Методика поверки «Интерферометры лазерные ФТИ» (МП 203-65-2017)

ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ

(ФГУП «ВНИИМС»)

УТВЕРЖДАЮ Зам. директора по производственной метрологии ФГУТГ «ВНИИМС» .В. Иванникова сентября 2017 г.

аг о у 4;

20*

Настоящая методика поверки распространяется на интерферометры лазерные ФТИ (далее по тексту - интерферометры), выпускаемые ЗАО «Дифракция», г. Новосибирск, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками 1 год.

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены

средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1.

Примечание: Допускается применение средств, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

При проведении поверки интерферометров необходимо соблюдать требования раздела «Указание мер безопасности руководства» по эксплуатации и других нормативных документов на средства измерений и поверочное оборудование.

• 3.1 При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

• 3.1.1 Помещение, где проходят испытания, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружающего воздуха не должна превышать 90% при температуре (20±2)°С.

В помещении не должно быть паров кислот, щелочей, а также воздушных потоков. Колебания температуры воздуха в помещении в течение 1 ч должны быть в пределах ±1°С.

• 3.1.2 Частота возмущающих гармоничных вибраций, действующих на интерферометр, не должна превышать 30 Гц. При частотах вибраций менее 1 Гц амплитуда виброперемещения не должна превышать 0,3 мм.

Если показатели вибраций в помещении превышают указанные значения, интерферометр должен быть установлен на виброизолируемом фундаменте.

• 3.1.3 Интерферометр не должен подвергаться воздействию солнечных лучей и должен быть размещен на расстоянии не менее 2 м от отопительных приборов.

• 3.1.4 Доступ к интерферометру должен быть обеспечен со всех сторон.

• 3.1.5 Измерительное пространство схем контроля должно быть изолированно от местных воздушных поток.

• 3.2 Требования безопасности

• 3.2.1. К проведению испытаний допускается персонал, прошедший курс обучения работе на интерферометрах и имеющий квалификацию по электробезопасности не ниже I квалификационной группы по ГОСТ 12.2.007.0-75.

• 3.2 При работе на интерферометре обслуживающий персонал должен соблюдать «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требования ГОСТ 12.3.019.

• 3.3 Общие меры безопасности при работе с лазерными установками должны соблюдаться в соответствии с «Санитарными правилами при работе с лазерами» № 2398-81, а также требованиями ГОСТ 12.1.040.

• 3.4 Меры пожарной безопасности должны соблюдаться в соответствии с требованиями ГОСТ 12.1.004.

• 3.5 Работать на интерферометре без заземления запрещается - (зажим для подключения защитного заземления перед включением интерферометра в сеть необходимо соединить с общей шиной заземления). Подключение интерферометра к сети производить предварительно проверенным сетевым кабелем. Отсоединение и присоединение кабелей производить только при отсутствии питающих напряжений.

Интерферометры и другие средства поверки выдерживают не менее одного часа в помещении, где проводится поверка.

• 5. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 5.1.1 При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

• - маркировка и комплектность интерферометра должны соответствовать указанным в паспорте и руководстве по эксплуатации;

• - на наружных поверхностях интерферометра и всех его составных частях не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид и влияющих на их эксплуатацию;

• - движение подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий;

• - крепления съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

• 5.1.2. Интерферометр считаются поверенными, если выполняются все вышеперечисленные условия, а маркировка и комплектность соответствует требованиям технической документации.

Проверяется возможность настройки интерферометра в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ).

• 5.2.1 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.2.2 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ.

• 5.2.3 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного обеспечения.

• 5.2.4 Убедиться, что ввод изображения, визуализация интерферограммы, функционирование системы управления интерферометра производится в соответствии с РЭ интерферометра.

• 5.2.5 Результаты поверки признаются положительными, если интерферометр позволяет произвести настройку в соответствии с руководством по эксплуатации.

• 5.3.1. Идентификацию ПО интерферометра провести по следующей методике:

• - произвести запуск ПО;

• - проверить наименование программного обеспечения и его версию;

• - проверить техническую документацию, относящуюся к ПО интерферометра;

• - установить уровень защиты ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014;

• - оценить влияние ПО на метрологические характеристики интерферометра.

• 5.3.2. Интерферометр считается поверенным части программного обеспечения, если его ПО - DiOpto версии - v.3.17 и выше.

• 5.5.1 Проверку воспроизводимости измерений и абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности проводят для каждого метода обработки интерферограмм ПО.

• 5.5.2 Подготовить интерферометр к работе в соответствии с РЭ.

• 5.5.3 Настроить интерференционную картину в соответствии с РЭ на интерферометр.

• 5.4.4 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программного

обеспечения.

• 5.5.5 Провести обработку интерферограммы, используя комплекс программ программного обеспечения. Полученное значение отклонений от плоскостности записать в протокол. Провести не менее 30 измерений. Вычислить среднее значение.

• 5.5.6 Воспроизводимость измерений определить по формуле:

  СКО =

  ^^Х'~^ХсрУ

  (1)

где п - число измерений, xj - i-e измерение значения отклонений от плоскостно.

сти,

х_ср - полученное среднее значение отклонений от плоскостности.

• 5.5.7 Абсолютную погрешность измерений отклонений от плоскостности опреде^ лить по формуле:

  

(2)

где х_ср - полученное среднее значение отклонений о отклонений от плоскостности, х_п - паспортное значение отклонений от плоскостности меры.

• 5.5.8 Интерферометр считается поверенным, если воспроизводимость измерений не более 0,001 мкм, а абсолютная погрешность измерений отклонений от плоскостности не более 0,025 мкм

Результаты поверки оформляются в соответствии с требованиями Приказа Минпромторга Российской Федерации № 1815 от 02.07.2015.

При положительных результатах выдается свидетельство о поверке с протоколом (приложение А). Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

При отрицательных результатах поверки выдается извещение о непригодности интерферометра с указанием причин.

Зам. нач. отдела Испытательного центра

ФГУП «ВНИИМС»

Науч, сотрудник отдела Испытательного центра ФГУП «ВНИИМС»

Д.А. Новиков

Приложение А

• 1. Поверяемый прибор: Интерферометр лазерный____________________________

модификации__________зав. №_______________

(дата ввода в эксплуатацию или ремонта, предприятие-изготовитель)

• 2. Средства поверки:_____________________________________________________________

(наименование, номер свидетельства о поверке)

3. Результаты поверки

4. Условия поверки

Температура окружающего воздуха, °C____________

Относительная влажность воздуха, %________________

На основании результатов поверки выдано

Свидетельство (извещение о непригодности) №__________________

Поверитель

Дата поверки