Технические и метрологические характеристики СИ - Системы контрольно-измерительные (Тестеры СБИС FORMULA HF)
Таблица 4 - Воспроизведение частоты функционального контроля
Модификации |
Режим |
Нижняя граница диапазона воспроизведения частоты ФК, кГц, не более |
Верхняя граница диапазона воспроизведения частоты ФК, МГц, не менее |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения частоты ФК, % |
FHF2 |
АГТ |
12,5 |
100 |
±1 |
ГТП |
12,5 |
100 |
±1 |
FHF3 |
АГТ |
12,5 |
100 |
±1 |
ГТП |
12,5 |
200 |
±1 |
FHF3M |
АГТ |
12,5 |
100 |
±1 |
ГТП |
12,5 |
200 |
±1 |
FHF3-512 |
АГТ |
12,5 |
100 |
±1 |
ГТП |
12,5 |
200 |
±1 |
FHF3M-512 |
АГТ |
12,5 |
100 |
±1 |
ГТП |
12,5 |
200 |
±1 |
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны, В |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ |
Воспроизведение постоянного напряжения высокого, среднего и низкого уровней переключения драйвера |
Все модификации |
от -0,5 до +3,5 от -1 до +7
от -2,0 до +7,5 |
±(0,002/U+3)1)
±(0,002-U+5) 1) ±(0,002/U+10) 1) |
Измерение постоянного напряжения переключения компаратора |
FHF2 |
от -0,5 до +3,5 от -1 до +7 |
±(0,003-U+15) 1)
±(0,003/U+20) 1) |
FHF3,
FHF3M,
FHF3-512,
FHF3M-512 |
от -0,5 до +3,5 от -1 до +7 от -2,0 до +7,5 |
±(0,003-U+15) 1)
±(0,003/U+20) 1)
±(0,003/U+30) 1) |
1) U - числовое значение абсолютной величины напряжения в милливольтах
Таблица 6 - Характеристики динамической активной нагрузки
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение силы постоянного тока |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от 0 до 24 мА |
±(0,002^1+30) 1) мкА |
FHF2 |
Динамическая активная нагрузка не поддерживается |
Воспроизведение постоянного напряжения переключения |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512,
FHF3M-512 |
от -1,5 до +7,0 В |
±100 мВ |
FHF2 |
Динамическая активная нагрузка не поддерживается |
1) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
Таблица 7 - Характеристики статической активной нагрузки
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение силы постоянного тока |
FHF2 |
от 0,5 до 25 мА |
±(0,002^1+50) 1) мкА |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512,
FHF3M-512 |
Статическая активная нагрузка не поддерживается |
Воспроизведение постоянного напряжения переключения |
FHF2 |
от -2,0 до +7,5 В |
погрешность не нормируется |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512,
FHF3M-512 |
Статическая активная нагрузка не поддерживается |
1) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
Таблица 8 - Временные характеристики
Характеристика |
Модификации |
Значение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования меток T1 и T2, IEPA1^ пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±200 для метки T15) |
±250 для метки T25) |
FHF2 |
±2505) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования меток T3 и T4, OEPA2), пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512,
FHF3M-512 |
±1505) для положительного перепада напряжения |
±2505) для отрицательного перепада напряжения |
FHF2 |
±2505) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования меток T1 и T2 относительно меток T3 и T4, IOTA3), пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±200 при 18<T< 22 5) 6) 7) ±(200+K-(T-22)) при T>22 5) 7) ±(200+K-(18-T)) при T<18 5) 7) |
FHF2 |
не нормируется |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования меток T1-T4, ОТА4), пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±700 при 18<T< 22 5) 6) 7) ±(700+K-(T-22)) при T>22 5) 7) ±(700+K-(18-t)) при T<18 5) 7) |
FHF2 |
не нормируется |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования длительности импульса в векторе, пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±150 |
FHF2 |
не нормируется |
Длительность фронта и спада импульса, нс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от 0,55 до 0,85 5) 8) |
FHF2 |
от 0,3 до 1,1 5) 8) |
Минимальная длительность импульса, нс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
(1,65±0,15) 5) 8) |
FHF2 |
(2,5±0,5) 5) 8) |
Разрешение (дискретность) задания моментов времени, пс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
34 9) |
FHF2 |
50 9) |
-
1) IEPA - Input Edge Placement Accuracy. -
2) OEPA - Output Edge Placement Accuracy. -
3) IOTA - Input to Output Timing Accuracy. -
4) OTA - Overall Timing Accuracy. -
5) Обеспечиваются при волновом сопротивлении подключаемой линии/нагрузки (50±5) Ом. -
6) Для нормальных условий измерений. -
7) T - числовое значение температуры окружающего воздуха в градусах Цельсия, K = 25 -коэффициент влияния температуры для условий эксплуатации. -
8) Обеспечивается на выходных контактах Тестера при сопротивлении нагрузки
10 МОм ±5 %, ёмкость нагрузки (9,5±0,5) пФ.
