Методика поверки «Микроскопы измерительные оптические STM7 » (Код не указан!)

УТВЕРЖДАЮ

ня 2019 г.

ервый заместитель генерального ректора АО «НИЦПВ»

Москва

2019

Настоящая методика распространяется на микроскопы измерительные оптические STM7 фирмы OLYMPUS Corporation. Япония (далее - микроскопы), предназначенные для измерений линейных размеров по осям X, Y и Z элементов рельефа поверхности твердотельных объектов, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками - 1 год.

При проведении поверки должны быть выполнены следующие операции, указанные

в таблице 1:

Таблица 1 - Операции, выполняемые при проведении поверки.

3 Средства поверки

При проведении поверки применяются следующие средства поверки:

• - мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм, класс точности 1 по ГОСТ 12069-90) - поверочный образец ПО-1.

-меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Госстандарта от 29.12.2018 №2840) из набора №1 (83 шт.):

• - номинальное значение 5 мм, (далее - ПО-2)

• - номинальное значение 25 мм, (далее - ПО-3)

• - номинальное значение 30 мм (далее - ПО-4)

• - номинальное значение 80 мм, (далее - ПО-5)

• - номинальное значение 90 мм. (далее - ПО-6)

• - мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр №33598-06) - поверочный образец ПО-7.

Допускается использование других средств поверки, по характеристикам не уступающим указанным.

При проведении поверки соблюдают требования ГОСТ 12.3.019-80 «Правила эксплуатации электроустановок потребителем».

К проведению поверки допускаются лица:

• - имеющие опыт работы с микроскопами измерительными оптическими;

• - прошедшие обучение и имеющие удостоверение поверителя;

• - изучившие техническое описание и руководство по эксплуатации поверяемого микроскопа измерительного оптического STM7 и методику его поверки.

6.1. При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• 6.2 Подготовку микроскопа к работе провести в соответствии с инструкцией по эксплуатации.

• 6.3 Перед проведением поверки микроскоп должен быть выдержан во включенном состоянии не менее 2 часов.

• 7 Проведение поверки

• 7.1.1 При внешнем осмотре установить:

• - соответствие комплектности (без запасных частей и инструмента), указанной в руководстве по эксплуатации;

• - надёжность крепления соединительных элементов;

• - отсутствие повреждений и дефектов, влияющих на работоспособность и метрологические характеристики микроскопа;

• - наличие на микроскопе заводского номера и товарного знака фирмы-изготовителя.

• 7.1.2 Для идентификации программного обеспечения (ПО) микроскопа необходимо:

• - включить микроскоп;

• - запустить рабочую программу микроскопа согласно руководству по эксплуатации;

• - активировать пункт меню «Help»;

• - активировать подменю «Version Information»,

В открывшемся информационном окне скачать:

• - идентификационное наименование ПО (в верхнем левом углу);

• - номер версии программного обеспечения.

Микроскоп считается прошедшим операцию поверки по п.7.1 с положительным результатом, если выполнены требования п.7.1.1 и идентификационные признаки ПО микроскопа соответствуют значениям, приведенным в таблице 2.

Таблица 2 - Идентификационные признаки программного обеспечения

• 7.2.1 После включения микроскопа выдержать его во включенном состоянии не менее 2-х часов.

• 7.2.2 Установить на столик образцов микроскопа поверочный образец ПО-1 (Мера длины штриховая типа ПБ). В соответствии с руководством по эксплуатации микроскопа, отрегулировать межзрачковое расстояние окулярного тубуса и произвести диоптрийную коррекцию окуляров.

Путём перемещения кронштейна осветителя отражённого света вверх и вниз по вертикали при помощи ручки грубой фокусировки, расположенной на фокусирующем блоке микроскопа, либо при помощи кнопок FOCUS (ФОКУСИРОВКА), расположенных на корпусе контроллера STM7-MCZ добиться получения сфокусированного изображения рабочего участка штриховой меры ПО-1. Используя ручку точной фокусировки, расположенную на фокусировочном блоке микроскопа, либо ручки грубой/точной фокусировки контроллера блока автоматической фокусировки, осуществить тонкую подстройку положения образца относительно фокальной плоскости объектива.

• 7.2.3 Произвести измерение расстояния между соседними штрихами штриховой меры ПО-1.

• 7.2.4 Результаты опробования считаются положительными, если выполнены требования п.п.7.2.2-7.2.3 и на экране отображается измеренное расстояние.

7.3 Определение метрологических характеристик.

• 7.3.1.1 Составить из мер длины концевых плоскопараллельных (ПО-2 - ПО-6) методом притирки составную концевую меру общей длиной, соответствующей значению (в мм), указанному в таблице 3.

Таблица 3 - Общая длина составной концевой меры (в мм)

• 7.3.1.2 Установить на предметный столик микроскопа составную меру по п.7.3.1.1, ориентировав рабочие поверхности меры в горизонтальной плоскости, и провести измерения длины меры вдоль оси Z в количестве п =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение H_t (в мм), которое соответствует максимальному значению диапазона измерений по оси Z.

• 7.3.1.3 Определить среднее значение высоты по формуле:

1 ¹⁰

н=-Ун,

10tr

• 7.3.1.4 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z на верхней границе диапазона по формуле

где

т - количество концевых мер, входящих в составную концевую меру длины по п.7.3.1.1., Lj - действительное значение длины (в мм) концевой меры с номером j (/=1, .., т), входящей в составную концевую меру длины по п.7.3.1.1.

