Методика поверки «СКАНИРУЮЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ АНАЛИЗАТОР ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН РЕФЛЕКС КНС » (МП-640-037-17)

УТВЕРЖДАЮ

Первый заместитель генерального

ктора-заместитель по научной работе

ФГУП «ВНИИФТРИ»

« г

А.Н. Щипунов

07   2018 г.

ИНСТРУКЦИЯ

СКАНИРУЮЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ АНАЛИЗАТОР ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН РЕФЛЕКС КНС МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП-640-037-17 р.п. Менделеево 2018 г.

Настоящая методика поверки распространяется на сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС (далее - анализатор), заводской номер 057, изготовленный ООО "Рефлекс Лайт", г. Зеленоград, и устанавливает методы и средства его первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками - 1 год.

1.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1. Таблица 1 - Объем поверки

2 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

2.1 При поверке должны быть использованы средства, указанные в таблице 2. Таблица 2 - Средства поверки

• 3.1 К проведению испытаний допускаются лица с высшим или среднем техническим образованием, имеющие квалификацию не ниже инженера, опыт работы в радиоизмеритель-ной или физической сфере не менее 1 года, владеющих техникой измерений параметров аэрозолей, взвесей и порошкообразных материалов, изучивших настоящую программу испытаний и эксплуатационную документацию на анализатор и используемое при испытаниях оборудование, прошедшие инструктаж по технике безопасности.

• 4.1 При проведении поверки должны выполняться общие правила техники безопасности и производственной санитарии по ГОСТ 12.3.019-80 и ГОСТ 12.1.005-88, а также правила безопасности в эксплуатационной документации на анализатор и средства поверки.

• 5.1 Поверку проводить в нормальных условиях:

• -  температура окружающего воздуха, °C                           от +18 до +22;

относительная влажность окружающего воздуха (без конденсата), % от 45 до 80; атмосферное давление, кПа                                      от 84 ог 106,7.

• 5.2 Характеристики питающей электрической сети должны соответствовать требованиям:

напряжение, В                                                  от 198 до 242;

• -    частота переменного тока, Гц                                         (50 ± 1).

• 6.1 Анализатор должен быть подготовлен к работе согласно соответствующему разделу руководства по его эксплуатации с учетом требований безопасности. В процессе подготовки необходимо выполнить следующие операции:

-соединить составные части анализатора (измерительный блок и компьютер) между собой и подсоединить их к сети электропитания;

-подсоединить к измерительному блоку вакуумную линию, обеспечивающее вакуумное давление 66,6 кПа (500 мм рт.ст.).

-при необходимости установить на компьютер автономное программное обеспечение (ПО) и запустить его;

-включить измерительный блок с помощью переключателя на задней панели его корпуса и выдержать во включенном состоянии в течение 30 мин, после чего выполнить команду Сброс для установки столика для размещения анализируемой пластины в исходное положение. Анализатор считать готовым к работе и нормально функционирующим, если столик находится в исходном положении, на компьютере отображается главное окно, сообщения об ошибках и сбоях в работе анализатора отсутствуют.

• 6.2 Анализатор считать готовым к работе, если столик находится в исходном положении, на компьютере отображается главное окно, сообщения об ошибках и сбоях в работе анализатора отсутствуют.

• 7.1.1  При внешнем осмотре проверить:

• -  комплектность анализатора;

• -  полноту и качество маркировки, наличие пломб;

• -  отсутствие механических повреждений и других видимых дефектов, влияющих на работоспособность и безопасность анализатора;

• -  чистоту загрузочного отделения в измерительном блоке анализатора.

• 7.1.2  Анализатор считать пригодным для проведения поверки, если:

• -  комплектность, внешний вид, маркировка и пломбирование соответствуют требованиям эксплуатационной документации;

• -  отсутствуют видимые механические повреждения;

• -  загрузочное отделение не имеет видимых загрязнений.

В противном случае результаты поверки считать отрицательными, испытания далее не проводить.

