Методика поверки «Интерферометр DIMETIOR VB» (МП № 203-22-2019)

ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ

(ФГУП «ВНИИМС»)

УТВЕРЖДАЮ

Зам. директора оизводственной метрологии ФГУП НИИМС»

'2Q-5

О. Z- '^ч-Г

26 марта 2019 г.

Настоящая методика поверки распространяется на интерферометр DIMETIOR VB (далее по тексту - интерферометр), зав. № VB14-002, изготовленного ESDI, США, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год.

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции и средства поверки

Примечание: Допускается применение средств, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

При проведении поверки интерферометров необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование.

• 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

• 3.1.1 Помещение, где проходят испытания, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 90% при температуре (20±2)°С.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С.

• 3.1.2 Частота возмущающих гармоничных вибраций, действующих на интерферометр, не должна превышать 30 Гц. При частотах вибраций менее 1 Гц амплитуда виброперемещения не должна превышать 0,3 мм.

Если показатели вибраций в помещении превышают указанные значения, интерферометр должен быть установлен на виброизолируемом фундаменте.

• 3.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен быть размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов.

• 3.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон.

• 3.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

• 3.2 Требования безопасности

• 3.2.1. К проведению испытаний допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

• 3.2 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019.

• 3.3 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с «Санитарными правилами при работе с лазерами» № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040.

• 3.4 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004.

• 3.5 Средство измерений должно быть заземлено.

Интерферометры и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

• 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

• - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в формуляре, руководстве по эксплуатации и описании типа на данное средство измерений;

• - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

• - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

• - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

• 5.1.2. Результаты поверки признаются положительными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствует требованиям технической документации.

Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ).

• 5.2.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ.

• 5.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения.

• 5.2.4 Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра.

• 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяет произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 5.3.1. Идентификацию ПО интерферометра провести по следующей методике:

• - произвести запуск ПО;

• - проверить наименование программного обеспечения и его версию;

• - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО интерферометра;

• 5.3.2. Интерферометр считается поверенным в части программного обеспечения, если его ПО - IntelliWave версии - 6.7.1 и выше.

• 5.4.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.4.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 5.4.3 Последовательно провести не менее 10 измерений отклонений от плоскостности. Полученные значения записать в протокол. Вычислить среднее значение.

• 5.4.4 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности определить по формуле:

Л — Хер ~ Хп ,                                      (2)

где х_Ср - полученное среднее значение отклонений от плоскостности, мкм;

х_л - значение отклонения от плоскостности меры, указанное в свидетельстве о поверке, мкм.

• 5.4.5 Результаты поверки считать положительными, если значение абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности находится в пределах ±0,03 мкм.

При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке по форме приложения 1 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

При отрицательных результатах поверки оформляется извещение о непригодности по форме приложения 2 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Научный сотрудник отдела 203

Научный сотрудник отдела 203

Зам. начальника отдела 203