Технические и метрологические характеристики СИ - Измерители параметров полупроводниковых приборов (B1500A с модулями B1510A, B1511A, B1517A, E5288A)
Таблица 1 Основные технические характеристики модулей
Модель |
Описание |
Количество занимаемых разъемов |
Диапазон измерения/ воспроизведения |
В1510А |
Модуль источника/измерителя большой мощности (HPSMU) |
2 |
-200 В .. +200 В -1 А..+1 А |
В1511А |
Модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU) |
1 |
-100 В ..+100 В
-0,1 А ..+0,1 А |
В1517А |
Модуль источника/измерителя с высоким разрешением (HRSMU) |
1 |
-100 В ..+100 В
-0,1 А .. +0,1 А |
Е5288А[1] |
Модуль коммутатора/измерителя малых токов (ASU) |
- |
-100 В ..+100 В
-0,1 А..+0,1 А |
Примечание: 1 Модуль Е5288А соединен с модулем источника/измерителя В1517А.
Таблица 2 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения напряжения постоянного тока
Модель |
Предел измерений |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
ВИНА
В1517А
Е5288А |
±0,5 В |
0,5 мкВ |
± (0,01x10 2х иизм.+ 0,12 мВ) |
±2В |
2 мкВ |
± (0,01 х10’2х иизм + 0,14 мВ) |
±5 В |
5 мкВ |
± (0,009х10’2х иизм + 0,25 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,009x10’2х иизм.+ 0,9 мВ) |
±40 В |
40 мкВ |
± (0,01x10'2х ии3м + 1,0 мВ) |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,012x10'2х иизм.+ 2,5 мВ) |
В1510А |
±2В |
2 мкВ |
± (0,01x10'2х иизм + 0,14 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,009x10 2х иизм.+ 0,9 мВ) |
±40 В |
40 мкВ |
±(0,01х10'2х иизм.+ 1,0 мВ) |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,012х10'2х иизм + 2,5 мВ) |
±200 В |
200 мкВ |
± (0,014х10’2х иизм + 2,8 мВ) |
Примечание: U„3M - измеренное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 3 Основные метрологические характеристики модулей в режиме источника напряжения постоянного тока
Модель |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
1 |
2 |
3 |
4 |
ВИПА
В1517А
Е5288А |
±0,5 В |
25 мкВ |
± (0,018х10'2х UBOcnp.+ 0,15 мВ) |
±2В |
100 мкВ |
± (0,018x10 2х ив0СПр.+ 0,4 мВ) |
±5В |
250 мкВ |
± (0,018x10'2х ив0Спр + 0,75 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
± (0,018x10 2х ивОспр.+ 3,0 мВ) |
±40 В |
2 мВ |
± (0,018x10 2х UBocnp.+ 6,0 мВ) |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,018x10 2х ив0Спр.+ И мВ) |
Продолжение таблицы 3
1 |
2 |
3 |
4 |
В1510А |
±2В |
100 мкВ |
± (0,018x10 2х UBOcnp.+ 0,4 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
± (0,018х10'2х ив0СПр + 3,0 мВ) |
±40 В |
2 мВ |
± (0,018х10’2х ив0СПр + 6,0 мВ) |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,018х10'2х ив0Спр + 15 мВ) |
±200 В |
10 мВ |
± (0,018x10'2х ивОспр + 30 мВ) |
Примечание: UBOcnp. - воспроизведенное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 4 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения силы постоянного тока
Модель |
Предел измерений |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
ВИПА
В1517А
Е5288А |
± 1 пАШ |
0,0001 пА |
± (0,9x10 2х 1изм + 0,012 пА) |
± 10nAl2J |
0,001 пА |
±(0,46x10 2х1изм ±0,015 пА) |
± 100 пАи |
0,002 пА |
±(0,3x10 2х 1изм + 0,03 пА) |
± 1 нА |
0,01 пА |
±(0,1х10'2х 1изм± 0,2 пА) |
± 10 нА |
0,01 пА |
±(0,1хЮ’2х 1изм± 1 пА) |
± 100 нА |
0,1 пА |
±(0,05х10’2х 1изм± 20 пА) |
± 1 мкА |
0,001 нА |
±(0,05x10'2х 1изм ± 0,1 нА) |
± 10 мкА |
0,01 нА |
±(0,04x10'2х 1изм± 2 нА) |
± 100 мкА |
0,1 нА |
±(0,03x10 2х 1изм + 3 нА) |
± 1 мА |
0,001 мкА |
±(0,03х10’2х1изм ± 0,06 мкА) |
±10 мА |
0,01 мкА |
±(0,03х10’2х 1Изм.± 0,2 мкА) |
± 100 мА |
0,1 мкА |
±(0,04x10"2х 1изм ± 6 мкА) |
В1510А |
± 1 нА |
0,01 пА |
±(0,1x10 2х 1ИзмЛ 0,3 пА) |
± 10 нА |
0,01 пА |
±(0,1х10’2х 1изм ± 2,5 пА) |
± 100 нА |
0,1 пА |
±(0,05хЮ'2х 1изм + 25 пА) |
± 1 мкА |
0,001 нА |
±(0,05хЮ'2х 1изм ± 0,1 нА) |
±10 мкА |
0,01 нА |
±(0,04x10’2 х 1изм ± 2 нА) |
±100 мкА |
0,1 нА |
±(0,03x10 2х 1изм ± 3 нА) |
± 1 мА |
0,001 мкА |
±(0,03х10’2х1изм ± 0,06 мкА) |
±10 мА |
0,01 мкА |
±(0,03х10'2х 1изм ± 0,2 мкА) |
± 100 мА |
0,1 мкА |
±(0,04x10'2х 1изм ± 6 мкА) |
± 1 А |
1 мкА |
±(0,4x10’2 х 1изм± 150 мкА) |
Примечание: 1ИЗМ - измеренное значение силы постоянного тока.
