Методика поверки «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые ASM» (МП 231-0014-2011)

Руководитель

ГЦИ СИ фгупШ^иим им.Д.И.1\£/нделее'ва»

Н.И.ХаДов :()11 г. J

■ ' ■

V. '    •                              Л

У' '

А. '

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

Руководитель отдела ГЦИ СИ

ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева"

• 1.1 Настоящая методика поверки распространяется на течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии ASM (далее по тексту - течеискатели) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2 Межповерочный интервал - 1 год.

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п.8.1 или 8.2 настоящей методики.

При первичной поверке течеискатель возвращается изготовителю с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления. При периодической поверке течеискатель возвращается представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 1

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат или отметку в паспорте.

• 3.3 Допускается применять другие средства измерений, не уступающие указанным по точности и пределам измерений.

• 4.1 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие местный инструктаж по безопасности труда, инструктаж по работе на рабочем эталоне единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06 и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже II.

• 4.2 К поверке допускаются лица, ознакомленные с эксплуатационной документацией на рабочий эталон единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06 и поверяемый течеискатель.

• 5.1 При поверке течеискателей должны быть соблюдены требования безопасности труда, производственной санитарии и охраны окружающей среды, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений

• 6.1 При проведении операций поверки должны быть соблюдены следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                    20±2

• - относительная влажность воздуха, %                      60±20

• - атмосферное давление, кПа                                от 84 до 106,7

• 7.1 Проверить наличие свидетельства о предыдущей поверке течеискателя (при периодической поверке).

• 7.2 Проверить наличие эксплуатационной документации на течеискатель.

• 7.3 Проверить работоспособность рабочего эталона единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра поверяемого течеискателя устанавливается наличие маркировки и отсутствие внешних дефектов, повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики поверяемого СИ.

• 8.1.2 Течеискатель, не удовлетворяющий требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2.1 Опробование производиться в соответствие с указаниями, приведенными в инструкции эксплуатационной (ИЭ) на поверяемый течеискатель соответствующего исполнения.

Для определения метрологических характеристик течеискателя применяют четыре эталонные меры потока (течи гелиевые), входящие в состав рабочего эталона единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06 - ГТ1_рэ, ГТ2_рэ, ГТЗ_рэ, ГТ4_рэ, потоки которых находятся в разных декадах диапазона измерений поверяемого течеискателя.

• 8.3.1 Включить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в ИЭ поверяемого течеискателя.

• 8.3.2 Провести калибровку течеискателя в соответствии указаниями, приведенными в ИЭ поверяемого течеискателя.

• 8.3.3 Выбрать метод работы течеискателя «Вакуумная камера».

• 8.3.4 Перевести течеискатель в режим прямотока.

• 8.3.5 Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ1_рэ.

• 8.3.6 По показаниям, индицируемым на дисплее лицевой панели течеискателя, определить значение потока установленной течи Qn. Измерения произвести не менее трех раз. Результаты занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.3.7 Отсоединить гелиевую течь ГТ1_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ2_рэ. Выполнить операции п. 8.3.6.

• 8.3.8 Отсоединить гелиевую течь ГТ2_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТЗ_рэ.

• 8.3.9 Перевести течеискатель в режим противотока. Выполнить операции п. 8.3.6.

• 8.3.10 Отсоединить гелиевую течь ГТЗ_рэ от входа течеискателя. Установить на вход течеискателя гелиевую течь ГТ4_рэ. Выполнить операции п. 8.3.6.

• 8.3.11 Отсоединить гелиевую течь ГТ4_рэ от входа течеискателя.

• 8.3.12 Выключить течеискатель в соответствие с указаниями, приведенными в ИЭ поверяемого течеискателя.

• 8.3.13 Относительную погрешность измерений течеискателя Зц для каждой эталонной гелиевой течи вычислить по формуле:

8₇., = Qn~^Q3i ,₁₀₀ о_/о

Qn

где Qn - значение потока z-той эталонной гелиевой течи, измеренное течеискателем;

Qji - действительное значение потока z-той эталонной течи ГТ_рэ, входящей в состав рабочего эталона единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06, определенное в ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

• 8.3.14 Результаты поверки течеискателя занести в протокол, форма которого приведена в Приложении А.

• 8.3.15 Результаты поверки считаются положительными, если максимальное значение относительной погрешности измерений течеискателя не превышает:

-для диапазона от 5-10'¹³ до 5-10'⁵ Па-м³/с                   ±(0,15 + бя™/бт/)’Ю0 %,

где Онпп~ нижний предел измерений течеискателя (Qhijh ⁼ 5-10'¹³ Па-м³/с);

- для диапазона свыше 5-10’⁵ до Г10'¹ Па-м³/с              ±50%.

• 9.1 На течеискатель, признанный годным по результатам поверки, оформляют свидетельство о поверке установленной формы.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки течеискатель к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Руководитель группы ГЦИ СИ

А.А.Чернышенко

ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева»

(рекомендуемое)

ФОРМА ПРОТОКОЛА ПОВЕРКИ

ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ГЕЛИЕВЫХ СЕРИИ ASM

Дата:________________

Температура окружающей среды:_______________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:________________________, кПа

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)