• 7.3.1.5 Установить на предметный столик микроскопа поверочный образец ПО-2, ориентировав его вдоль оси Z, располагая рабочие поверхности концевой меры длины в горизонтальной плоскости, провести измерения высоты, образуемой концевой мерой, в количестве п =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение h, (в мм).

• 7.3.1.6 Определить среднее значение высоты по формуле:

- 1 ¹⁰ Л⁽²⁾=-УЧ 10tr

• 7.3.1.7 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z на нижней границе диапазона по формуле

д₂=|л⁽²⁾-я₂|

где Н2 - действительное значение высоты выступов в шаговой структуре, указанное в свидетельстве о поверке меры МШПС-2.0К, и выраженное в мм.

• 7.3.1.8 Установить на предметный столик микроскопа поверочный образец ПО-3, ориентировав его вдоль оси Z, располагая рабочие поверхности концевой меры длины в горизонтальной плоскости, провести измерения высоты, образуемой концевой мерой, в количестве и =10 раз, каждый раз регистрируя измеренное значение hj (в мм).

• 7.3.1.9 Определить среднее значение высоты по формуле:

_ 1 ¹⁰ й

iotr '

• 7.3.1.10 Определить абсолютную погрешность измерений линейных размеров по оси Z в середине диапазона по формуле

  Д₃ = 1/7⁽³⁾ - Н₃

^3

где Нз - действительное значение длины (в мм) для поверочного образца ПО-3.

• 7.3.1.11 Результаты поверки по п.7.3.1 считать положительными, если выполнены условия:

lOOOAj <3+#j/10,

1000А₂ <3 + Я₂/10,

1000Д₃<3 + Я₃/10

При этом следует считать, что абсолютная погрешность измерений линейных размеров по оси Z во всем диапазоне находится внутри границ ±(3+Ь/10)мкм (где L - измеряемая длина в мм), диапазоном измерений линейных размеров (в мм) по оси Z следует считать диапазон, указанный в таблице 4.

Таблица 4 - Диапазон измерений линейных размеров по оси Z (в мм).

• 7.3.2.1 Установить на столик образцов микроскопа поверочный образец ПО-1 (мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90).

• 7.3.2.2 Ориентировать меру вдоль оси X с погрешностью не более 0,2 градуса. Для проверки указанной ориентации выставить меру в начальное положение таким образом, чтобы один из краев первого штриха меры, соответствующего нулевой отметке, находился в центре поля зрения. Переместить меру вдоль оси X на расстояние 50 мм, при этом положение штриха меры, соответствующего отметке 50 мм, должно быть смещено на изображении вдоль оси Y не более чем на 0,2 мм. Если данное требование не выполняется, изменить ориентацию меры и повторять вышеуказанную операцию до достижения требуемой ориентации.

• 7.3.2.3 Провести измерения линейных размеров по поверочному образцу ПО-1 для номинальных значений, указанных в таблице 5.

Таблица 5

• 7.3.2.4 Для каждого линейного размера X, из табл. 5 провести измерения не менее 5 раз, вычислить среднее значение X, (в мм). Определить абсолютную погрешность измерений для отрезка X, по формуле

АI (^0 ⁼ \%i     Цпасп) |

где Х(пасп) - паспортное значение (в мм) для номинального размера X, указанное в паспорте на меру ПО-1.

• 7.3.2.5 Ориентировать меру вдоль оси Y с погрешностью не более 0,2 градуса. Для проверки указанной ориентации выставить меру в начальное положение таким образом, чтобы один из краев первого штриха меры, соответствующего нулевой отметке, находился в центре поля зрения. Переместить меру вдоль оси Y на расстояние 50 мм, при этом положение штриха меры, соответствующего отметке 50 мм, должно быть смещено на изображении вдоль оси X не более чем на 0,2 мм. Если данное требование не выполняется, изменить ориентацию меры и повторять вышеуказанную операцию до достижения требуемой ориентации.

• 7.3.2.6 Провести измерения линейных размеров по поверочному образцу ПО-1 для номинальных значений, указанных в таблице 5.

• 7.3.2.7 Для каждого линейного размера Y, из табл. 5 провести измерения не менее 5 раз, вычислить среднее значение Y, (в мм). Определить абсолютную погрешность измерений для отрезка Y, по формуле

где Е,(пасп) - паспортное значение (в мм) для номинального размера X, указанное в паспорте на меру ПО-1.

• 7.3.2.8 Результаты поверки по п.7.3.2 считать положительными, если выполнены условия:

1000 A, (X) < 1,5+Х/50 и

1000Д,(У)<1,5П750

для всех значений X, и Y, из таблицы 5.

При этом следует считать, что абсолютная погрешность измерений линейных размеров по осям X, Y во всем диапазоне находится внутри границ ±(1,5+L/50)mkm (где L - измеряемая длина в мм), диапазоном измерений линейных размеров по осям X, Y следует считать диапазон, указанный в таблице 6.

Таблица 6 - Диапазон измерений линейных размеров по осям X, Y

8.1 Результаты поверки оформляются протоколом, который хранится в организации, проводившей поверку.

• 8.2 Микроскоп, удовлетворяющий требованиям настоящей методики, признают годным к применению и на него выдают свидетельство о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 г. №1815. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и на лицевую панель микроскопа в виде наклейки в соответствии с рисунком внешнего вида, приведенным в описании типа.

• 8.3 При отрицательных результатах поверки микроскоп запрещают к применению и выдают извещение о непригодности с указанием причин по установленной форме.

  

  Митюхляев В.Б.

Начальник отдела АО «НИЦПВ» к.ф.-м.н.

7