

  • - номинальное значение 90 мм. (далее - ПО-6)

  • - мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр №33598-06) - поверочный образец ПО-7.

Допускается использование других средств поверки, по характеристикам не уступающим указанным.

4 Требования безопасности

При проведении поверки соблюдают требования ГОСТ 12.3.019-80 «Правила эксплуатации электроустановок потребителем».

5 Требования к квалификации поверителей

К проведению поверки допускаются лица:

  • - имеющие опыт работы с микроскопами измерительными оптическими;

  • - прошедшие обучение и имеющие удостоверение поверителя;

  • - изучившие техническое описание и руководство по эксплуатации поверяемого микроскопа измерительного оптического STM7 и методику его поверки.

6 Условия поверки и подготовка к ней

6.1. При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • - температура окружающей среды, °C...................................................19-21

  • - атмосферное давление, кПа...............................................................92-104

  • - относительная влажность воздуха, % не более.............................................75

  • - напряжение питания от сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В.........210-230

  • 6.2 Подготовку микроскопа к работе провести в соответствии с инструкцией по эксплуатации.

  • 6.3 Перед проведением поверки микроскоп должен быть выдержан во включенном состоянии не менее 2 часов.

  • 7 Проведение поверки

7.1 Внешний осмотр, проверка комплектности. Идентификация программного обеспечения
  • 7.1.1 При внешнем осмотре установить:

  • - соответствие комплектности (без запасных частей и инструмента), указанной в руководстве по эксплуатации;

  • - надёжность крепления соединительных элементов;

  • - отсутствие повреждений и дефектов, влияющих на работоспособность и метрологические характеристики микроскопа;

  • - наличие на микроскопе заводского номера и товарного знака фирмы-изготовителя.

  • 7.1.2 Для идентификации программного обеспечения (ПО) микроскопа необходимо:

  • - включить микроскоп;

  • - запустить рабочую программу микроскопа согласно руководству по эксплуатации;

  • - активировать пункт меню «Help»;

  • - активировать подменю «Version Information»,

В открывшемся информационном окне скачать:

  • - идентификационное наименование ПО (в верхнем левом углу);

  • - номер версии программного обеспечения.

Микроскоп считается прошедшим операцию поверки по п.7.1 с положительным результатом, если выполнены требования п.7.1.1 и идентификационные признаки ПО микроскопа соответствуют значениям, приведенным в таблице 2.

Таблица 2 - Идентификационные признаки программного обеспечения

Идентификационное наименование ПО

OLYMPUS STM7-BSW

Номер версии (идентификационный номер) ПО

1.3.2 или выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

1

7.2 Опробование
  • 7.2.1 После включения микроскопа выдержать его во включенном состоянии не менее 2-х часов.

  • 7.2.2 Установить на столик образцов микроскопа поверочный образец ПО-1 (Мера длины штриховая типа ПБ). В соответствии с руководством по эксплуатации микроскопа, отрегулировать межзрачковое расстояние окулярного тубуса и произвести диоптрийную коррекцию окуляров.

Путём перемещения кронштейна осветителя отражённого света вверх и вниз по вертикали при помощи ручки грубой фокусировки, расположенной на фокусирующем блоке микроскопа, либо при помощи кнопок FOCUS (ФОКУСИРОВКА), расположенных на корпусе контроллера STM7-MCZ добиться получения сфокусированного изображения рабочего участка штриховой меры ПО-1. Используя ручку точной фокусировки, расположенную на фокусировочном блоке микроскопа, либо ручки грубой/точной фокусировки контроллера блока автоматической фокусировки, осуществить тонкую подстройку положения образца относительно фокальной плоскости объектива.

  • 7.2.3 Произвести измерение расстояния между соседними штрихами штриховой меры ПО-1.

  • 7.2.4 Результаты опробования считаются положительными, если выполнены требования п.п.7.2.2-7.2.3 и на экране отображается измеренное расстояние.

7.3 Определение метрологических характеристик.

