Методика поверки «Датчики волнового фронта автоколлимационные ШаГ-25020» (МП №203-21-2019)

ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ

(ФГУП «ВНИИМС»)

СОГЛАСОВАНО

Генеральный директор

С 01

И. П. Николаев 19 г.

УТВЕРЖДАЮ

Зам. директора по производственной

метрологии

«ВНИИМС»

Иванникова норд 2019 г.

Настоящая методика поверки распространяется на датчики волнового фронта авто-коллимационные ШаГ-25020 (далее по тексту - приборы), выпускаемые ООО «Визиони-ка», г. Москва, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год,

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1.

Примечание: Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью.

При проведении поверки приборов необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование.

• 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

• 3.1.1 Помещение, где проходят поверку, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха должна быть в диапазоне от 40 до 70% при температуре от +18 до +22.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С.

• 3.1.2 Частота возмущающих гармоничных вибраций, действующих на прибор, не должна превышать 30 Гц. При частотах вибраций менее 1 Гц амплитуда виброперемещения не должна превышать 0,3 мм.

Если показатели вибраций в помещении превышают указанные значения, прибор должен быть установлен на виброизолируемом фундаменте.

• 3.1.3 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

  • 3.2 Требования безопасности

    • 3.2.1. К проведению поверки допускается персонал, прошедший курс обучения работе на приборах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

• 3.2.2 При работе на приборе обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019.

• 3.2.3 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004.

• 3.2.4 Работать на приборе без заземления запрещается. Подключение прибора к сети производить предварительно проверенным сетевым кабелем. Отсоединение и присоединение кабелей производить только при отсутствии питающих напряжений.

Приборы и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

• 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие прибора следующим требованиям:

• - маркировка и комплектность прибора должны соответствовать указанным в руководстве по эксплуатации;

• - на наружных поверхностях прибора и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

• - движение подвижных частей и механизмов прибора должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

• - крепления съемных, сменных и подвижных частей прибора должно быть надежным.

• 5.1.2. Результаты поверки прибора признаются положительными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствует требованиям технической документации.

Проверяется возможность настройки прибора в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ).

• 5.2.1 Подготовить прибор к работе в соответствии с РЭ.

• 5.2.2 Настроить гартмановскую картину в соответствии с РЭ.

• 5.2.3 Провести обработку гартманограммы, используя комплекс программного обеспечения.

• 5.2.4 Убедиться, что ввод изображения, визуализация гартманограммы, функционирование системы управления прибора производится в соответствии с РЭ прибора.

• 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если прибор позволяет произвести настройку в соответствии с РЭ.

5.3.1. Идентификацию ПО прибора провести по следующей методике:

• - произвести запуск ПО;

• - проверить наименование программного обеспечения и его версию;

• - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО прибора;

• - установить уровень защиты ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014;

• - оценить влияние ПО на метрологические характеристики прибора.

• 5.3.2. Прибор считается поверенным в части программного обеспечения, если его ПО - Shah версии - v.12 и выше.

• 5.5.1 Подготовить прибор к работе, в соответствии с РЭ.

• 5.5.2 Установить меру отклонений от плоскостности в приспособление для крепления мер в схему прибора. Осуществить выравнивание меры таким образом, чтобы оптические оси прибора и меры совпадали.

• 5.5.3 Выполнить измерение волнового фронта, полученного от меры, используя комплекс программного обеспечения. Полученное значение отклонений от плоскостности по параметру PV записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение.

• 5.5.4 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности по параметру PV определить по формуле:

Э Хер Хп,                                              (1)

где х_ср - полученное среднее значение отклонений от плоскостности, х_п - паспортное значение отклонений от плоскостности меры.

• 5.5.5 Прибор считается поверенным, если абсолютная погрешность измерений отклонений от плоскостности не более ±0,1 мкм.

• 5.6.1 Подготовить прибор к работе, в схему в соответствии с РЭ.

• 5.6.2 Установить меру отклонений от плоскостности в приспособление для крепления мер в схему прибора. Осуществить выравнивание меры таким образом, чтобы оптические оси прибора и меры совпадали.

• 5.6.3 Выполнить измерение волнового фронта, полученного от меры, используя комплекс программного обеспечения. Полученное значение отклонений от плоскостности по параметру RMS записать в протокол. Провести не менее 10 измерений. Вычислить среднее значение.

• 5.6.4 Случайную составляющую погрешности измерений отклонений от плоскостности по параметру RMS определить по формуле:

  п

  

(2)

где п - число измерений, х,- z-e измерение отклонения от плоскостности по параметру RMS, х_ср - полученное среднее значение отклонений от плоскостности.

• 5.6.5 Прибор считается поверенным, если случайная составляющая измерений отклонений от плоскостности по параметру RMS не более ±0,005 мкм.

Результаты поверки оформляются в соответствии с требованиями Приказа Минпромторга Российской Федерации № 1815 от 02.07.2015.

При положительных результатах выдается свидетельство о поверке с протоколом. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

При отрицательных результатах поверки выдается извещение о непригодности прибора с указанием причин.

Н.А. Табачникова

Д.А. Новиков

Зам. нач. отдела Испытательного центра

ФГУП «ВНИИМС»

Науч, сотрудник отдела Испытательного центра

ФГУП «ВНИИМС»