Таблица 5 Основные метрологические характеристики модулей в режиме воспроизведения силы постоянного тока
Модель |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
1 |
2 |
3 |
4 |
ВИПА ВИПА
Е5288А |
± 1 nAUJ |
0,001 пА |
± (0,9x10'2х 1ВОСпр.± 0,015 пА) |
± 10пАи |
0,005 пА |
±(0,46x10’2 х 1В0Спр + 0,03 пА) |
± 100 nAl2J |
0,005 пА |
±(0,3x10 2х 1ВОспр.+ 0,1 пА) |
± 1 нА |
0,05 пА |
±(0,1x10 2Х 1ВОспр.+ 0,3 пА) |
Продолжение таблицы 5
1 |
2 |
3 |
4 |
В1511А
В1517А
Е5288А |
± 10 нА |
0,5 пА |
±(0,1x10 2х 1Воспр.+ 3 пА) |
± 100 нА |
5,0 пА |
±(0,05х10’2х 1воспр.+ 30 пА) |
± 1 мкА |
0,05 нА |
±(0,05х10'2х 1воспр.+ 0,3 нА) |
± 10 мкА |
0,5 нА |
±(0,05 х10’2х 1ВОспр.+ 3 нА) |
±100 мкА |
5,0 нА |
±(0,035x10‘2х 1Воспр + 15 нА) |
± 1 мА |
0,05 мкА |
±(0,04х10’2х 1ВОспр.+ 0,15 мкА) |
± 10 мА |
0,5 мкА |
±(0,04x10'2 х 1ВОспр.+ 1,5 мкА) |
± 100 мА |
5,0 мкА |
±(0,045х10'2х 1ВОспр + 15 мкА) |
В1510А |
± 1 нА |
0,05 пА |
±(0,1х10’2х 1Воспр.+ 0,3 пА) |
± 10 нА |
0,5 пА |
±(0,1хЮ'2х 1ВОспр + 3,0 пА) |
± 100 нА |
5,0 пА |
±(0,05х10’2х 1ВОспр.+ 30 пА) |
± 1 мкА |
0,05 нА |
±(0,05х10’2х 1воспр.+ 0,3 нА) |
± 10 мкА |
0,5 нА |
±(0,05x102х 1ВОспр.+ 3,0 нА) |
± 100 мкА |
5,0 нА |
±(0,035x10‘2х 1ВОспр + 15 нА) |
± 1 мА |
0,05 мкА |
±(0,04x10’2х 1ВОСПр.+ 0,15 мкА) |
± 10 мА |
0,5 мкА |
±(0,04x10 2х 1ВОспр.+ 1,5 мкА) |
± 100 мА |
5,0 мкА |
±(0,045x10'2х 1воспр + 15 мкА) |
± 1 А |
50 мкА |
±(0,4x10'2 х 1ВОСпр + 300 мкА) |
Примечание: 1ВОспр. - воспроизведенное значение силы постоянного тока.
-
1 - предел воспроизведения только для модуля Е5288А.
-
2 - предел воспроизведения только для модулей В1517А, Е5288А.
Таблица 6 Общие характеристики измерителей
Параметр |
Значение |
Температура эксплуатации, °C |
5 ..40 |
Относительная влажность, % |
20 .. 70 |
Температура хранения, °C |
-20 .. 60 |
Относительная влажность, % |
10 .. 90 |
Высота над уровнем моря, м |
2000 |
Напряжение сети питания, В |
90 .. 264 |
Частота сети питания, Гц |
47 .. 63 |
Потребляемая мощность не более, В А |
900 |
Габаритные размеры базового блока, мм |
420x330x575 |
Масса, кг:
В1500А (без модулей) |
20,0 |
В1510А |
2,0 |
В1511А |
1,0 |
В1517А |
1,2 |
Е5288А |
0,5 |