Номер в гос. реестре

50413-12

Наименование типа СИ (обозначение)

Микроскоп электронный растровый (S-4800)

Назначение средства измерений

Модификация

Микроскоп электронный растровый S-4800

Описание типа

2012-50413-12.pdf

Тип производства

Заводской номер

9136-10

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

Фирма "Hitachi"
Страна - ЯПОНИЯ

Наименование характеристики

Значение

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ (образец - кремний), нм, не более

10

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

0,05-1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %:

- в диапазоне от 0,05 до 0,1 мкм

±10

- в диапазоне от 0,1 до 0,3 мкм

±6

- в диапазоне от 0,3 до 1000 мкм

±4

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220⁺²²-33

Потребляемая мощность, кВА

4

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ

840х966х1660

- видеоконтрольный блок

1000х960х1200

Масса, кг

860

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

20 ± 5

- относительная влажность воздуха, %, не более

60

- атмосферное давление, кПа

84-107