Методика поверки «Государственная система обеспечения единства измерений Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario» (MП 231-0073-2019)

Федеральное государственное унитарное предприятие

«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

УТВЕРЖДАЮ

2019 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Методика поверки

МП 231-0073-2019

Руководитель НИО государственных эталонов в области измерений давления

Р.А. Тетерук

Руководитель группы

Д.М. Фомин

Санкт-Петербург

2019

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario (далее по тексту - течеискатели) и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверки.

• 1.2 Методикой поверки не предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов и (или) отдельных автономных блоков из состава средства измерений для меньшего числа измеряемых величин или на меньшем числе поддиапазонов измерений.

• 2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

2.2 Поверка прекращается в случае обнаружения несоответствия поверяемого течеискателя хотя бы одному из пунктов таблицы 1.

• 3.1 При проведении поверки должны быть применены средства измерений и вспомогательное оборудование, указанные в таблице 2.

Таблица 2

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке.

• 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

• 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованных в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные и поверяемые средства измерений.

• 5.1 При поверке должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 Поверку следует проводить при следующих условиях:

• - температура окружающего воздуха, °C: от +10 до +25;

• - относительная влажность окружающего воздуха, %: не более 80;

• - атмосферное давление, кПа: от 84 до 106,7.

• 7.1 Подготовить течеискатель к работе в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 7.2 Подготовить к работе средства поверки и вспомогательное оборудование в соответствии с руководствами по эксплуатации.

• 8.1 Внешний осмотр

При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие течеискателя следующим требованиям:

• - течеискатель должен быть чистым;

• - маркировка должна быть четкой, читаемой;

• - течеискатель не должен иметь повреждений корпуса - трещин, сколов, вмятин;

• - внешний вид течеискателя должен соответствовать конструктивным требованиям, указанным в эксплуатационной документации;

• - внешний интерфейс течеискателя должен соответствовать требованиям конструктивного исполнения;

• - комплектность течеискателя должна соответствовать комплектности, указанной в технической документации.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если течеискатель соответствует всем вышеперечисленным требованиям.

• 8.2 Опробование

Опробование производится в соответствие с указаниями, приведенными в эксплуатационной документации на поверяемый течеискатель соответствующего исполнения.

Течеискатель считают прошедшим поверку по данному пункту с положительным результатом, если течеискатель функционирует в соответствии с эксплуатационной документацией.

• 8.3 Подтверждение соответствия ПО

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя.

Определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя проводят следующим образом:

• 8.3.1 Включить течеискатель.

• 8.3.2 Перейти в пункт меню «Диагностика» - «Информация» - «Устройство» -вкладка «Идентификация». На дисплее лицевой панели течеискателя появятся номера версиий программного обеспечения.

Подтверждение соответствия программного обеспечения можно считать успешным, если номера версий программного обеспечения поверяемого течеискателя соответствуют требованиям, указанным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные (признаки) ПО

• 8.4 Определение относительной погрешности измерений

  • 8.4.1 Включить течеискатель.

  • 8.4.2 Перевести течеискатель в режим «ULTRA».

  • 8.4.3 Установить на вход течеискателя меру потока (течь гелиевую) из состава эталона (далее - эталонная мера потока (течь гелиевая)) или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.4 Провести внешнюю калибровку течеискателя.

  • 8.4.5 Отсоединить эталонную меру потока (течь гелиевую) от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1 _рэ.

  • 8.4.6 Нажать кнопку «START». Дождаться установления стабильных показаний. По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn, данные записать в протокол.

  • 8.4.7 Нажать кнопку «STOP», затем «VENT». Отсоединить гелиевую течь ГТ1 _рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.4.6.

  • 8.4.8 Нажать кнопку «STOP», затем «VENT». Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗ_рэ. Выполнить операции п. 8.4.6.

  • 8.4.9 Перевести течеискатель в режим «FINE» в соответствии с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя. Выполнить операции пп. 8.4.3, 8.4.4.

  • 8.4.10 Выполнить операции пп. 8.4.7, 8.4.8.

  • 8.4.11 Выполнить операции пп. 8.4.2-8.4.10 два раза, данные записать в протокол.

  • 8.4.12 Нажать кнопку «START», затем «VENT». Отсоединить гелиевую течь ГТЗ_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя специальную заглушку.

  • 8.4.13 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в РЭ поверяемого течеискателя.

  • 8.4.14 Относительную погрешность измерений течеискателя <5/,, % для каждой эталонной гелиевой течи вычислить по формуле (1).

^s-n=~ — МО

Q_r.

где Qn - значение потока /-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискателем, Па м/с;

Qji - действительное значение потока /-той эталонной течи ГТ_рэ, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», Пам³/с.

• 8.4.15 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме измерений «ULTRA» не превышает ±(0,15   + QHm</QTi)100 %

(где Qhoh - нижний предел измерений течеискателя, Q_HnH = 110'¹² Пам³/с), в режиме измерений «FINE» - не превышает ±50 %.

• 9.1 Результаты поверки оформляют протоколом.

• 9.2 При положительных результатах поверки течеискателя оформляется свидетельство о поверке. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

• 9.3 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности к применению с указанием причин.