Методика поверки «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218» (МП 231-0079-2020)

Федеральное государственное унитарное предприятие

«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

ентября 2020 г.

рального директора

М им. Д.И. Менделеева»

А.Н. Пронин

Государственная система обеспечения единства измерений

Методика поверки

Руководитель НИО

государственных эталонов в области измерений давления

Р.А. Тетерук

Д.М. Фомин

Санкт-Петербург

2020

• 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

  • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218 (далее - течеискатели) и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

  • 1.2 Методикой поверки не предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов и (или) отдельных автономных блоков из состава средства измерений для меньшего числа измеряемых величин или на меньшем числе поддиапазонов измерений.

• 2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

• 2.2 Поверка прекращается в случае получения для поверяемого течеискателя отрицательного результата хотя бы по одному из пунктов таблицы 1.

• 3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

3.1 При проведении поверки должны быть применены средства измерений и вспомогательное оборудование, указанные в таблице 2.

Таблица 2

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке (сертификаты калибровки).

• 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

• 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

• 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованным в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные средства измерений и поверяемый течеискатель.

• 5.1 При поверке должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных средств измерений и поверяемого течеискателя.

• 6.1 Поверку следует проводить при следующих условиях:

• - температура окружающего воздуха, °C: от +10 до +35;

• - относительная влажность окружающего воздуха, %: не более 80;

• - атмосферное давление, кПа: от 84 до 106,7.

• 7.1 Подготовить к работе эталон и поверяемый течеискатель к работе в соответствии с их руководствами по эксплуатации.

• 8.1 Внешний осмотр

При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие течеискателя следующим требованиям:

• - течеискатель должен быть чистым;

• - маркировка должна быть четкой, читаемой;

• - течеискатель не должен иметь повреждений корпуса - трещин, сколов, вмятин;

• - внешний вид течеискателя должен соответствовать конструктивным требованиям, указанным в эксплуатационной документации;

• - внешний интерфейс течеискателя должен соответствовать требованиям конструктивного исполнения;

• - комплектность течеискателя должна соответствовать комплектности, указанной в технической документации.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если течеискатель соответствует всем вышеперечисленным требованиям.

• 8.2 Опробование

Опробование производится в соответствие с указаниями, приведенными в эксплуатационной документации на поверяемый течеискатель.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если течеискатель функционирует в соответствии с эксплуатационной документацией.

• 8.3 Подтверждение соответствия ПО

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя.

Определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя проводят следующим образом:

• 8.3.1 Включить течеискатель.

• 8.3.2 Перейти в пункт меню «Setup» - «Information» - «System data». На дисплее течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя соответствует требованиям, указанным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные (признаки) ПО

• 8.4 Определение относительной погрешности измерений

  • 8.4.1 Включить течеискатель. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

  • 8.4.2 Перевести течеискатель в режим работы «Vacuum».

  • 8.4.3 Перевести течеискатель в режим измерений «ULTRA».

  • 8.4.4 Установить на вход течеискателя меру потока (течь гелиевую) из состава эталона (далее - эталонная мера потока) с потоком не ниже 5-Ю*¹⁰ Пам³/с или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

  • 8.4.5 Провести внешнюю калибровку течеискателя. После проведения внешней калибровки на экране течеискателя должна отображаться величина внешней течи с учетом погрешности, если величина течи отличается более чем на величину погрешности прибора в данном диапазоне, проводят процедуру калибровки повторно.

  • 8.4.6 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10'¹¹ до 5-10’¹⁰ Пам³/с.

  • 8.4.7 Нажать кнопку «START». Дождаться установления стабильных показаний, индицируемых на дисплее течеискателя. По показаниям определить значение потока установленной течи Qti, результаты занести в протокол. Нажать кнопку «STOP» в течении 3 секунд (длительное нажатие кнопки производит напуск атмосферы на вход течеискателя).

  • 8.4.8 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 110'⁹ до 5-10'⁸ Па-м³/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

  • 8.4.9 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-Ю"⁷ до 5-10'⁵ Пам³/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

  • 8.4.10 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя.

  • 8.4.11 Перевести течеискатель в режим измерений «FINE».

  • 8.4.12 Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10‘⁹ до 5-10‘⁸ Па м³/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

  • 8.4.13 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 110‘⁷ до 5-1 О*⁵ Пам³/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

  • 8.4.14 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя.

  • 8.4.15 Выполнить операции пп. 8.4.3-8.4.14 настоящей методики поверки еще два раза. Результаты занести в протокол поверки.

  • 8.4.16 Установить на вход течеискателя специальную заглушку.

  • 8.4.17 Выключить течеискатель.

  • 8.4.18 Относительную погрешность измерений течеискателя % для каждой эталонной меры потока вычислить по формуле (1)

о 6г,  8э._100о/

где Qti■- значение потока /-той эталонной меры потока, измеренное течеискателем, Па м³/с;

Qji - действительное значение потока /-той эталонной меры потока, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», Па м³/с.

• 8.4.19 Результат поверки по данному пункту считают положительным, если максимальное значение относительной погрешности измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме измерений «ULTRA» не превышает пределов ±(0,15 + Qhiih/QtOIOO % (где Q_Hnw - нижний предел измерений течеискателя, Qhiih ⁼ 110‘¹² Пам³/с), в режиме измерений «FINE» - не превышает пределов ±50 %.

• 9.1 Результаты поверки оформляют протоколом.

• 9.2 При положительных результатах поверки течеискателя оформляется свидетельство о поверке. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

• 9.3 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности к применению с указанием причин.