7.3.1 Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z.
  • 7.3.1.1 Составить из мер длины концевых плоскопараллельных (ПО-2 - ПО-6) методом притирки составную концевую меру общей длиной, соответствующей значению (в мм), указанному в таблице 3.

Таблица 3 - Общая длина составной концевой меры (в мм)

Тип объектива

Модификация микроскопа

STM7-SF,

STM7-SFA

STM7-MF, STM7-MFA

STM7-LF,

STM7-LFA

  • - измерительный объектив (ММ6-ОВ)

  • - металлографический объектив (MPLFLN, MPLFLN-BD, LMPLFLN или

120

120

90

LMPLFLN-BD серии)

175

175

145

  • 7.3.1.2 Установить на предметный столик микроскопа составную меру по п.7.3.1.1, ориентировав рабочие поверхности меры в горизонтальной плоскости, и провести измерения длины меры вдоль оси Z в количестве п =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение Ht (в мм), которое соответствует максимальному значению диапазона измерений по оси Z.

  • 7.3.1.3 Определить среднее значение высоты по формуле:

1 10

н=-Ун,

10tr

  • 7.3.1.4 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z на верхней границе диапазона по формуле

где

т - количество концевых мер, входящих в составную концевую меру длины по п.7.3.1.1., Lj - действительное значение длины (в мм) концевой меры с номером j (/=1, .., т), входящей в составную концевую меру длины по п.7.3.1.1.

  • 7.3.1.5 Установить на предметный столик микроскопа поверочный образец ПО-2, ориентировав его вдоль оси Z, располагая рабочие поверхности концевой меры длины в горизонтальной плоскости, провести измерения высоты, образуемой концевой мерой, в количестве п =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение h, (в мм).

  • 7.3.1.6 Определить среднее значение высоты по формуле:

- 1 10 Л(2)=-УЧ 10tr

  • 7.3.1.7 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z на нижней границе диапазона по формуле

д2=|л(2)2|

где Н2 - действительное значение высоты выступов в шаговой структуре, указанное в свидетельстве о поверке меры МШПС-2.0К, и выраженное в мм.

  • 7.3.1.8 Установить на предметный столик микроскопа поверочный образец ПО-3, ориентировав его вдоль оси Z, располагая рабочие поверхности концевой меры длины в горизонтальной плоскости, провести измерения высоты, образуемой концевой мерой, в количестве и =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение hj (в мм).

  • 7.3.1.9 Определить среднее значение высоты по формуле:

_ 1 10 й

iotr '

  • 7.3.1.10 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z в середине диапазона по формуле

    Д3 = 1/7(3) - Н3

^3

где Нз - действительное значение длины (в мм) для поверочного образца ПО-3.

  • 7.3.1.11 Результаты поверки по п.7.3.1 считать положительными, если выполнены условия:

lOOOAj <3+#j/10,

1000А2 <3 + Я2/10,

1000Д3<3 + Я3/10

При этом следует считать, что абсолютная погрешность измерений линейных размеров по оси Z во всем диапазоне находится внутри границ ±(3+Ь/10)мкм (где L - измеряемая длина в мм), диапазоном измерений линейных размеров (в мм) по оси Z следует считать диапазон, указанный в таблице 4.

Таблица 4 - Диапазон измерений линейных размеров по оси Z (в мм).

Тип объектива

Модификация микроскопа

STM7-SF,

STM7-SFA

STM7-MF,

STM7-MFA

STM7-LF, STM7-LFA

- измерительный объектив (ММ6-ОВ)

0,0005-120

0,0005-120

0,0005-90

- металлографический объектив (MPLFLN, MPLFLN-BD, LMPLFLN или LMPLFLN-BD серии)

0,0005-175

0,0005-175

0,0005-145

7.3.2 Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY
  • 7.3.2.1 Установить на столик образцов микроскопа поверочный образец ПО-1 (мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90).

