Методика поверки «ГСИ. Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21» (МП 203-58-2019)
УТВЕРЖДАЮ директора ой метрологии
. Иванникова ктября 2019 г.
Государственная система обеспечения единства измерений
Измеритель толщины германиевых пластин MX 203-4-21 special
МЕТОДИКА ПОВЕРКИ
МП 203-58-2019
Москва. 2019
Настоящая методика предназначена для проведения поверки измерителя толщины германиевых пластин MX 203-4-21 special (далее по тексту - толщиномер), изготовленного Е+Н Metrology GmbH, Германия и предназначенного для измерений толщины и контроля прогиба, коробления и разнотолщинности круглых германиевых пластин.
Интервал между поверками - 1 год.
1 Операции поверки-
1.1. В Таблице 1 приведены операции, обязательные при проведении поверки.
Таблица 1 - Операции, обязательные при поверке
|
Наименование операции |
Номер пункта документа по поверке |
Проведение операции при | |
|
первичной поверке |
периодической поверке | ||
|
1. Внешний осмотр, проверка комплектности и маркировки |
6.1 |
+ |
+ |
|
2. Проверка идентификационных данных программного обеспечения |
6.2 |
+ |
+ |
|
3. Проверка диапазона измерений толщины, абсолютной погрешности измерений толщины и воспроизводимости |
6.3 |
4- |
+ |
-
2.1. Для поверки толщиномера применяют средства измерений, указанные в таблице 2.
Таблица 2 - Средства поверки
|
Номер пункта документа по поверке |
Наименование и тип (условное обозначение) основного или вспомогательного средства поверки; обозначение нормативного документа, регламентирующего технические требования, и (или) метрологические или основные технические характеристики средства поверки |
|
6.3 |
Наборы мер толщины ГЕРМАНИЙ (Per. № 78232-20) |
|
Примечание: - допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого толщиномера с требуемой точностью | |
-
3.1 К проведению измерений при поверке и к обработке результатов измерений допускаются лица, имеющие квалификацию поверителя и изучившие СИ и принцип его работы по эксплуатационной документации.
-
4.1 Освещенность рабочего места поверителя должна соответствовать требованиям Санитарных правил и норм СанПиН 2.2.1/2.1.1.1278-03.
-
5.1. При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:
-
- температура окружающего воздуха - 20 ± 2 °C;
-
- относительная влажность воздуха - 65 ± 15 %;
-
5.2. Перед проведением поверки толщиномер и средства поверки должны быть подготовлены к работе в соответствии с их эксплуатационной документацией.
-
6. Проведение поверки
Внешний осмотр и проверка комплектности и маркировки проводится визуально. При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие толщиномера следующим требованиям:
- соответствие комплектности толщиномера технической документации:
отсутствие на толщиномере механических повреждений, влияющих на работоспособность.
Толщиномер считается годным, если он соответствует всем вышеперечисленными требованиям.
6.2. Проверка идентификационных данных программного обеспечения-
6.2.1 Провести идентификацию программного обеспечения (ПО) в соответствии с Р 50.2.077-2014.
6.2.2 Толщиномер считается годным, если идентификационные данные соответствуют при веден ньтм в таблице 3.
Таблица 3 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
MX-NT |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.763 и выше |
-
6.3.1 Для проверки диапазона измерений толщины, абсолютной погрешности измерений толщины и воспроизводимости используют набор мер толщины ГЕРМАНИЙ. Отобрать из набора несколько мер с номинальными значениями, равномерно распределенными по диапазону измерений толщиномера.
-
6.3.2 Измерить каждую отобранную меру не менее 5 раз.
-
6.3.3 Для каждой серии измерений по формулам (1) - (3) вычислить среднее арифметическое значение hcp, абсолютную погрешность измерений Д и воспроизводимость S .
(1)
где hi - результат i-ro измерения, мм; и - число измерений.
где /? - действительное значение меры, мм.
(3)
6.3.4 Толщиномер считается годным, если абсолютная погрешность и воспроизводимость на всем диапазоне измерений не превышает значений, приведенных в таблице 4. Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, мкм |
от 150 до 550 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм |
±(0.5+0,005 L), где L, мкм |
|
Воспроизводимость, мкм |
0,3 |
-
7.1 При положительных результатах поверки на толщиномер выдается свидетельство о поверке в соответствии с требованиями приказа Минпромторга от 02.07.2015 №1815.
-
7.2 Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
-
7.3 В случае отрицательных результатов поверки на толщиномер выдается извещение о непригодности с указанием причин.
Е.А. Милованова
М.Л. Бабаджанова
Т.А. Корюшкина
Зам. начальника отдела 203
Начальник лаборатории 203/3
Младший научный сотрудник лаб. 203/3
4