|
Характеристика |
Режим |
Модификации |
Значение |
Выходное сопротивление высокого уровня драйвера, Ом |
в диапазоне напряжений от 0,5 до 7,0 В, при силе постоянного тока в нагрузке от 0 до 20 мА |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
(50±5) |
FHF2 |
(50±6) |
в других режимах |
все модификации |
(50±8) |
Выходное сопротивление низкого уровня драйвера, Ом |
в диапазоне напряжений от -0,5 до +6,0 В, при силе постоянного тока в нагрузке от -20 мА до 0 мА |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
(50±5) |
FHF2 |
(50±6) |
в других режимах |
все модификации |
(50±8) |
Выходное сопротивление среднего уровня драйвера, Ом |
в диапазоне напряжений от 1 до 4 В, при силе постоянного тока в нагрузке от -20 до +20 мА |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
(50±5) |
FHF2 |
(50±6) |
в других режимах |
все модификации |
(50±8) |
Входная ёмкость канала, пФ, не более |
во всех режимах |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
40 |
FHF2 |
45 |
Сила входного тока канала, нА |
во всех режимах |
все модификации |
от -30 до +30 |
Максимальная сила тока нагрузки канала, мА, не менее |
во всех режимах |
все модификации |
35 |
Амплитуда выброса,
В |
во всех режимах |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±(0,07/U)1) |
FHF2 |
±0,15 |
1) U - числовое значение амплитуды импульса в вольтах |
Таблица 10 - Характеристики многоканального измерителя PMU
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение постоянного напряжения |
все модификации |
от -2 до +7 В |
±(0,001-U+1,5)1) мВ |
от -2 до +8 В |
±(0,001/U+3)1) мВ |
Измерение постоянного напряжения |
все модификации |
от -1 до +1 В |
±(0,001/U+0,5)1) мВ |
от 0,1 до 2,9 В |
±(0,001/U+0,5)1) мВ |
от -2 до +8 В |
±(0,001/U+1)1) мВ |
Воспроизведение и измерение силы постоянного тока |
все модификации |
от -200 до +200 нА |
±(0,003^+4)2) нА |
от -2 до +2 мкА |
±(0,002^+5)2) нА |
от -20 до +20 мкА |
±(0,002а+10)2) нА |
от -200 до +200 мкА |
±(0,002^I+100)2) нА |
от -2 до +2 мА |
±(0,002а+1)3) мкА |
от -25 до +25 мА |
±(0,005^I+12,5)3) мкА |
от -150 до +150 мА |
±(0,005а+150)3) мкА |
Продолжение таблицы 10
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Ограничение силы постоянного тока |
все модификации |
от -150 до -20 мА, от +20 до +150 мА |
±(0,0054+10)4) мА |
Воспроизведение постоянного напряжения ограничения верхнего уровня |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2,0 до +8,5 В |
±100 мВ |
FHF2 |
от -2,0 до +8,5 В |
погрешность не нормируется |
Воспроизведение постоянного напряжения ограничения нижнего уровня |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2,5 до +8,0 В |
±100 мВ |
FHF2 |
от -2,5 до +8,0 В |
погрешность не нормируется |
-
1) U - числовое значение абсолютной величины напряжения в милливольтах
-
2) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в наноамперах
-
3) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
-
4) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в миллиамперах
Таблица 11 - Характеристики поканального измерителя PPMU
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение постоянного напряжения |
FHF3M,
FHF3M-512 |
от -0,5 до +3,5 В |
(±(0,001 -U+4)-R-Il) 1) 2) мВ |
от -1 до +7 В |
(±(0,001-U+8)-R4l) 1) 2) мВ |
от -1,3 до +8,0 В |
(±(0,001-U+16)-R4l) 1) 2) мВ |
от -2,0 до -1,3 В |
(±0,03-U-R-Il) 1) 2) мВ |
FHF2, FHF3,
FHF3-512 |
PPMU не поддерживается |
Измерение постоянного напряжения |
FHF3M,
FHF3M-512 |
от +0,1 до +2,9 В |
(±(0,001-U+2)-R4l) 1) 2) мВ |
от -2 до +8 В |
(±(0,001-U+6)-R4l) 1) 2) мВ |
FHF2, FHF3,
FHF3-512 |
PPMU не поддерживается |
Воспроизведение силы постоянного тока |
FHF3M,
FHF3M-512 |
±2 мкА |
±(0,003-1+10) 3) нА |
±8 мкА |
±(0,0034+40) 3) нА |
±32 мкА |
±(0,003-1+160) 3) нА |
±128 мкА |
±(0,0034+640) 3) нА |
±512 мкА |
±(0,0034+2,56) 4) мкА |
±2 мА |
±(0,003-1+10) 4) мкА |
±8 мА |
±(0,0074+40) 4) мкА |
