Методика поверки «Интерферометр DIMETIOR VB» (МП № 203-22-2019)

Методика поверки

Тип документа

Интерферометр DIMETIOR VB

Наименование

МП № 203-22-2019

Обозначение документа

ВНИИМС

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ

(ФГУП «ВНИИМС»)

УТВЕРЖДАЮ

Зам. директора оизводственной метрологии ФГУП НИИМС»

'2Q-5

О. Z- '^ч-Г

26 марта 2019 г.

.В. Иванникова

Интерферометр DIMETIOR VB Методика поверки МП №203-22-2019 г. Москва, 2019 г.

Настоящая методика поверки распространяется на интерферометр DIMETIOR VB (далее по тексту - интерферометр), зав. № VB14-002, изготовленного ESDI, США, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год.

1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции и средства поверки

Наименование операции

Номер пункта методики поверки

Средства поверки

Проведение операции при

первичной поверке

периодической поверке

1. Проверка внешнего вида и комплектности

5.1

Визуально

Да

Да

2. Опробование

5.2

Визуально

Да

Да

3. Идентификация программного обеспечения

5.3

Определение идентификационных данных программного    обеспечения,

уровня защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений и оценка его влияния на метрологические   характери

стики интерферометров.

Да

Да

4. Определение абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности

5.4

Мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, per. №48279-11.

Да

Да

Примечание: Допускается применение средств, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

2. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

При проведении поверки интерферометров необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование.

3. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

  • 3.1.1 Помещение, где проходят испытания, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 90% при температуре (20±2)°С.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С.

  • 3.1.2 Частота возмущающих гармоничных вибраций, действующих на интерферометр, не должна превышать 30 Гц. При частотах вибраций менее 1 Гц амплитуда виброперемещения не должна превышать 0,3 мм.

Если показатели вибраций в помещении превышают указанные значения, интерферометр должен быть установлен на виброизолируемом фундаменте.

  • 3.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен быть размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов.

  • 3.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон.

  • 3.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

  • 3.2 Требования безопасности

  • 3.2.1. К проведению испытаний допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

  • 3.2 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019.

  • 3.3 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с «Санитарными правилами при работе с лазерами» № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040.

  • 3.4 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004.

  • 3.5 Средство измерений должно быть заземлено.

4. ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

Интерферометры и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

  • 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

5.1 Проверка внешнего вида и комплектности
  • 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

  • - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в формуляре, руководстве по эксплуатации и описании типа на данное средство измерений;

  • - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

  • - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

  • - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

  • 5.1.2. Результаты поверки признаются положительными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствует требованиям технической документации.

5.2 Опробование

Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ).

  • 5.2.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

  • 5.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ.

  • 5.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения.

  • 5.2.4 Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра.

  • 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяет произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации.

5.3 Идентификация программного обеспечения
  • 5.3.1. Идентификацию ПО интерферометра провести по следующей методике:

  • - произвести запуск ПО;

  • - проверить наименование программного обеспечения и его версию;

  • - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО интерферометра;

  • 5.3.2. Интерферометр считается поверенным в части программного обеспечения, если его ПО - IntelliWave версии - 6.7.1 и выше.

5.4. Определение абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности
  • 5.4.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

  • 5.4.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

  • 5.4.3 Последовательно провести не менее 10 измерений отклонений от плоскостности. Полученные значения записать в протокол. Вычислить среднее значение.

  • 5.4.4 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности определить по формуле:

Л — Хер ~ Хп ,                                      (2)

где хСр - полученное среднее значение отклонений от плоскостности, мкм;

хл - значение отклонения от плоскостности меры, указанное в свидетельстве о поверке, мкм.

  • 5.4.5 Результаты поверки считать положительными, если значение абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности находится в пределах ±0,03 мкм.

6. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке по форме приложения 1 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

При отрицательных результатах поверки оформляется извещение о непригодности по форме приложения 2 Приказа Минпромторга России № 1815 от 02.07.15 г.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Научный сотрудник отдела 203

Научный сотрудник отдела 203

Зам. начальника отдела 203

Д. А. Карабанов

Д. А. Новиков

Н.А. Табачникова

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель