Методика поверки «Установка контроля линейных размеров КЛ-1» (Код не указан!)

УТВЕРЖДАЮ

Установка контроля линейных размеров КЛ-1

Методика поверки

Москва

2020

Настоящая методика распространяется на установку контроля линейных размеров КЛ-1, зав.№001 (далее - Установка) производства фирмы ООО «АСКД «ИБИС», Россия, предназначенную для измерений линейных размеров элементов структур, сформированных на поверхности кремниевых полупроводниковых пластин диаметром 150 мм и устанавливает методы и средства ее первичной и периодической поверок.

Настоящая методика разработана в соответствии с РМГ 51-2002 «Документы на методики поверки средств измерений. Основные положения».

Интервал между поверками - 1 год.

В настоящей методике использованы нормативные ссылки на следующие нормативные документы:

ГОСТ 12.3.019-80 Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические. Общие требования безопасности.

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.

ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.

ГОСТ Р 8.736 - 2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения.

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1. Операции, выполняемые при проведении поверки.

• 4.1 При проведении поверки применяются средства поверки, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки, используемые при поверке

• 4.2 Допускается использование других средств поверки, по характеристикам не уступающим указанным.

При проведении поверки соблюдают требования ГОСТ 12.3.019-80.

К проведению поверки допускаются лица:

• - имеющие опыт работы с растровыми электронными микроскопами;

• - прошедшие обучение и имеющие удостоверение поверителя;

• - изучившие техническое описание и руководство по эксплуатации Установки и методику ее поверки.

• 7.1 При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - диапазон температур окружающей среды, °C...............................от 20 до 24

• - относительная влажность воздуха, %,.................................................45±5

• - напряжение питания от однофазной сети переменного

тока частотой 50 Гц, В.......................................................................120

• 7.2 Подготовку Установки к работе провести в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 7.3 Перед проведением поверки Установка должна быть полностью включена в соответствии с руководством по эксплуатации и выдержана во включенном состоянии не менее 2 часов.

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра и проверке комплектности должно быть установлено соответствие Установки следующим требованиям:

• - наличие товарного знака изготовителя, порядковый номер, год изготовления;

-прочность закрепления, плавность действия и обеспечение надежности фиксации всех органов управления;

-соответствие функциональному назначению и четкость всех надписей на органах управления и индикации;

• - наружная поверхность не должна иметь следов механических повреждений, которые могут влиять на работу Установки;

• - чистота и целостность разъемов;

• - соединительные провода должны быть исправными;

• - комплектность Установки должна соответствовать комплектности, указанной в эксплуатационной документации.

• 8.1.2 Результаты внешнего осмотра и проверку комплектности Установки считают положительными, если выполняются все требования п. 8.1.1.

• 8.1.3 Для идентификации программного обеспечения (ПО) Установки необходимо:

• - запустить рабочую программу Установки согласно руководству по эксплуатации;

• - в верхней части окна программы войти в меню «About» и выбрать подпункт «About KLA-Tencor CD SEM»;

• - считать идентификационное наименование и номер версии ПО.

• - используя алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО по ГОСТ Р 34.11-2012, определить контрольную сумму исполняемого кода.

Установка считается прошедшей операцию поверки с положительным результатом, если идентификационные признаки ПО Установки соответствуют значениям, приведенным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные программного обеспечения

• 8.2.1 В соответствии с руководством по эксплуатации включить Установку, убедится в наличии связи между управляющей ПЭВМ и Установкой.

• 8.2.2 Установить в Установку поверочный образец и получить его изображение на экране монитора.

• 8.2.3  Убедиться в возможности переключения с помощью управляющей программы ускоряющих напряжений и тока электронного зонда.

• 8.2.4 Убедится, что обеспечивается предусмотренный технической документацией диапазон увеличений.

• 8.2.5 Установка считается годной к поверке, если результаты проверок по пп. 8.2.1 -8.2.4 положительные.

8.3 Определение метрологических характеристик 8.3.1Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных размеров

• 8.3.1.1 В соответствии с руководством по эксплуатации Установки получить изображение шаговой структуры центрального модуля поверочного образца.

• 8.3.1.2  Поворотом изображения добиться приблизительной параллельности дорожек вертикальным границам изображения. В соответствии с руководством по эксплуатации, добиться оптимальной фокусировки изображения и максимальной компенсации астигматизма. Фокусировку, регулировку яркости и контрастности выполнять в ручном режиме, обращая внимание на отсутствие участков с ограничением сигнала.

• 8.3.1.3 Выбрать такое увеличение, чтобы на изображении поместилось полностью 2 выступа. Произвести сканирование и запомнить полученное изображение.

• 8.3.1.4. Выбрать такое увеличение, чтобы на изображении помещалось полностью 5 шагов меры. Произвести сканирование и запомнить полученное изображение.

• 8.3.1.5. В соответствии с руководством по эксплуатации, на полученных в п. 8.3.1.3 и п.8.3.1.4 снимках произвести измерения линейных размеров, используя встроенный режим измерения. Для шаговых структур измерения следует проводить между эквивалентными точками выступов таким образом, чтобы на измеряемом отрезке укладывалось либо 1 шаг (для изображения по п.8.3.1.3) либо 5 шагов (для изображения по п.8.3.1.4). Измерения провести п = 10 раз, каждый раз смещаясь по структуре.

• 8.3.1.6 Вычисление доверительных границ погрешности результатов измерений проводят в соответствии с ГОСТ Р 8.736-2011. Вычисляют средний результат / измерений (в мкм) линейных размеров элементов длиной 2 мкм и 10 мкм, обозначив результаты соответственно как и /₂.

• 8.3.1.7 Определяют абсолютную погрешность измерений линейного размера номинальным значением 2мкм:

где Т- паспортное значение шага меры МШПС-2.0К (в мкм), указанное в свидетельстве о поверке меры.

• 8.3.1.8 Определяют абсолютную погрешность измерений линейного размера номинальным значением Юмкм:

Д₂=|/₂-5Г|.

• 8.3.1.9 Результаты поверки по п.8.3.1 считать положительными, если выполнено условие: Д, < 0,005 + 0,03/, для z-1,2.

Если указанные требования выполнены, то диапазоном измерений линейных размеров считают диапазон от 0,1 мкм до 10 мкм.

• 8.3.2.1 Выбрать такое увеличение, чтобы на изображении поместился полностью выступ шаговой структуры центрального модуля поверочного образца, а поле зрения составляло от 1,5 до 2 мкм.

• 8.3.2.2 Произвести сканирование и запомнить полученное изображение, повторив данную операцию в общей сложности 10 раз.

• 8.3.2.3 В соответствии с руководством по эксплуатации Установки на полученных по п.8.3.2.2 изображениях произвести измерения ширины линии (выступа) в автоматическом режиме, каждый раз регистрируя значение ширины линии (в нм) как Z,, где z -номер измерения (/-1,2,..., 10).

• 8.3.2.4 Определить СКО результатов измерений ширины линии по формуле:

  

где L = ——, и = 10 п

• 8.3.2.5. Установка считается прошедшей операцию поверки с положительным результатом, если выполнено условие:

СКО <4

• 9.1 Результаты поверки оформляются протоколом, который хранится в организации, проводившей поверку.

• 9.2 Установку, удовлетворяющую требованиям настоящей методики, признают годной к применению и на нее выдают свидетельство о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 г. №1815. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и на боковую панель основного блока Установки в виде наклейки в соответствии с рисунком общего вида, приведенным в описании типа.

• 9.3 При отрицательных результатах поверки Установку запрещают к применению и выдают извещение о непригодности с указанием причин по установленной форме.

  

  Митюхляев

Начальник отдела АО «НИЦПВ», кандидат физ.-мат. наук

6