±32 мА |
±(0,007-1+160) 4) мкА |
FHF2, FHF3,
FHF3-512 |
PPMU не поддерживается |
Продолжение таблицы 11
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Измерение силы постоянного тока |
FHF3M,
FHF3M-512 |
±2 мкА |
±(0,0034+10) 3) нА |
±8 мкА |
±(0,0034+40) 3) нА |
±32 мкА |
±(0,003-1+160) 3) нА |
±128 мкА |
±(0,0034+640) 3) нА |
±512 мкА |
±(0,0034+2,56) 4) мкА |
±2 мА |
±(0,003-1+10) 4) мкА |
±8 мА |
±(0,0074+40) 4) мкА |
±32 мА |
±(0,007-1+160) 4) мкА |
FHF2, FHF3,
FHF3-512 |
PPMU не поддерживается |
-
1) U - числовое значение абсолютной величины напряжения в милливольтах -
2) IL - числовое значение (с учетом знака) силы тока в нагрузке в миллиамперах; R = 0,15 -
3) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в наноамперах -
4) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
|
Таблица 12 - Характеристики измерительного источника питания VDD
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение^ постоянного напряжения |
все модификации |
от -2 до +7 В |
±(0,001-U+3) 2) мВ |
от -2 до +12 В |
±(0,00Ьи+б) 2) мВ |
от -2 до +15 В |
±(0,001-U+7,5) 2) мВ |
Измерение постоянного напряжения |
все модификации |
от -1 до +1 В |
±(0,001-U+1) 2) мВ |
от 0,1 до 2,9 В |
±(0,00TU+1) 2) мВ |
от -2 до +12 В |
±(0,00bU+3) 2) мВ |
от -2 до +15 В |
±(0,00bU+4) 2) мВ |
Воспроизведение и измерение силы постоянного тока |
все модификации |
от -200 до +200 нА |
±(0,003-1+4) 3) нА |
от -2 до +2 мкА |
±(0,002-1+5) 3) нА |
от -20 до +20 мкА |
±(0,002-1+10) 3) нА |
от -200 до +200 мкА |
±(0,002-1+100) 3) нА |
от -2 до +2 мА |
±(0,002-1+1) 4) мкА |
от -25 до +25 мА |
±(0,005-1+12,5) 4) мкА |
от -400 до +400 мА |
±(0,0054+400) 4) мкА |
Ограничение силы постоянного тока |
все модификации |
от -400 до -20 мА, от +20 до +400 мА |
±(0,005-1+15) 5)мА |
Продолжение таблицы 12
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение постоянного напряжения ограничения верхнего уровня |
FHF3, FHF3M, FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2,0 до +15,5 В |
±100 мВ |
FHF2 |
от -2,0 до +15,5 В |
погрешность не нормируется |
Воспроизведение постоянного напряжения ограничения нижнего уровня |
FHF3, FHF3M, FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2,5 до +15,0 В |
±100 мВ |
FHF2 |
от -2,5 до +15,0 В |
погрешность не нормируется |
-
1) При напряжении источника выше 12 В максимальная сила тока в нагрузке 200 мА
-
2) U - числовое значение абсолютной величины напряжения в милливольтах
-
3) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в наноамперах
-
4) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
-
5) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в миллиамперах
Таблица 13 - Характеристики измерительного источника питания VCC
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение1) постоянного напряжения |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от 0,8 до 6,0 В |
±(0,0005/U+2,5) 2) мВ |
FHF2 |
от 0,8 до 5,5 В |
±(0,001-U+5) 2) мВ |
Измерение постоянного напряжения |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от 0 до 6 В |
±(0,0005/U+2,5) 2) мВ |
FHF2 |
от 0,8 до 5,5 В |
±(0,00 b U+5) 2) мВ |
Измерение силы постоянного тока |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -4 до +4 А |
±(0,01-1+2,5) 4) 3) мА |
от -1 до +1 А |
±(0,003-1+0,5) 4) 3) мА |
от -250 до +250 мА |
±(0,003-1+150) 5) 3) мкА |
от -64 до +64 мА |
±(0,003^1+40) 5) 3) мкА |
от -16 до +16 мА |
±(0,003-1+10) 5) 3) мкА |
от -4 до +4 мА |
±(0,003-1+2,5) 5) 3) мкА |
от -1 до +1 мА |
±(0,003-1+0,5) 5) 3) мкА |
от -250 до +250 мкА |
±(0,003-1+250) 6) 3) нА |
FHF2 |
от -4 до +4 А |
±(0,01-1+10) 4) 3) мА |
Продолжение таблицы 13
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Ограничение силы постоянного тока |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -4,0 до -0,4 А, от +0,4 до +4,0 А |
±(0,015^1+15) 4) 7) мА |
от -1,0 до -0,4 А, от +0,4 до +1,0 А |
