Технические и метрологические характеристики СИ - Профилометры оптические (S Neox)
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометров
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,001 до 50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм* |
±(0,01+0,05-h), где h -измеряемый параметр в мкм |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 200 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), мкм* |
±(0,05+0,05Ъ), где h -измеряемый параметр в мкм |
|
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты ступени, % *,** |
0,5 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х
20х
50х
100х
150х |
от 5,16 до 7000 от 2,58 до 3500 от 1,29 до 1750 от 0,65 до 870 от 0,26 до 350 от 0,13 до 170 от 0.09 до 110 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива: 2,5х 5х
10х
20х
50х
100х
150х |
от 5,16 до 5280 от 2,58 до 2640 от 1,29 до 1320 от 0,65 до 660 от 0,26 до 260 от 0,13 до 130 от 0.09 до 88 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±8 |
|
* - при температуре окружающего воздуха от плюс 18 до плюс 22 °С и относительной влажности воздуха не более 80%
** - номинальное значение высоты 10 мкм. |
Таблица 3 - Технические характеристики профилометров
|
Максимальное разрешение по оси Z, нм |
0,1 |
|
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм |
90 |
|
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, Y) и сенсорной головки (ось Z), мм:
по оси Х, Y
по оси Z |
600х600
350 |
|
Максимальный размер измеряемого образца (ширинахдлинахвысота), мм, не более |
600x600x350 |
|
Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более |
600x610x740 |
|
Масса без упаковки, кг, не более |
92 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
210 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Условия эксплуатации:
-
- температура окружающей среды, °С -
- относительная влажность воздуха, %, не более
|
от +10 до +35
80 |
