Методика поверки «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218» (МП 231-0079-2020)

Методика поверки

Тип документа

ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218

Наименование

МП 231-0079-2020

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное государственное унитарное предприятие

«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

ентября 2020 г.

РЖДАЮ

рального директора

М им. Д.И. Менделеева»

А.Н. Пронин

Государственная система обеспечения единства измерений

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218

Методика поверки

МП 231-0079-2020

Руководитель НИО

государственных эталонов в области измерений давления

Р.А. Тетерук

Руководитель группы

Д.М. Фомин

Санкт-Петербург

2020

  • 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

    • 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218 (далее - течеискатели) и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

    • 1.2 Методикой поверки не предусмотрена возможность проведения поверки отдельных измерительных каналов и (или) отдельных автономных блоков из состава средства измерений для меньшего числа измеряемых величин или на меньшем числе поддиапазонов измерений.

  • 2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операции

Номер пункта методики

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Подтверждение соответствия ПО

8.3

+

+

Определение относительной погрешности измерений

8.4

+

+

  • 2.2 Поверка прекращается в случае получения для поверяемого течеискателя отрицательного результата хотя бы по одному из пунктов таблицы 1.

  • 3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

3.1 При проведении поверки должны быть применены средства измерений и вспомогательное оборудование, указанные в таблице 2.

Таблица 2

Номер пункта

МП

Наименование и тип (условное обозначение) основного или вспомогательного средства поверки; обозначение нормативного документа, регламентирующего технические требования и (или) метрологические и основные технические характеристики средства поверки

6.1

Термогигрометр ИВА-6Н-Д (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 46434-11).

8.4

Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10‘12 - 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006 (2.1.ZZB.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10'12 до 10'9 Па м3/с не более (0.1 - 0.015); в диапазоне свыше 10’9 до 1 Па-м3/с не более 0,015.

  • 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке (сертификаты калибровки).

  • 3.3 Эталоны, применяемые при поверке, должны быть аттестованы и иметь действующие свидетельства об аттестации эталона.

  • 3.4 Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованным в установленном порядке.

  • 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные средства измерений и поверяемый течеискатель.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При поверке должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных средств измерений и поверяемого течеискателя.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 6.1 Поверку следует проводить при следующих условиях:

  • - температура окружающего воздуха, °C: от +10 до +35;

  • - относительная влажность окружающего воздуха, %: не более 80;

  • - атмосферное давление, кПа: от 84 до 106,7.

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 7.1 Подготовить к работе эталон и поверяемый течеискатель к работе в соответствии с их руководствами по эксплуатации.

8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
  • 8.1 Внешний осмотр

При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие течеискателя следующим требованиям:

  • - течеискатель должен быть чистым;

  • - маркировка должна быть четкой, читаемой;

  • - течеискатель не должен иметь повреждений корпуса - трещин, сколов, вмятин;

  • - внешний вид течеискателя должен соответствовать конструктивным требованиям, указанным в эксплуатационной документации;

  • - внешний интерфейс течеискателя должен соответствовать требованиям конструктивного исполнения;

  • - комплектность течеискателя должна соответствовать комплектности, указанной в технической документации.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если течеискатель соответствует всем вышеперечисленным требованиям.

  • 8.2 Опробование

Опробование производится в соответствие с указаниями, приведенными в эксплуатационной документации на поверяемый течеискатель.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если течеискатель функционирует в соответствии с эксплуатационной документацией.

  • 8.3 Подтверждение соответствия ПО

Операция «Подтверждение соответствия программного обеспечения» состоит из определения номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя.

Определение номера версии (идентификационного номера) программного обеспечения течеискателя проводят следующим образом:

  • 8.3.1 Включить течеискатель.

  • 8.3.2 Перейти в пункт меню «Setup» - «Information» - «System data». На дисплее течеискателя появится номер версии программного обеспечения.

Результат поверки по данному пункту считают положительным, если номер версии программного обеспечения поверяемого течеискателя соответствует требованиям, указанным в таблице 3.

Таблица 3 - Идентификационные данные (признаки) ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

INFICON LX218

Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже

VI.18

  • 8.4 Определение относительной погрешности измерений

    • 8.4.1 Включить течеискатель. Для получения более точных результатов измерений необходимо обеспечить холостую работу откачных средств, входящих в состав течеискателя, в течение не менее 30 минут.

    • 8.4.2 Перевести течеискатель в режим работы «Vacuum».

    • 8.4.3 Перевести течеискатель в режим измерений «ULTRA».

    • 8.4.4 Установить на вход течеискателя меру потока (течь гелиевую) из состава эталона (далее - эталонная мера потока) с потоком не ниже 5-Ю*10 Пам3/с или меру потока (течь гелиевую) заказчика, имеющую действующее свидетельство о поверке (калибровке).

    • 8.4.5 Провести внешнюю калибровку течеискателя. После проведения внешней калибровки на экране течеискателя должна отображаться величина внешней течи с учетом погрешности, если величина течи отличается более чем на величину погрешности прибора в данном диапазоне, проводят процедуру калибровки повторно.

    • 8.4.6 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10'11 до 5-10’10 Пам3/с.

    • 8.4.7 Нажать кнопку «START». Дождаться установления стабильных показаний, индицируемых на дисплее течеискателя. По показаниям определить значение потока установленной течи Qti, результаты занести в протокол. Нажать кнопку «STOP» в течении 3 секунд (длительное нажатие кнопки производит напуск атмосферы на вход течеискателя).

    • 8.4.8 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 110'до 5-10'8 Па-м3/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

    • 8.4.9 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-Ю"до 5-10'5 Пам3/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

    • 8.4.10 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя.

    • 8.4.11 Перевести течеискатель в режим измерений «FINE».

    • 8.4.12 Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 1-10‘9 до 5-10‘8 Па м3/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

    • 8.4.13 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя эталонную меру потока с диапазоном воспроизведения потока от 110‘до 5-1 О*5 Пам3/с. Выполнить операции п. 8.4.7 настоящей методики поверки.

    • 8.4.14 Отсоединить эталонную меру потока от входа течеискателя.

    • 8.4.15 Выполнить операции пп. 8.4.3-8.4.14 настоящей методики поверки еще два раза. Результаты занести в протокол поверки.

    • 8.4.16 Установить на вход течеискателя специальную заглушку.

    • 8.4.17 Выключить течеискатель.

    • 8.4.18 Относительную погрешность измерений течеискателя % для каждой эталонной меры потока вычислить по формуле (1)

о 6г,  8э.100о/

(1)

Q„

где Qti■- значение потока /-той эталонной меры потока, измеренное течеискателем, Па м3/с;

Qji - действительное значение потока /-той эталонной меры потока, входящей в состав государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, определенное в ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», Па м3/с.

  • 8.4.19 Результат поверки по данному пункту считают положительным, если максимальное значение относительной погрешности измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме измерений «ULTRA» не превышает пределов ±(0,15 + Qhiih/QtOIOO % (где QHnw - нижний предел измерений течеискателя, Qhiih = 110‘12 Пам3/с), в режиме измерений «FINE» - не превышает пределов ±50 %.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 9.1 Результаты поверки оформляют протоколом.

  • 9.2 При положительных результатах поверки течеискателя оформляется свидетельство о поверке. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

  • 9.3 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности к применению с указанием причин.

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель