Методика поверки «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3» (ΜΠ 231-0078-2020)

Методика поверки

Тип документа

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Наименование

ΜΠ 231-0078-2020

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

УТВЕРЖДАЮ

.о. генерального директора

ФГУП «ВНИИМ

.И. Менделеева»

А.Н. Пронин

« 29 » апреля 2020 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0078-2020

Руководитель НИО государственных эталонов в области измерений давления

Р.А. Тетерук

Руководитель НИЛ государственных эталонов и научных исследований в области измерений низкого абсолютного

Чернышенко

г. Санкт-Петербург 2020 г.

1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
  • 1.1 Настоящая методика поверки (далее по тексту МП) распространяется на установку вакуумметрическую эталонную 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту - установка УВЭ-3), зав. № 06 и устанавливает методику первичной и периодической поверок.

  • 1.2 Методикой поверки предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов из состава средства измерений.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

Наименование операций

Номер пункта методики

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Определение метрологических характеристик

8.3

+

+

Оформление результатов поверки

9

+

4-

  • 2.2 При периодической поверке представляются на поверку только ионизационный вакуумметр AIGX с контроллером TIC, и деформационно-термопарный эталонный вакуумметр ВДТО-3 с преобразователем ПДДТО-1, входящие в состав установки. Предоставляются протоколы согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1. Поверка вакуумметров AIGX и ВДТО-3 осуществляется по методике поверки МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».

  • 2.3 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п. 8.1, 8.2 или

  • 8.3.1 настоящей методики. Вакуумметры возвращаются представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 3.1

Таблица 3.

Номер пункта методики поверки

Наименование и тип основного или вспомогательного средства поверки, номер документа, регламентирующего технические требования к средству, метрологические и основные технические характеристики

6.1

Термогигрометр ИВА-6 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 46434-11).

8.3

Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений абсолютного давления в диапазоне от 6,6-10'8 до 6,6 Па, допускаемая относительной погрешность ±15 % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 44388-10).

Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10‘8-1-10Па», в диапазоне измерений абсолютного давления от 1,0-10'7 до 1,0-103 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±(7<3) % (Установка эталонная вакуумметрическая редукционная ВОУ-1).

Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по Государственной поверочной схеме для средств измерений абсолютного давления в диапазоне Г10"1 - 1107», утвержденной Приказом Росстандарта №2900 от 06.12.2019 г., диапазон абсолютного давления от 5 до 1300 гПа, пределы допускаемой абсолютной погрешности 10 Па (Барометр образцовый переносной БОП-1М).

  • 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат.

  • 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

  • 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованных в установленном порядке.

  • 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные и поверяемые средства измерений.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования документа «Правила устройств электроустановок», а также требования безопасности, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 6.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

    • •  температура окружающего воздуха, °C...................................... от+15 до+30

    • •  относительная влажность воздуха, %, не более                 80

    • •  атмосферное давление, кПа................................................................от 84 до 106,7

    Измеряемая среда - сухой воздух или азот.

Вибрация, тряска, удары, магнитные поля, кроме земного, влияющие на работу и метрологические характеристики установки и эталонных вакуумметров, должны отсутствовать.

Скорость изменения температуры в помещении не должна превышать 1 °С/ч.

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 7.1 Проверьте наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

  • 7.2 Проверьте наличие руководства по эксплуатации поверяемой установки.

8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
  • 8.1 Внешний осмотр

    • 8.1.1  При внешнем осмотре должно быть установлено:

  • -  отсутствие механических повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики установки;

отсутствие повреждений маркировки.

  • 8.1.2  Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

  • 8.2 Опробование

    • 8.2.1  При опробовании проверяют эксплуатационные свойства установки:

  • - возможность включения, выключения и функционирования установки в соответствии с документацией;

  • - работоспособность органов управления и регулирования;

  • - функционирование всех средств измерений и оборудования, входящих в состав установки.

  • 8.3 Определение метрологических характеристик

    • 8.3.1  Определение предельного остаточного давления

      • 8.3.1.1  Определение значения предельного остаточного давления проводят следующим образом. Подготавливают установку к работе согласно п. 2.2.2 ее руководства по эксплуатации. В соответствии со схемой, приведенной в приложении А настоящей методики, присоединяют к фланцу клапана VA1 измерительной камеры установки вакуумметр ионизационный AIGX. На остальных фланцах измерительной камеры установки должны быть установлены заглушки.

      • 8.3.1.2 Откачайте измерительную камеру установки до предельного остаточного давления, выполнив операции пп. 2.3.2—2.3.13 руководства по эксплуатации установки. Значение остаточного давления в камере контролируют по показаниям вакуумметра ионизационного AIGX.

      • 8.3.1.3  Результаты испытаний заносятся в протокол.

    • 8.3.2 Определение диапазона измерений и относительной погрешности

      • 8.3.2.1  Определение диапазона измерений и относительной погрешности измерений давления установки проводят методом сличения показаний ионизационного вакуумметра AIGX и деформационно-термопарного вакуумметра ВДТО-3, входящих в состав установки, с действительными значениями давления, контролируемыми по показаниям установки эталонной вакуумметрической редукционной ВОУ-1 (далее по тексту - ВОУ-1) и барометра образцового переносного БОП-1М (далее по тексту - БОП-1М).

      • 8.3.2.2 Выдержите поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационнотермопарный ВДТО-3, ВОУ-1 и БОП-1М при температуре, указанной в п.6.1, не менее 3 ч.

      • 8.3.2.3  Далее поверка проводится в соответствии с п.6.5 МИ 140-89.

      • 8.3.2.4 Результаты измерений занесите в протокол. Рекомендуемая форма протокола приведена в приложении Б.

      • 8.3.2.5 Рассчитайте относительную погрешность 6, для каждой точки во всем диапазоне измерений по формуле

5 =     . too %

Рэ

где ри - измеренное значение давления в камере установки, зафиксированное по показаниям вакуумметров ВДТО-3 и AIGX, входящих в состав установки;

рэ - действительное значение давления, контролируемое по ВОУ-1, в зависимости от диапазона измерений.

  • 8.3.2.6 Результаты поверки считаются положительными, если относительная погрешность в диапазоне измерений от 10'э до 10‘2 Па не превышает ±15 %, в диапазоне от 10’2 до 6,65-103 Па не превышает ±10 %, в диапазоне свыше 6,65 ТО3 до 1,06-105 Па не превышает ±665 Па.

  • 8.3.2.7 Выключите ВОУ-1, БОП-1М и отсоедините поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 9.1 По результатам поверки ионизационного вакуумметра AIGX и деформационнотермопарного вакуумметра ВДТО-3, представленных протоколов согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1 данной методики, при положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

  • 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А. Вакуумная принципиальная схема установки УВЭ-3

насос пЕХТ 300, Р1 - индикаторный тепловой вакуумметр CVM 211, Р2 - вакуумметр деформационно-термопарный эталонный 2-го разряда ВДТО-3, РЗ - вакуумметр ионизационный 2-го разряда AIGX, Р4 - индикаторный вакуумметр сопротивления APG, VF - высокоточный натекатель, VA1-VA7 — вакуумные клапаны, 1 и 2 - порты для присоединения дополнительного оборудования (приборов контроля герметичности, дополнительных откачиваемых объемов и откачных средств, и т.д.)

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель