Методика поверки «Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм» (Код не указан!)

Приложение

к приказу Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

от «___» ___________ 2019 г. №______

Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм

• 1.1. Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) средствам измерений при помощи вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

• 1.2. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров шероховатости с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

• 1.3.  Графическая часть государственной поверочной схемы представлена в Приложении А.

• 2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

• 2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

• - модернизированный прецизионный метрологический сканирующий зондовый микроскоп нанометрового диапазона НаноСкан-3Di в диапазоне от 0,001 до 50 мкм;

• -  модернизированный автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-М1 в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм;

• -  модернизированный прецизионный контактный профилометр нанометрового диапазона Talystep в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм;

- модернизированный контактный широкодиапазонный профилометр Form TalySurf в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

• 2.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности:

а) Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 12,5 мкм:

• - со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2 •IO^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей 1,4 •IO^-3 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу А, u_A = 0,2-10^-3 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу В, u_B = 1,4-10^-3 мкм,

• - суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,4-10^-3 мкм,

• - расширенная неопределенности при k=2, U = 2,8-10^-3 мкм,

б) Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 0,75 мкм:

• - со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2 •IO^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей 1,3-10"³ мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу А, uA = 0,2-10^-3 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB = 1,3-10^-3 мкм,

• - суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,3-10^-3 мкм,

• - расширенная неопределенности при k=2, U = 2,6-10^-3 мкм,

в) Rmax и Rz в диапазоне от O,O25 до O,1 мкм; Ra в диапазоне от O,OO6 до O,O25 мкм:

• - со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,5-10^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей

• 1.2- 10^-3 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу А, u_A = 1,5-10^-3 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB = 1,2-10^-3 мкм,

• - суммарная стандартная неопределенность, uC = 1,9-10^-3 мкм,

• - расширенная неопределенности при k=2, U = 3,8-10^-3 мкм,

г) Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra в диапазоне от 0,4 до 750 мкм:

• - со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 4,0-10^-2 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности 0, не превышающей

• 1.3- 10^-2 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу А, uA 4,0-10^-2 мкм,

• - стандартная неопределенность, оцененная по типу В, uB 1,3-10^-2 мкм,

• - суммарная стандартная неопределенность, uC = 4,2-10^-2 мкм,

• - расширенная неопределенности при k=2, U = 8,4-10^-2 мкм.

• 2.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

• 2.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости и рабочим эталонам 1-го разряда методом сличения при помощи мер и методом прямых измерений.

• 3.1. В качестве вторичных эталонов используют оптические профилометры и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

Ъ.7.. Средние квадратические отклонения суммарной погрешности S_s результата сличений вторичных эталонов с ГПСЭ при 20 независимых измерениях составляют от 0,01 % до 1,5 %.

• 3.3. Вторичные эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

• 4. Рабочие эталоны

• 4.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют средства измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.1.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей А₀ и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,04 % до 3 %.

• 4.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 2-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

• 4.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют средства измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.2.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей А0 и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 0,08 % до 6 %.

• 4.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 3-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

• 4.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют средства измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

• 4.3.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей А₀ и доверительные границы относительных погрешностей 5₀ при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от 0,2 % до 12 %.

• 4.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

• 5.1. В качестве средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы светового (ПСС) и теневого (ПТС) сечений, контактные профилометры, бесконтактные профилометры, сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) и образцы шероховатости поверхности сравнения в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

• 5.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений составляют от 1 % до 50 %.