±(0,015^1+15) 4) 7) мА |
FHF2 |
от -4,0 до -0,4 А, от +0,4 до +4,0 А |
±(0,015-1+15) 4) 7) мА |
-
1) При напряжении источника выше 5,5 В максимальная сила тока в нагрузке - 3 А
-
2) U - числовое значение напряжения в милливольтах
-
3) Погрешность измерения силы отрицательного тока не нормируется
-
4) I - числовое значение силы тока в миллиамперах
-
5) I - числовое значение силы тока в микроамперах
-
6) I - числовое значение силы тока в наноамперах
-
7) Погрешность ограничения силы отрицательного тока не нормируется
Таблица 14 - Характеристики высоковольтных каналов («33-й канал»)
Характеристика |
Модификации |
Значение |
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения высокого уровня, В |
все модификации |
от 0 до 15 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения высокого уровня, мВ |
все модификации |
±(0,001-U+7,5) 1) |
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения низкого уровня, В |
все модификации |
от -2 до +8 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения низкого уровня, мВ |
все модификации |
±(0,001-U+7,5) 1) |
Диапазон ограничения силы постоянного тока, А |
все модификации |
от 0,03 до 0,13 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы постоянного тока, мА |
все модификации |
±(0,005-1+15) 2) |
Крутизна фронта и спада импульса, В/мс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
70±7 |
FHF2 |
крутизна не нормируется |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности задания положения фронта/спада, мкс |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±5 |
FHF2 |
погрешность не нормируется |
Длительность фронта и спада импульса, не более |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
длительность не нормируется |
FHF2 |
1 мс |
Максимальная сила тока в нагрузке, мА, не более |
все модификации |
100 |
|
Таблица 15 - Характеристики измерительных источников питания VDD в режиме параллельной работы двух источников
Характеристика |
Модификации |
Диапазоны |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
Воспроизведение постоянного напряжения |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2 до +12 В |
±(0,002/U+12) 1) мВ |
FHF2 |
режим параллельной работы не поддерживается |
Измерение постоянного напряжения |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -2 до +12 В |
±(0,002/U+6) 1) мВ |
FHF2 |
режим параллельной работы не поддерживается |
Измерение силы постоянного тока |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
±790 мА |
±(0,005-1+800) 2) мкА |
FHF2 |
режим параллельной работы не поддерживается |
Ограничение силы постоянного тока |
FHF3, FHF3M,
FHF3-512, FHF3M-512 |
от -400 до -20 мА; от +20 до +400 мА |
±(0,01-1+15) 3) мА |
от -790 до -400 мА; от +400 до +790 мА |
±(0,02-1+16) 3) мА |
FHF2 |
режим параллельной работы не поддерживается |
-
1) U - числовое значение абсолютной величины напряжения в милливольтах
-
2) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в микроамперах
-
3) I - числовое значение абсолютной величины силы тока в миллиамперах
Таблица 16 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
FHF2, FHF3, FHF3M |
FHF3-512, FHF3M-512 |
Потребляемая мощность, В-А, не более |
1800 |
3500 |
Габаритные размеры измерительного блока | | |
- длина, мм, не более |
520 |
1033 |
- ширина, мм, не более |
540 |
558 |
- высота, мм, не более |
350 |
940 |
Масса измерительного блока, кг, не более |
50 |
250 |
Питающая сеть переменного тока | | |
- напряжение, В |
220±11 |
- частота, Гц |
50,0±0,5 |
Нормальные условия измерений | | |
- температура окружающего воздуха, °С |
20±2 |
- относительная влажность воздуха, % |
от 30 до 80 |
У словия эксплуатации | | |
- температура окружающего воздуха, °С |
от 10 до 25 |
- относительная влажность воздуха, % |
от 30 до 80 при 20 °С |
- атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.) |
от 84,0 до 106,7 (от 630 до 800) |