• 7.2.1  При проверке работоспособности анализатора использовать тестовую пластину с предварительно нанесенными на нее частицами монодисперсного латекса с размеров частиц 1 мкм. Поверхностная концентрация нанесенных частиц - от 900 до 2000 дм^-2. Провести анализатором измерение тестовой пластины с нанесенными на нее частицами с известными размерами и концентрацией. По окончании процедуры измерения, результаты занести в протокол испытаний. Определить относительную погрешность измерений поверхностной концентрации в дм^-2 по формуле (1):

6 ₌ Qu - Q. ₁₀₀ о_{/о>                                       (1)}

где С_си - значение поверхностной концентрации на тестовой пластине, измеренное анализатором;

С₃ - заданное значение поверхностной концентрации.

Анализатор считать способным проводить измерения, если расчетные значения относительной погрешности измерений находятся в заявленных допускаемых пределах.

• 7.2.2  Анализатор считать работоспособным, если он функционируют нормально, и способен проводить измерения. В противном случае анализатор считать неработоспособным, результаты поверки отрицательными.

• 7.3.1 Проверить соответствие идентификационных данных автономного ПО (наименование и версия), отображаемых в соответствующем меню на дисплее управляющего компьютера, с паспортными данными.

• 7.3.2 Результаты идентификации ПО считать положительными, если наименование и версия ПО согласно данным таблицы 3, соответствующим паспортным данным анализатора. В противном случае результаты поверки считать отрицательными.

Таблица 3. Идентификационные данные ПО анализатора

• 7.4.1 При поверке использовать тестовые пластины и монодисперсные латексы с размерами частиц 0,2, 1, 3 мкм.

Поверку анатизатора провести следующим образом:

а)    подготовить анализатор к измерениям в соответствии с руководством по его эксплуатации;

б)    приготовить суспензию монодисперсного латекса с размерами частиц 0,2 мкм;

в)    залить суспензию в генератор аэрозольных частиц из состава ГЭТ. Выход генератора соединить с системой анализа дифференциальной электрической подвижности (далее - САДЭП) из состава ГЭТ для создания монодисперсного аэрозоля;

г)    аэрозоль, получаемый на выходе САДЭП подать в конденсационный аэрозольный счетчик из состава ГЭТ. Дождаться установки стабильной концентрации частиц в течение 15 минут;

д)    отсоединить конденсационный аэрозольный счетчик и на его место установить тестовую пластину. Монодисперсный латекс должен быть нанесен таким образом, чтобы его частицы не были в слипшемся состоянии и были распределены на поверхности тестовой пластины. Поверхностная концентрация - 50 % от верхней границы поддиапазона;

е)    установить тестовую пластину с нанесенным монодисперсным латексом в анализатор и провести измерение. Результат измерения занести в протокол поверки;

ж)    выполнить повторно пп. б) -е) на чистых тестовых пластинах для латексов с размерами частиц 1 мкм, 3 мкм и концентраций 10 и 90 % от верхних границ заявленных диапазонов. Результаты измерений, выполненных анализатором, занести в протокол поверки.

• 7.4.2 Определить относительную погрешность измерений поверхностной концентрации по формуле (1) и приведенную погрешность по формуле (2):

  
  

  (2)

где С_си - значение поверхностной концентрации на тестовой пластине, измеренное анализатором;

С₃ - заданное значение поверхностной концентрации;

С_в - верхняя граница поддиапазона.

• 7.4.3 Результаты поверки считать положительными, если расчетные значения относительной (приведенной) погрешности измерений поверхностной концентрации находятся в пределах ±10 % для поддиапазона поверхностной концентрации частиц и дефектов от 3 до 15 дм'² включ., ±25 % для поддиапазона поверхностной концентрации частиц и дефектов св. 15 до 900 дм’² включ., ±30 % для поддиапазона поверхностной концентрации частиц и дефектов св. 900 до 100000 дм’². В противном случае результаты поверки считать отрицательными.

• 8.1 Результаты поверки оформить протоколом.

• 8.2 При положительных результатах поверки анализатор признается годным и на него выдается свидетельство утвержденного образца. На свидетельство наносится знак поверки в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.

• 8.3 При отрицательных результатах поверки анализатор к дальнейшей эксплуатации не допускается и на него выписывается «Извещение о непригодности» установленного образца с указанием причин непригодности.

Начальник лаборатории 640

ФГУП «ВНИИФТРИ»

Ведущий инженер лаб. 640

ФГУП «ВНИИФТРИ»