Все поверки данного средства измерений

Технические и метрологические характеристики СИ -

Микроскоп растровый электронный (SUPRA-25)

• 1 Встроенные детекторы:

• - детектор вторичных электронов;

• - детектор отраженных электронов;

• - детектор рентгеновского излучения.

• 2 Разрешающая способность микроскопа:

• - во вторичных электронах не более, нм..........................................1,5

• - в отраженных электронах не более, нм............................................6

• 3 Диапазон регулировки увеличения, крат..............................50-5-800000

• 4 Диапазон измерения линейных размеров, мкм........................0,05+5000

• 5 Пределы допускаемой основной погрешности

измерения линейных размеров:

• - в диапазоне от 0,05 мкм до 0,2 мкм не более, нм

• - в диапазоне от 0,2 мкм 0,8 мкм не более, нм

• - в диапазоне от 0,8 мкм до 5000 мкм не более, %

• 6 Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ..................0,5-5-30

• 7 Относительная нестабильность ускоряющего напряжения

за 10 мин не более, %....................................................................................1 • 10'³

• 8 Давление в электронной пушке не более, аг

• 9 Давление в рабочей камере не более, ат

• 12 Напряжение питания переменного тока микроскопа, В............208+240

• 13 Потребляемая мощность микроскопа не более, кВА

• 14 Полный средний срок службы микроскопа не менее, лет

• 15 Габаритные размеры* мм, не более.....................................1910x985x1600

• 16 Масса* кг, не более

• 17 Условия эксплуатации:

  22±2

  ....60

температура, °C..............................

относительная влажность, %, не более * - без персонального компьютера.