  • 7.3.2.2 Ориентировать меру вдоль оси X с погрешностью не более 0,2 градуса. Для проверки указанной ориентации выставить меру в начальное положение таким образом, чтобы один из краев первого штриха меры, соответствующего нулевой отметке, находился в центре поля зрения. Переместить меру вдоль оси X на расстояние 50 мм, при этом положение штриха меры, соответствующего отметке 50 мм, должно быть смещено на изображении вдоль оси Y не более чем на 0,2 мм. Если данное требование не выполняется, изменить ориентацию меры и повторять вышеуказанную операцию до достижения требуемой ориентации.

  • 7.3.2.3 Провести измерения линейных размеров по поверочному образцу ПО-1 для номинальных значений, указанных в таблице 5.

Таблица 5

Модификация микроскопа

STM7-SF, STM7-SFA (предметный   столик

STM7-CS50)

STM7-SF,   STM7-

SFA   (предметный

столик STM7-CS100)

STM7-MF, STM7-

MFA,   STM7-LF,

STM7-LFA

Измеряемые отрезки, мм

1, 10, 20, 30, 40, 50

1,20, 40, 60, 80, 100

1,40, 80,120,160,

200

  • 7.3.2.4 Для каждого линейного размера X, из табл. 5 провести измерения не менее 5 раз, вычислить среднее значение X, (в мм). Определить абсолютную погрешность измерений для отрезка X, по формуле

АI (^0 = \%i     Цпасп) |

где Х(пасп) - паспортное значение (в мм) для номинального размера X, указанное в паспорте на меру ПО-1.

  • 7.3.2.5 Ориентировать меру вдоль оси Y с погрешностью не более 0,2 градуса. Для проверки указанной ориентации выставить меру в начальное положение таким образом, чтобы один из краев первого штриха меры, соответствующего нулевой отметке, находился в центре поля зрения. Переместить меру вдоль оси Y на расстояние 50 мм, при этом положение штриха меры, соответствующего отметке 50 мм, должно быть смещено на изображении вдоль оси X не более чем на 0,2 мм. Если данное требование не выполняется, изменить ориентацию меры и повторять вышеуказанную операцию до достижения требуемой ориентации.

  • 7.3.2.6 Провести измерения линейных размеров по поверочному образцу ПО-1 для номинальных значений, указанных в таблице 5.

  • 7.3.2.7 Для каждого линейного размера Y, из табл. 5 провести измерения не менее 5 раз, вычислить среднее значение Y, (в мм). Определить абсолютную погрешность измерений для отрезка Y, по формуле

где Е,(пасп) - паспортное значение (в мм) для номинального размера X, указанное в паспорте на меру ПО-1.

  • 7.3.2.8 Результаты поверки по п.7.3.2 считать положительными, если выполнены условия:

1000 A, (X) < 1,5+Х/50 и

1000Д,(У)<1,5П750

для всех значений X, и Y, из таблицы 5.

При этом следует считать, что абсолютная погрешность измерений линейных размеров по осям X, Y во всем диапазоне находится внутри границ ±(1,5+L/50)mkm (где L - измеряемая длина в мм), диапазоном измерений линейных размеров по осям X, Y следует считать диапазон, указанный в таблице 6.

Таблица 6 - Диапазон измерений линейных размеров по осям X, Y

Модификация микроскопа

STM7-SF, STM7-SFA (предметный столик STM7-CS50)

STM7-SF, STM7-SFA (предметный столик STM7-CS100)

STM7-MF, STM7-MFA

STM7-LF, STM7-LFA

Диапазон измерений по осям X, Y, мм

0,0005-50

0,0005-100

0,0005-200

0,0005-250

8 Оформление результатов поверки

8.1 Результаты поверки оформляются протоколом, который хранится в организации, проводившей поверку.

  • 8.2 Микроскоп, удовлетворяющий требованиям настоящей методики, признают годным к применению и на него выдают свидетельство о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 г. №1815. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и на лицевую панель микроскопа в виде наклейки в соответствии с рисунком внешнего вида, приведенным в описании типа.

  • 8.3 При отрицательных результатах поверки микроскоп запрещают к применению и выдают извещение о непригодности с указанием причин по установленной форме.

    Митюхляев В.Б.

Начальник отдела АО «НИЦПВ» к.ф.-м.н.

7

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель