Методика поверки «ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E» (РТ-МП-6148-443-2020)
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-1.jpg)
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО НО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ «ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕГИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И ИСПЫТАНИЙ В Г. МОСКВЕ И МОСКОВСКОЙ ОБЛАСТИ» (ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА»)
УТВЕРЖДАЮ
Заместитель генерального директора
ФБУ «Росте
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-2.jpg)
сква»
А.Д. Меньшиков
«14» января 2020 г.
Государственная система обеспечения единства измерений
ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E
Методика поверки
РТ-МП-6148-443-2020 г. Москва
2020 г.
Настоящая методика поверки распространяется на датчики вакуумные комбинированные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E (далее по тексту -датчики вакуумные VSM), изготовленные «Thyracont Vacuum Instruments GmbH», Германия.
Интервал между поверками 1 год.
1 Операции поверки-
2.1 При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1 - Операции поверки
Наименование операции |
Номер пункта НД по поверке |
Обязательность проведения операции при: | |
первичной поверке |
периодической поверке | ||
1 Внешний осмотр |
7.1 |
Да |
Да |
2 Проверка программного обеспечения |
7.2 |
Да |
Да |
3 Определение относительной погрешности |
7.3 |
Да |
Да |
1.2 При получении отрицательного результата в процессе выполнения любой из операций поверки датчик вакуумный VSM признают непригодным и его поверку прекращают.
-
2 Средства поверки
-
2.1 При проведении поверки применяют средства поверки, указанные в таблице 2.
-
Таблица 2 - Средства поверки
Номер пункта методики поверки |
Наименование и тип основного и вспомогательного средства поверки; обозначение нормативного документа, регламентирующего технические требования и метрологические характеристики средства поверки |
1 |
2 |
|
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 с диапазоном измерений абсолютного давления от Г10‘5 до Г103 Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 1 ■ 10'2 до 1 • 103 Па и ± 15 % в диапазоне от Г10’5 до Г10’2 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 53639-13); Вакуумметр ионизационный образцовый 2-го разряда ВИО-1 с диапазоном измерений абсолютного давления от 7 • 10'9до Г10'1 Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от Г10’7 до Г10’1 Па и ±30 % в диапазоне от 7 -10’9до 1,1-10'7 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 9862-85); Калибратор-контроллер давления PPC4-A100Kf с диапазоном измерений и воспроизведением избыточного и абсолютного давления от 0 до 110 кПа, с допускаемой приведённой погрешностью ±0,015 % от диапазона, в режиме измерения давления и ±0,016 % от диапазона, в режиме воспроизведения давления (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 27758-08); Мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока до 10 В, с относительной погрешностью ±[0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений] (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 54848-13); Источник питания постоянного тока Б5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и с пределами допускаемой погрешности по выход- |
Окончание таблицы 2
1 |
2 |
ному напряжению: ±(0,001U+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ±(0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 51394-12). |
2.2 Все средства измерений, применяемые при поверке, должны иметь действующие свидетельства о поверке.
2.3 Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
3 Требования к квалификации поверителейК проведению поверки допускаются лица, ознакомленные с руководством по эксплуатации датчиков вакуумных VSM и прошедшие инструктаж по технике безопасности.
4 Требования безопасности-
4.1 При проведении поверки необходимо соблюдать указания по технике безопасности, приведенные в руководстве по эксплуатации на средства поверки.
-
4.2 Запрещается создавать давление, превышающее верхний предел измерений датчиков вакуумных VSM, кроме тех случаев которые оговорены в настоящей методике поверки.
При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:
-
- температура окружающего воздуха от 15 до 25 °C;
-
- относительная влажность от 30 до 80 %.
Должны отсутствовать внешние электрические и магнитные поля, влияющие на работу датчиков вакуумных VSM.
6 Подготовка к поверке-
6.1 Для проведения поверки представляют следующую документацию:
-
- руководство по эксплуатации датчиков вакуумных VSM;
-
- свидетельство о предыдущей поверке датчиков вакуумных VSM (при периодической поверке).
-
6.2 Перед проведением поверки выполняют следующие подготовительные работы:
-
- средства поверки выдерживают в условиях и в течение времени, установленных в эксплуатационных документах на средства поверки;
-
- все средства измерений, которые подлежат заземлению, должны быть надежно заземлены, подсоединение зажимов защитного заземления к контуру заземления должно производиться ранее других соединений, а отсоединение - после всех отсоединений.
-
7.1 Внешний осмотр
-
7.1.1 При внешнем осмотре должно быть установлено:
-
-
- отсутствие механических повреждений корпуса, влияющих на эксплуатационные свойства датчика вакуумного VSM и/или контроллера;
-
- отсутствие дефектов на жидкокристаллическом дисплее датчика вакуумного VSM и/или контроллера, препятствующих правильному снятию показаний;
-
- наличие на корпусе датчика вакуумного VSM: наименования СИ, товарного знака изготовителя, заводского номера, диапазона измерений и аналогового выходного сигнала, с указанием условного обозначения единицы физической величины и напряжения питания;
-
- наличие на корпусе контроллера: наименования контроллера, товарного знака изготовителя, заводского номера и напряжения питания.
-
7.1.2 Датчики вакуумные VSM, забракованные при внешнем осмотре, дальнейшей поверке не подлежат.
-
7.2 Проверка программного обеспечения
-
7.2.1 Операция «Проверка программного обеспечения» включает в себя:
-
-
- проверку идентификационного наименования программного обеспечения;
-
- определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения.
-
7.2.2 Операция может быть выполнена двумя методами.
Первый метод. Операция может быть выполнена визуально, по номеру версии и наименованию встроенного ПО на шильдике.
Результат проверки программного обеспечения считается положительным, если полученные идентификационные данные ПО СИ (номер версии (идентификационный номер) и наименование встроенного ПО) соответствуют идентификационным данным, указанным в описание типа.
Второй метод. Подключить датчик вакуумный VSM к компьютеру. Запустить программу VacuGraph. После установления связи с датчиком вакуумным VSM, в окне параметров настройки отображаются следующие данные:
-
- идентификационное наименование ПО;
-
- номер версии (идентификационный номер) ПО.
Результат проверки программного обеспечения считается положительным, если полученные идентификационные данные встроенного ПО СИ (идентификационное наименование и номер версии (идентификационный номер)) соответствуют идентификационным данным, приведенным в описании типа средства измерений.
Если идентификационные данные (наименование программного обеспечения и номер версии) не совпадают с данными, указанными в описание типа, дальнейшую поверку не проводят.
7.3 Определение относительной погрешности
Поверка датчиков вакуумных VSM, в диапазоне измерений давления свыше 110'2 Па, допускается производить в статическом режиме, т.е. без откачки камеры в момент установления измеряемого давления. В остальных случаях поверку следует выполнять в динамическом режиме, т.е. при непрерывной откачке камеры. Положение датчиков вакуумных VSM в пространстве должно учитывать указания, имеющиеся в руководстве по эксплуатации на него.
В случае снятия показаний с встроенного ЖК-дисплея к датчикам вакуумным VSM, модификаций VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL подсоединить источник постоянного тока.
В случае снятия показаний с контроллера к датчикам вакуумным VSM, модификаций VSM77D, VSM77E, VSM78D, VSM78E, VSM79D, VSM79E подсоединить контроллер, к контроллеру подсоединить источник питания переменного тока.
В случае снятия показаний с мультиметра цифрового к датчикам вакуумным VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL подсоединить источник постоянного тока и мультиметр цифровой.
В случае снятия показаний с помощью программного обеспечения Vacugraph к датчикам вакуумным VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL соединить источник постоянного тока и кабель, кабель подсоединить к компьютеру.
По эталону устанавливают измеряемый параметр, равный номинальному, а с контроллера, или с встроенного ЖК-дисплея, или мультиметра цифрового или программного обеспечения Vacugraph, установленного на ПК, снимают показания датчика вакуумного VSM.
Схема включения вакуумного датчика для измерения выходного сигнала при проведении поверки приведена на рисунке 1.
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-3.jpg)
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-4.jpg)
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-5.jpg)
Рисунок 1 - Рекомендуемая схема подключения датчика вакуумного VSM
Относительную погрешность датчика вакуумного VSM определяют как по показаниям аналогового выходного сигнала, так и по показаниям встроенного дисплея или контроллера или с ПК. После прогрева датчика вакуумного VSM в течение пяти минут необходимо провести его калибровку по атмосфере и вакууму в соответствии с руководством по эксплуатации.
Затем с помощью натекателя осуществить регулируемую подачу газа в измерительную камеру установки вакуумметрической эталонной. В случае подачи газа отличного от азота или воздуха необходимо учесть поправочные коэффициенты в соответствии с руководством по эксплуатации.
В диапазоне давлений поверяемого датчика вакуумного VSM дискретно устанавливают точки, располагая их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее трех точек в пределах каждой декады диапазона измерений. Поверка датчика вакуумного VSM производится во всем диапазоне измерений.
После установления в каждой точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности показаний эталона в течение пяти минут, с отклонением 0,3 относительной погрешности, одновременно снимаются показания с эталонного СИ и поверяемого СИ.
В случае снятия показаний с мультиметра цифрового значение напряжения переводится в давление по формуле (1) -
Ризм = ГО((у-б-8)/о'6) (1)где Ризм - измеренное значение абсолютного давления, гПа (мбар);
V—измеренное значение напряжения по мультиметру цифровому, В.
Лист № 6
Всего листов 6 Относительную погрешность датчика вакуумного VSM вычисляют по формуле 2 -
![Методика поверки. ДАТЧИКИ ВАККУУМНЫЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ VSM, МОДИФИКАЦИЙ VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. ОЕИ Аналитика](mp_html/739218586589c35f937bd_files/739218586589c35f937bd-6.jpg)
(2)
где 5 - значение относительной погрешности, %;
Ризм - измеренное значение абсолютного давления, гПа (мбар);
Рэт - значение абсолютного давления, задаваемое эталоном, гПа (мбар).
Датчик вакуумный VSM считается выдержавшим поверку, если относительная погрешность измерений не превышает значения относительной погрешности, приведенной в описании типа средства измерений.
-
8 Оформление результатов поверки
-
8.1 Результаты поверки заносят в протокол поверки произвольной формы.
-
8.2 При положительных результатах поверки на датчики вакуумные VSM выписывают свидетельство о поверке. На свидетельство о поверке наносится знак поверки в виде оттиска поверительного клейма.
-
8.3 При отрицательных результатах поверки на датчики вакуумные VSM выдают извещение о непригодности с указанием причины непригодности.
-
Начальник лаборатории № 443
ФБУ "Ростест-Москва"
Денисов
Главный специалист по метрологии лаборатории № 443 ФБУ "Ростест-Москва"
В. Болотин