Методика поверки «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3» (ΜΠ 231-0078-2020)

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

.о. генерального директора

ФГУП «ВНИИМ

.И. Менделеева»

А.Н. Пронин

« 29 » апреля 2020 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

Руководитель НИО государственных эталонов в области измерений давления

Р.А. Тетерук

Руководитель НИЛ государственных эталонов и научных исследований в области измерений низкого абсолютного

Чернышенко

г. Санкт-Петербург 2020 г.

• 1.1 Настоящая методика поверки (далее по тексту МП) распространяется на установку вакуумметрическую эталонную 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту - установка УВЭ-3), зав. № 06 и устанавливает методику первичной и периодической поверок.

• 1.2 Методикой поверки предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов из состава средства измерений.

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 При периодической поверке представляются на поверку только ионизационный вакуумметр AIGX с контроллером TIC, и деформационно-термопарный эталонный вакуумметр ВДТО-3 с преобразователем ПДДТО-1, входящие в состав установки. Предоставляются протоколы согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1. Поверка вакуумметров AIGX и ВДТО-3 осуществляется по методике поверки МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».

• 2.3 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п. 8.1, 8.2 или

• 8.3.1 настоящей методики. Вакуумметры возвращаются представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

• 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 3.1

Таблица 3.

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат.

• 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

• 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованных в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные и поверяемые средства измерений.

• 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования документа «Правила устройств электроустановок», а также требования безопасности, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • •  температура окружающего воздуха, °C...................................... от+15 до+30

  • •  относительная влажность воздуха, %, не более                 80

  • •  атмосферное давление, кПа................................................................от 84 до 106,7

  Измеряемая среда - сухой воздух или азот.

Вибрация, тряска, удары, магнитные поля, кроме земного, влияющие на работу и метрологические характеристики установки и эталонных вакуумметров, должны отсутствовать.

Скорость изменения температуры в помещении не должна превышать 1 °С/ч.

• 7.1 Проверьте наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

• 7.2 Проверьте наличие руководства по эксплуатации поверяемой установки.

• 8.1 Внешний осмотр

  • 8.1.1  При внешнем осмотре должно быть установлено:

• -  отсутствие механических повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики установки;

отсутствие повреждений маркировки.

• 8.1.2  Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2 Опробование

  • 8.2.1  При опробовании проверяют эксплуатационные свойства установки:

• - возможность включения, выключения и функционирования установки в соответствии с документацией;

• - работоспособность органов управления и регулирования;

• - функционирование всех средств измерений и оборудования, входящих в состав установки.

• 8.3 Определение метрологических характеристик

  • 8.3.1  Определение предельного остаточного давления

    • 8.3.1.1  Определение значения предельного остаточного давления проводят следующим образом. Подготавливают установку к работе согласно п. 2.2.2 ее руководства по эксплуатации. В соответствии со схемой, приведенной в приложении А настоящей методики, присоединяют к фланцу клапана VA1 измерительной камеры установки вакуумметр ионизационный AIGX. На остальных фланцах измерительной камеры установки должны быть установлены заглушки.

    • 8.3.1.2 Откачайте измерительную камеру установки до предельного остаточного давления, выполнив операции пп. 2.3.2—2.3.13 руководства по эксплуатации установки. Значение остаточного давления в камере контролируют по показаниям вакуумметра ионизационного AIGX.

    • 8.3.1.3  Результаты испытаний заносятся в протокол.

  • 8.3.2 Определение диапазона измерений и относительной погрешности

    • 8.3.2.1  Определение диапазона измерений и относительной погрешности измерений давления установки проводят методом сличения показаний ионизационного вакуумметра AIGX и деформационно-термопарного вакуумметра ВДТО-3, входящих в состав установки, с действительными значениями давления, контролируемыми по показаниям установки эталонной вакуумметрической редукционной ВОУ-1 (далее по тексту - ВОУ-1) и барометра образцового переносного БОП-1М (далее по тексту - БОП-1М).

    • 8.3.2.2 Выдержите поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационнотермопарный ВДТО-3, ВОУ-1 и БОП-1М при температуре, указанной в п.6.1, не менее 3 ч.

    • 8.3.2.3  Далее поверка проводится в соответствии с п.6.5 МИ 140-89.

    • 8.3.2.4 Результаты измерений занесите в протокол. Рекомендуемая форма протокола приведена в приложении Б.

    • 8.3.2.5 Рассчитайте относительную погрешность 6, для каждой точки во всем диапазоне измерений по формуле

5 =     . too %

Рэ

где р_и - измеренное значение давления в камере установки, зафиксированное по показаниям вакуумметров ВДТО-3 и AIGX, входящих в состав установки;

р_э - действительное значение давления, контролируемое по ВОУ-1, в зависимости от диапазона измерений.

• 8.3.2.6 Результаты поверки считаются положительными, если относительная погрешность в диапазоне измерений от 10'^э до 10‘² Па не превышает ±15 %, в диапазоне от 10’² до 6,65-10³ Па не превышает ±10 %, в диапазоне свыше 6,65 ТО³ до 1,06-10⁵ Па не превышает ±665 Па.

• 8.3.2.7 Выключите ВОУ-1, БОП-1М и отсоедините поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

• 9.1 По результатам поверки ионизационного вакуумметра AIGX и деформационнотермопарного вакуумметра ВДТО-3, представленных протоколов согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1 данной методики, при положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А. Вакуумная принципиальная схема установки УВЭ-3

насос пЕХТ 300, Р1 - индикаторный тепловой вакуумметр CVM 211, Р2 - вакуумметр деформационно-термопарный эталонный 2-го разряда ВДТО-3, РЗ - вакуумметр ионизационный 2-го разряда AIGX, Р4 - индикаторный вакуумметр сопротивления APG, VF - высокоточный натекатель, VA1-VA7 — вакуумные клапаны, 1 и 2 - порты для присоединения дополнительного оборудования (приборов контроля герметичности, дополнительных откачиваемых объемов и откачных средств, и т.д.)